一种硅晶圆棒吊装设备的制作方法

1.本实用新型属于硅晶圆棒的生产加工技术领域，具体涉及一种硅晶圆棒吊装设备。


背景技术：

2.硅晶圆就是硅半导体电路制作所用的硅晶片，也是制造ic的基本原料，通常由硅晶圆切割而成，而晶圆便是硅元素加以纯化（99.999%），接着是将这些纯硅制成硅晶圆棒，经过照相制版，研磨，抛光，切片等程序，将多晶硅融解拉出单晶硅晶棒，然后切割成一片一片薄薄的晶圆。
3.现有的硅晶圆棒切割过程中，针对不同尺寸的硅晶圆棒，通常固定使某一较大尺寸的吊装设备，在尺寸不匹配时，需要借助人力的外部协助固定，容易造成硅晶圆棒固定的不稳定，从而影响切割面的光滑程度和切割厚度，使切割难以达到理想效果，同时增大了劳动强度。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种硅晶圆棒吊装设备，以解决上述背景技术中提出的不同尺寸硅晶圆棒的吊装问题。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种硅晶圆棒吊装设备，包括支撑架，所述支撑架的上半部呈v字型，所述支撑架的下半部为对称分布的两个三角形，所述支撑架的顶部底面固定连接有液压杆，所述液压杆的底部固定连接有u型吊臂，所述u型吊臂的底部设置有贯穿两侧壁的固定轴，所述u型吊臂的内部通过固定轴转动连接交叉设置的第一支臂和第二支臂，所述第一支臂和第二支臂的底部设置有固定组件，所述第一支臂和第二支臂的下部位于固定组件上方设置有防晃动组件，所述第一支臂和第二支臂顶部设置有夹持控制组件。
6.通过设置防晃动组件、夹持控制组件，实现了同一设备对不用尺寸硅晶圆棒的有效固定，尽量提高吊装作业的工作效率。
7.优选的，所述第一支臂的中部两侧开设有转动槽，所述第二支臂中部开设有转动通道，所述第一支臂和第二支臂以固定轴为支轴相对转动，所述第一支臂和第二支臂上下两端长度和开口大小一致。
8.通过设置第一支臂和第二支臂为交叉转动，实现了夹持的稳定性和操控的便利性。
9.优选的，所述固定组件包括分别螺纹插接在第一支臂和第二支臂底部的第二螺纹杆，所述第二螺纹杆位于第一支臂和第二支臂之间的一端转动连接有固定块。
10.通过设置螺纹杆和固定块，实现了对不同尺寸硅晶圆棒的固定。
11.优选的，所述防晃动组件包括开设在第一支臂和第二支臂下半部内壁的凹槽以及一端铰接在凹槽内的的活动杆，两个所述活动杆之间转动连接有活动板。
12.通过设置活动杆和活动板，实现了第一支臂和第二支臂收拢时，防晃动组件能往下移动。
13.优选的，所述活动板的中部螺纹插接有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆的底部转动连接有限位块。
14.通过设置第一螺纹杆和限位块，实现了对硅晶圆棒顶部的固定。
15.优选的，所述固定块与限位块的底部均呈弧形状，且弧形的内环面均固定粘接有胶垫。
16.通过设置胶垫，实现了对硅晶圆棒固定夹持挤压时的保护。
17.优选的，所述夹持控制组件包括固定连接在u型吊臂内壁并位于第一支臂与第二支臂上端之间的气缸，所述气缸的两端转动连接有卡座，所述卡座分别与第一支臂和第二支臂内壁固定连接。
18.通过设置气缸，实现了通过气缸对第一支臂与第二支臂固定夹持的控制。
19.综上所述，本实用新型的技术效果和优点：该硅晶圆棒的吊装备，相较于现有的吊装设备，通过在支撑架顶部底面设置液压杆连接u型吊臂，实现了吊装的稳定升降。同时在u型吊臂内部转动设置有剪刀样式的第一支臂和第二支臂，并通过顶部液压杆的伸缩控制开口的收拢和张开，实现对第一支臂和第二支臂底部固定组件对硅晶圆棒的夹持，固定组件的第二螺纹杆的旋转又能匹配不同尺寸的硅晶圆棒，设置在第一支臂和第二支臂下半部的旋转第一螺纹杆实现从上方对硅晶圆棒的挤压固定，尽量增强吊装的稳定。
附图说明
20.图1为本实用新型的整体结构示意图；
21.图2为本实用新型夹持机构结构示意图；
22.图3为本实用新型的第一支臂和第二支臂结构示意图；
23.图4为本实用新型图2中a处放大示意图。
