一种基板上料机的制作方法

1.本实用新型属于半导体领域，涉及一种基板上料机。


背景技术：

2.半导体后段封装工艺中，对基板的平整有一定的要求和限制，而基板一般是翘曲的，基板须在外部机构的作用下实现平整，目前通常在各个工艺设备装配基板平整机构，但各个基板平整机构不一致，增加了各个工艺设备的难度，不利于各工艺顺利衔接，本实用新型有效地解决了这种问题。


技术实现要素：

3.本实用新型为了克服现有技术的不足，提供一种基板上料机。
4.为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：一种基板上料机,其特征在于：包括上料机构、料盒搬运机构和料盒，上料机构分别与基板拾取机构和料盒搬运机构对应，上料机构将装载基板的料盒由上料位移动至取料位，料盒搬运机构搬运位于取料位的料盒便于基板拾取机构从料盒中取出基板，料盒搬运机构将取料后的空载料盒移出。
5.进一步的；所述上料机构包括上料机架、上料驱动组件和上料感应组件，上料驱动组件和上料感应组件分别安装在上料机架，上料驱动组件驱动料盒运行，将装载基板的料盒由上料位移动至取料位，料盒搬运机构位于上料驱动组件驱动料盒的运行方向，取料位设置为上料机构上与料盒搬运机构相对的一端，上料位设置为上料机构上与料盒搬运机构相背的一端，装载基板的料盒放置在上料位，装载基板的料盒通过上料驱动组件移动至取料位，上料感应组件位于取料位，用于感应装载基板的料盒是否到位，上料感应组件感应料盒到位后使上料驱动组件停止运行。
6.进一步的；所述上料机架包括上料底板、活动上料侧板和固定上料侧板，活动上料侧板和固定上料侧板平行设置，固定上料侧板与上料底板固设连接，固定上料侧板上固设有贯穿的基板出口，基板出口与取料位位置相对，料盒位于取料位位置时，基板拾取机构从料盒中取出基板，并经基板出口输送到后续工艺设备，活动上料侧板通过连接组件和固定组件与上料底板固设连接，连接组件和固定组件位于活动上料侧板的两侧将活动上料侧板与上料底板固设连接。
7.进一步的；所述上料机构还包括平台，平台位于上料底板的上方，且与上料底板平行设置，平台上方固设有若干平台轨道，料盒搬运机构将已取出基板的空载料盒移动至平台轨道，便于转移机构将空载料盒移走，活动上料侧板固设有贯穿的通腔，平台的一端与固定上料侧板固设连接，平台的另一端贯穿通腔并与活动上料侧板固设连接，平台与活动上料侧板通过安装组件连接，通过安装组件调节活动上料侧板与平台的相对固定位置。
8.进一步的；所述上料驱动组件包括上料电机，上料电机的输出轴固设有动力轮，安装腔前后位置安装有两组传动辊，两组传动辊上分别固设有若干带轮,且两组传动辊上的带轮一一对应，相互对应的两组带轮通过输送同步带动力连接，上层输送同步带位于上料
底板的上方，下层输送同步带位于上料底板的的下方，与料盒搬运机构相对的传动辊上固设有连接轮，动力轮和连接轮通过皮带动力连接，料盒位于两组输送同步带上，上料电机通过动力轮和连接轮的传动带动带轮转动，带轮转动使输送同步带传动，输送同步带传动带动料盒移动，上料驱动组件还包括挡块，挡块安装在取料位，挡块将料盒定位在取料位，上料感应组件包括感应开关和浮动感应块，感应开关固设在上料底板下端面，感应开关和浮动感应块配合，上料电机通过输送同步带将料盒移动至取料位时，料盒使浮动感应块摆动角度，感应开关发出信号，上料电机停止运行使料盒停留在取料位，便于料盒搬运机构对料盒的搬运和移动，以及便于基板拾取机构从料盒中取出基板。
9.进一步的；所述料盒搬运机构包括水平移动机构、垂直升降机构以及夹爪机构，夹爪机构包括上夹爪组件、下夹爪组件以及夹爪升降组件，夹爪升降组件控制上夹爪组件升降，使上夹爪组件以及下夹爪组件夹取或放松料盒，夹爪机构安装在垂直升降机构，垂直升降机构控制夹爪机构做升降往复移动，垂直升降机构与水平移动机构连接，水平移动机构控制垂直升降机构做水平往复移动。
10.进一步的；所述水平移动机构包括水平驱动组件和底座，底座上固设有两组对称的水平导轨，水平导轨上滑动设置有水平滑块，垂直升降机构与水平滑块固设连接，水平驱动组件包括水平电机、水平支座、水平联轴器和水平滚珠丝杆，水平支座固设在底座，水平电机固设在水平支座，水平电机的输出轴贯穿水平支座并与水平滚珠丝杆通过水平联轴器连接，通过水平联轴器将水平电机的转动传递给水平滚珠丝杆，水平滚珠丝杆螺旋连接有水平滚珠丝杆螺母，水平滚珠丝杆螺母与垂直升降机构转动连接，水平滚珠丝杆的轴线方向与水平导轨的方向平行，水平电机启动驱动水平滚珠丝杆转动，带动垂直升降机构沿水平导轨做水平往复移动，水平电机驱动垂直升降机构移动至前移动位置，水平电机通过驱动垂直升降机构控制夹爪机构移动至取料位夹紧料盒，水平电机驱动垂直升降机构移动至后移动位置，水平电机通过驱动垂直升降机构控制夹爪机构将料盒脱离上料机构，便于将空载的料盒移动至平台轨道，水平移动机构还包括水平拖链和水平感应器，水平拖链一端与底座固设连接，另一端与垂直升降机构固设连接，通过水平拖链限制垂直升降机构在水平方向的移动行程，水平感应器固设在底座，水平感应器用于确认垂直升降机构在水平方向是否移动到位。
11.进一步的；所述垂直升降机构包括垂直驱动组件和垂直支架，垂直支架包括支架底板和支架侧板，支架侧板与支架底板固设连接，支架底板与水平滑块固设连接，垂直滚珠丝杆螺母与支架侧板转动连接，垂直驱动组件包括垂直电机、垂直联轴器和垂直滚珠丝杆，垂直电机固设在支架侧板，垂直电机的输出轴贯穿支架侧板并向下与垂直滚珠丝杆通过垂直联轴器连接，通过垂直联轴器将垂直电机的转动传递给垂直滚珠丝杆，垂直滚珠丝杆的轴线方向与水平导轨的方向垂直，垂直滚珠丝杆螺旋连接有垂直滚珠丝杆螺母，垂直滚珠丝杆螺母与夹爪机构的下夹爪组件转动连接，垂直电机启动驱动垂直滚珠丝杆转动，带动夹爪机构做竖直往复移动，将空载的料盒移动至平台轨道，垂直升降机构还包括垂直拖链，垂直拖链一端与支架底板固设连接，另一端与夹爪机构固设连接，垂直拖链限制夹爪机构在竖直方向的移动行程，支架底板上固设有垂直导轨，垂直导轨的轴线与垂直滚珠丝杆的轴线平行，垂直导轨上滑动设置有若干垂直滑块，一部分垂直滑块与上夹爪组件固设连接，另一部分垂直滑块与下夹爪组件固设连接，下夹爪组件与垂直滚珠丝杆螺母转动连接，垂
直电机启动驱动垂直滚珠丝杆转动，带动上夹爪组件和下夹爪组件沿竖直方向同步做升降运动，将空载的料盒移动至平台轨道。
12.进一步的；所述上夹爪组件包括上夹爪座以及上夹爪，上夹爪固设在上夹爪座，上夹爪包括活动夹爪、弹簧和浮动夹头，活动夹爪的一端与上夹爪座固设连接，另一端通过弹簧和浮动夹头弹性连接，浮动夹头的下端面设置为圆弧面，自由状态下，浮动夹头在弹簧的作用下离开活动夹爪，夹取料盒时，料盒的上端面与浮动夹头的圆弧面表面紧贴，浮动夹头具有浮动量，弹簧产生的弹力使料盒在被夹取后受到预紧力，下夹爪组件包括下夹爪座和若干固定夹爪，若干固定夹爪固设在下夹爪座，固定夹爪与上夹爪位置相对，上夹爪用于在料盒的上端夹取料盒，固定夹爪用于在料盒的下方对料盒进行支撑，下夹爪座与垂直滚珠丝杆螺母转动连接，夹爪升降组件包括夹爪升降电机、夹爪升降联轴器以及夹爪升降滚珠丝杆，夹爪升降电机固设在下夹爪座，夹爪升降电机的输出轴与夹爪升降滚珠丝杆通过夹爪升降联轴器连接，通过夹爪升降联轴器将夹爪升降电机的转动传递给夹爪升降滚珠丝杆，夹爪升降滚珠丝杆的轴线方向与垂直滚珠丝杆的轴线方向平行，夹爪升降滚珠丝杆螺旋连接有夹爪升降滚珠丝杆螺母，垂直滚珠丝杆螺母与夹爪机构的上夹爪座转动连接，夹爪升降电机启动驱动夹爪升降滚珠丝杆转动，带动上夹爪组件做竖直往复移动，控制上夹爪组件和下夹爪组件的距离，上夹爪组件向上移动到设定位置使上夹爪与固定夹爪的距离大于料盒的高度，使处于料盒的取放状态，上夹爪组件向下移动到设定位置使上夹爪与固定夹爪的距离小于料盒的高度，使处于料盒的夹紧状态。