24.图中：1、支撑架；2、液压杆；3、u型吊臂；4、第一支臂；5、第二支臂；6、卡座；7、气缸；8、固定轴；9、凹槽；10、活动杆；11、第一螺纹杆；12、活动板；13、限位块；14、胶垫；15、第二螺纹杆；16、固定块。
具体实施方式
25.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
26.参照图1、2，包括支撑架1，支撑架1的上半部呈v字型，v字型顶部为横块设计，支撑架1的下半部为两侧对称分布的三角形，保证支撑架1摆放的稳定性。支撑架1的顶部底面固定连接有液压杆2，液压杆2的伸缩可以实现吊装的上下移动。液压杆2的底部固定连接有u型吊臂3，u型吊臂3的底部设置有贯穿两侧壁的固定轴8，u型吊臂3的内部通过固定轴8转动连接交叉设置的第一支臂4和第二支臂5，第一支臂4和第二支臂5的横截面均为矩形，第一支臂4和第二支臂5的设置呈剪刀样式且顶端不高于u型吊臂3顶部底面，保证第一支臂4和第二支臂5顶部张开与收拢的移动空间。第一支臂4和第二支臂5的底部设置有固定组件，用
于通过两侧固定硅晶圆棒。第一支臂4和第二支臂5的下部位于固定组件上方设置有防晃动组件，用于从上方给硅晶圆棒施加压力，尽量提高固定的稳定性。第一支臂4和第二支臂5顶部设置有夹持控制组件，控制第一支臂4和第二支臂5顶部张开与收拢，进而带动底部的张开与收拢。
27.参照图2、3，第一支臂4的中部两侧开设有转动槽，第二支臂5中部开设有转动通道，转动槽和转动通道的横截面均为矩形，保证第一支臂4和第二支臂5能够交叉转动。第一支臂4和第二支臂5以固定轴8为支轴相对转动，固定轴8两端连接到u型吊臂3。第一支臂4和第二支臂5上下两端长度和开口大小一致，能够实现通过控制顶部的张开与收拢进而控制底部的张开与收拢。
28.参照图2，固定组件包括分别螺纹插接在第一支臂4和第二支臂5底部的第二螺纹杆15，第二螺纹杆15的外端固定设置有旋杆，方便对第二螺纹杆15进行旋转。第二螺纹杆15位于第一支臂4和第二支臂5之间的一端转动连接有固定块16，转动两侧的第二螺纹杆15能带动固定块16的位移，进而能匹配不同尺寸的硅晶圆棒。
29.参照图2，防晃动组件包括开设在第一支臂4和第二支臂5下半部内壁的凹槽9以及一端铰接在凹槽9内的的活动杆10，第一支臂4和第二支臂5的张开与收拢能带动活动杆10的转动。两个活动杆10之间转动连接有活动板12，两侧活动杆10的转动能带动活动板12的上下移动。
30.参照图2，活动板12的中部螺纹插接有第一螺纹杆11，第一螺纹杆11顶部固定设置有旋杆，方便对第一螺纹杆11进行旋转。第一螺纹杆11的底部转动连接有限位块13，第一螺纹杆11的旋转能带动限位块13的位移。
31.参照图2，固定块16与限位块13的底部均呈弧形状，能匹配圆柱形的硅晶圆棒，实现更好的固定。且弧形的内环面均固定粘接有胶垫14，胶垫14为防滑胶垫14，尽量增强固定的稳定性，同时避免挤压造成对硅晶圆棒表面的磨损。
32.参照图2、4，夹持控制组件包括固定连接在u型吊臂3内壁并位于第一支臂4与第二支臂5上端之间的气缸7，气缸7为双向气缸7。气缸7的两端转动连接有卡座6，卡座6分别与第一支臂4和第二支臂5内壁固定连接，卡座6与气缸7的转动连接能保证气缸7灵活的伸缩。
33.工作原理：将硅晶圆棒放在支撑架1底部，启动气缸7，双向伸展，将第一支臂4和第二支臂5的顶部开口打开，同时会带动底部开口打开，调整液压杆2到合适长度，将固定组件下放到硅晶圆棒外侧，旋转两侧旋杆带动第二螺纹杆15推动固定块16向内部移动挤压，将硅晶圆棒固定在两侧固定块16的胶垫14之间。接着转动第一螺纹杆11顶部的旋杆，带动第一螺纹杆11向下转动推动限位块13向下位移，将限位块13底部的胶垫14转动到硅晶圆棒的表面。确保固定后，启动气缸7进行双向收缩，将第一支臂4和第二支臂5的开口进行收拢，固定好硅晶圆棒，启动液压缸向上调节，调整到合适高度，完成吊装作业。
34.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。