13.进一步的；所述连接组件包括连接板和连接件，固定组件包括固定板和固定件，连接板和固定板设置为l型结构，连接板和固定板的竖直成型面分别与活动上料侧板固设连接，连接板和固定板的水平成型面分别固设有连接腰型孔和固定腰型孔，上料底板分别固设有若干连接孔和若干固定孔，连接件依次插入连接腰型孔、连接孔并将连接组件与上料底板固设连接，固定件依次插入固定腰型孔、固定孔并将固定组件与上料底板固设连接，通过连接腰型孔和固定腰型孔调节活动上料侧板与上料底板的连接位置，控制活动上料侧板和固定上料侧板之间的间距，上料机架的一侧安装有侧固板，侧固板设置为l型结构，侧固板包括水平成型面和竖直成型面，侧固板的水平成型面与上料底板的下端面固设连接，侧固板与上料底板之间形成安装腔，上料驱动组件和上料感应组件安装在安装腔，侧固板的竖直成型面与平台贯穿通腔的一端固设连接。
14.综上所述，本实用新型的有益之处在于：
15.1）、本实用新型通过料盒在上料机构以及料盒搬运机构的流转，装载基板的料盒移动至取料位后，基板拾取机构将基板依次从料盒中取出，并将基板输送到后续工艺设备，简化了各工艺设备，各工艺之间衔接顺利，降低了成本。
16.2）、本实用新型设置挡块和料感应组件，挡块将料盒定位在取料位，上料感应组件包括感应开关和浮动感应块，感应开关和浮动感应块配合，上料电机通过输送同步带将料盒移动至取料位时，料盒使浮动感应块摆动一定角度，感应开关发出信号，上料电机停止运行使料盒停留在取料位，提高了对料盒位置控制的精确性，便于料盒搬运机构对料盒的搬运和移动，以及便于基板拾取机构从料盒中取出基板。
附图说明
17.图1为本实用新型的基板上料机示意图。
18.图2为本实用新型的上料机构示意图一。
19.图3为本实用新型的上料机构示意图二。
20.图4为本实用新型的上料机构示意图三。
21.图5为图3中a的放大示意图。
22.图6为本实用新型的料盒搬运机构示意图。
23.图7为本实用新型的水平移动机构示意图。
24.图8为本实用新型的垂直升降机构示意图。
25.图9为本实用新型的夹爪机构示意图。
具体实施方式
26.以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。
27.需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
28.本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后、横向、纵向
……
)仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
29.实施例一：
30.如图1-9所示，一种基板上料机，包括上料机构1、料盒搬运机构2和料盒3，上料机构1分别与基板拾取机构和料盒搬运机构2对应，上料机构1将装载基板的料盒3由上料位移动至取料位，料盒搬运机构2搬运位于取料位的料盒3便于基板拾取机构从料盒3中取出基板，料盒搬运机构2将取料后的空载料盒3移出。
31.上料机构1包括上料机架11、上料驱动组件和上料感应组件，上料驱动组件和上料感应组件分别安装在上料机架11，上料驱动组件驱动料盒3运行，将装载基板的料盒3由上料位移动至取料位，便于后续处理，本实施例中，料盒搬运机构2位于上料驱动组件驱动料盒3的运行方向，与上料机构1呈直线或近似分布，取料位设置为上料机构1上与料盒搬运机构2相对的一端，上料位设置为上料机构1上与料盒搬运机构2相背的一端，装载基板的料盒3放置在上料位，装载基板的料盒3通过上料驱动组件移动至取料位，上料感应组件位于取料位，用于感应装载基板的料盒3是否到位，上料感应组件感应料盒3到位后使上料驱动组件停止运行。
32.上料机架11包括上料底板111、活动上料侧板112和固定上料侧板113，活动上料侧板112和固定上料侧板113平行设置，固定上料侧板113与上料底板111固设连接，固定上料
侧板113上固设有贯穿的基板出口1131，基板出口1131与取料位位置相对，料盒3位于取料位位置时，基板拾取机构从料盒3中取出基板，并经基板出口1131输送到后续工艺设备，简化了各工艺设备，各工艺之间衔接顺利，降低了成本，活动上料侧板112通过连接组件116和固定组件114与上料底板111固设连接，连接组件116和固定组件114位于活动上料侧板112的两侧将活动上料侧板112与上料底板111固设连接，保证活动上料侧板112的安装稳定性。
33.连接组件116包括连接板(图未标识)和连接件(图未标识)，固定组件114包括固定板(图未标识)和固定件(图未标识)，连接板和固定板设置为l型结构，根据图3的视觉角度，连接板和固定板的竖直成型面分别与活动上料侧板112固设连接，连接板和固定板的水平成型面分别固设有连接腰型孔(图未标识)和固定腰型孔(图未标识)，上料底板111分别固设有若干连接孔(图未标识)和若干固定孔(图未标识)，连接件依次插入连接腰型孔、连接孔并将连接组件116与上料底板111固设连接，固定件依次插入固定腰型孔、固定孔并将固定组件114与上料底板111固设连接，通过连接腰型孔和固定腰型孔可调节活动上料侧板112与上料底板111的连接位置，进而控制活动上料侧板112和固定上料侧板113之间的间距，满足不同规格料盒3的需求。
34.上料机构1还包括平台12，平台12位于上料底板111的上方，且与上料底板111平行设置，平台12上方固设有若干平台轨道121，料盒搬运机构2将已取出基板的空载料盒3移动至平台轨道121，便于转移机构将空载料盒3移走，活动上料侧板112固设有贯穿的通腔1121，平台12的一端与固定上料侧板113固设连接，平台12的另一端贯穿通腔1121并与活动上料侧板112固设连接，平台12与活动上料侧板112通过安装组件115连接，通过安装组件115可调节活动上料侧板112与平台12的相对固定位置。
35.为保证上料机架11的稳定性，上料机架11的一侧安装有侧固板110，侧固板110设置为l型结构，侧固板110包括水平成型面和竖直成型面，侧固板110的水平成型面与上料底板111的下端面固设连接，侧固板110与上料底板111之间形成安装腔100，上料驱动组件和上料感应组件安装在安装腔100，侧固板110的竖直成型面与平台12贯穿通腔1121的一端固设连接。
36.上料驱动组件包括上料电机160，上料电机160安装在安装腔100，上料电机160的输出轴固设有动力轮163，安装腔100前后位置安装有两组传动辊161，两组传动辊161上分别固设有若干带轮162,且两组传动辊161上的带轮162一一对应，相互对应的两组带轮162通过输送同步带动力连接，如图3所示，上层输送同步带位于上料底板111的上方，下层输送同步带位于安装腔100，与料盒搬运机构2相对的传动辊161上固设有连接轮164，动力轮163和连接轮164通过皮带动力连接，实现上料电机160的动力传递，料盒3位于两组输送同步带上，上料电机160通过动力轮163和连接轮164的传动带动带轮162转动，带轮162转动使输送同步带传动，输送同步带传动带动料盒3移动。
37.上料驱动组件还包括挡块165，挡块165安装在取料位，且位于带轮162的一侧，挡块165将料盒3定位在取料位。
38.上料感应组件包括感应开关18和浮动感应块17，感应开关18固设在上料底板111下端面，感应开关18和浮动感应块17配合，上料电机160通过输送同步带将料盒3移动至取料位时，料盒3使浮动感应块17摆动一定角度，感应开关18发出信号，上料电机160停止运行使料盒3停留在取料位，提高了对料盒3位置控制的精确性，便于料盒搬运机构对料盒3的搬
运和移动，以及便于基板拾取机构从料盒3中取出基板。
39.料盒搬运机构2包括水平移动机构21、垂直升降机构22以及夹爪机构23，夹爪机构23包括上夹爪组件231、下夹爪组件232以及夹爪升降组件233，夹爪升降组件233控制上夹爪组件231升降，使上夹爪组件231以及下夹爪组件232夹取或放松料盒3，夹爪机构23安装在垂直升降机构22，垂直升降机构22控制夹爪机构23做升降往复移动，垂直升降机构22与水平移动机构21连接，水平移动机构21控制垂直升降机构22做水平往复移动。
40.料盒搬运机构2还包括护罩20，水平移动机构21以及垂直升降机构22位于护罩20内，通过护罩20对水平移动机构21以及垂直升降机构22进行保护。
41.水平移动机构21包括水平驱动组件和底座215，底座215上固设有两组对称的水平导轨216，水平导轨216上滑动设置有水平滑块(图未标识)，垂直升降机构22与水平滑块固设连接，水平驱动组件包括水平电机211、水平支座212、水平联轴器213和水平滚珠丝杆214，水平支座212固设在底座215，水平电机211固设在水平支座212，水平电机211的输出轴贯穿水平支座212并与水平滚珠丝杆214通过水平联轴器213连接，通过水平联轴器213将水平电机211的转动传递给水平滚珠丝杆214，水平滚珠丝杆214螺旋连接有水平滚珠丝杆螺母215，水平滚珠丝杆螺母215与垂直升降机构22转动连接，水平滚珠丝杆214的轴线方向与水平导轨216的方向平行，水平电机211启动驱动水平滚珠丝杆214转动，进而带动垂直升降机构22沿水平导轨216做水平往复移动，水平电机211通过驱动垂直升降机构22控制夹爪机构23移动至取料位夹紧料盒3，此时，水平电机211驱动垂直升降机构22移动至前移动位置，水平电机211通过驱动垂直升降机构22控制夹爪机构23将料盒3脱离上料机构1，便于将空载的料盒3移动至平台轨道121，此时，水平电机211驱动垂直升降机构22移动至后移动位置，水平移动机构21还包括水平拖链217和水平感应器218，水平拖链217一端与底座215固设连接，另一端与垂直升降机构22固设连接，通过水平拖链217限制垂直升降机构22在水平方向的移动行程，水平感应器218固设在底座215，水平感应器218用于确认垂直升降机构22在水平方向是否移动到位。
42.垂直升降机构22包括垂直驱动组件和垂直支架(图未标识)，垂直支架包括支架底板221和支架侧板222，支架侧板222与支架底板221固设连接，支架底板221与水平滑块固设连接，垂直滚珠丝杆螺母229与支架侧板222转动连接。
43.垂直驱动组件包括垂直电机225、垂直联轴器224和垂直滚珠丝杆223，垂直电机225固设在支架侧板222，垂直电机225的输出轴贯穿支架侧板222并向下与垂直滚珠丝杆223通过垂直联轴器224连接，通过垂直联轴器224将垂直电机225的转动传递给垂直滚珠丝杆223，垂直滚珠丝杆223的轴线方向与水平导轨216的方向垂直，垂直滚珠丝杆223螺旋连接有垂直滚珠丝杆螺母229，垂直滚珠丝杆螺母229与夹爪机构23的下夹爪组件232转动连接，垂直电机225启动驱动垂直滚珠丝杆223转动，进而带动夹爪机构23做竖直往复移动，从而将空载的料盒3移动至平台轨道121。
44.垂直升降机构22还包括垂直拖链220，垂直拖链220一端与支架底板221固设连接，另一端与夹爪机构固设连接，垂直拖链220限制夹爪机构在竖直方向的移动行程。
45.支架底板221上固设有垂直导轨226，垂直导轨226的轴线与垂直滚珠丝杆223的轴线平行，垂直导轨226上滑动设置有若干垂直滑块227，一部分垂直滑块227与上夹爪组件231固设连接，另一部分垂直滑块227与下夹爪组件232固设连接，下夹爪组件232与垂直滚
珠丝杆螺母229转动连接，垂直电机225启动驱动垂直滚珠丝杆223转动，进而带动上夹爪组件231和下夹爪组件232沿竖直方向同步做升降运动，从而将空载的料盒3移动至平台轨道121。
46.上夹爪组件231包括上夹爪座2311以及上夹爪，本实施例中上夹爪设置有两组，且两组上夹爪对称固设在上夹爪座2311，上夹爪包括活动夹爪2312、弹簧2313和浮动夹头2314，活动夹爪2312的一端与上夹爪座2311固设连接，另一端通过弹簧2313和浮动夹头2314弹性连接，浮动夹头2314的下端面设置为圆弧面，自由状态下，浮动夹头2314在弹簧2313的作用下离开活动夹爪2312，夹取料盒3时，料盒3的上端面与浮动夹头2314的圆弧面表面紧贴，浮动夹头2314有一定浮动量，从而适应高度值精度范围内变化的料盒3和上夹爪组件231移动行程的精度值，弹簧2313产生的弹力使料盒3在被夹取后受到一定预紧力，下夹爪组件232包括下夹爪座2321和若干固定夹爪2322，若干固定夹爪2322固设在下夹爪座2321，固定夹爪2322与上夹爪位置相对，上夹爪用于在料盒3的上端夹取料盒3，固定夹爪2322用于在料盒3的下方对料盒3进行支撑，下夹爪座2321与垂直滚珠丝杆螺母229转动连接。
47.夹爪升降组件233包括夹爪升降电机2331、夹爪升降联轴器2332以及夹爪升降滚珠丝杆2334，夹爪升降电机2331固设在下夹爪座2321，夹爪升降电机2331的输出轴与夹爪升降滚珠丝杆2334通过夹爪升降联轴器2332连接，通过夹爪升降联轴器2332将夹爪升降电机2331的转动传递给夹爪升降滚珠丝杆2334，夹爪升降滚珠丝杆2334的轴线方向与垂直滚珠丝杆223的轴线方向平行，夹爪升降滚珠丝杆2334螺旋连接有夹爪升降滚珠丝杆螺母2333，垂直滚珠丝杆螺母229与夹爪机构23的上夹爪座2311转动连接，夹爪升降电机2331启动驱动夹爪升降滚珠丝杆2334转动，进而带动上夹爪组件231做竖直往复移动，进而控制上夹爪组件231和下夹爪组件232的距离，上夹爪组件231向上移动到设定位置使上夹爪与固定夹爪2322的距离大于料盒3的高度，此时处于料盒3的取放状态，上夹爪组件231向下移动到设定位置使上夹爪与固定夹爪2322的距离略小于料盒3的高度，此时处于料盒3的夹紧状态。
48.本实施例实施过程中，水平移动机构21控制垂直升降机构22移动至后移动位置，夹爪机构23处于取放状态，上料驱动组件处于停止运行状态，装载基板的料盒3移放到上料位，上料驱动组件启动通过输送同步带将装载基板的料盒3从上料位移动至取料位，上料感应组件使料盒3停留在取料位，挡块165将料盒3定位在取料位，水平移动机构21的水平电机211驱动垂直升降机构22移动至前移动位置，夹爪升降电机2331启动，夹爪机构23由取放状态转化为夹紧状态对料盒3进行夹紧，垂直升降机构22的垂直电机225启动通过夹爪机构23将料盒3上移至设定位置，基板拾取机构将基板依次从料盒3中取出，并经固定上料侧板113的基板出口1131输送到后续工艺设备，料盒3里的基板全部取完后，空载的料盒3被移放到平台12的平台轨道121上，转移机构将空载的料盒3移走。
49.本实施例通过料盒3在上料机构1以及料盒搬运机构2的流转，装载基板的料盒移动至取料位后，基板拾取机构将基板依次从料盒3中取出，并将基板输送到后续工艺设备，简化了各工艺设备，各工艺之间衔接顺利，降低了成本。
50.显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的
所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。