微米组件调节装置以及微米组件转置装置的制作方法

1.本实用新型涉及微电子器件制造领域，尤其涉及一种微米组件调节装置以及微米组件转置装置。


背景技术：

2.微米组件在进行非接触式转移时，是放置在治具上转移至基板载台，此转移过程中，若治具与基板载台没有保持平行，而是在歪斜的情况下进行转移，会造成转移后的偏移与微米组件的歪斜。


技术实现要素：

3.本实用新型要解决的技术问题是为了克服现有微米组件转移装置在暂定基板和接收基板未保持平行，造成转移后微米组件出现偏移或歪斜的缺陷，提供一种微米组件调节装置以及微米组件转置装置。
4.本实用新型通过如下方式解决该技术问题：
5.一种微米组件调节装置，包括用于放置微米组件的治具，微米组件调节装置还包括承载机构与锁止机构，所述治具连接所述承载机构且所述治具可相对所述承载机构在第一平面上自由摆动，所述锁止机构能够用于实现所述治具与承载机构间的相对锁止。
6.采用这样的结构在运行时，将能够相对承载机构摆动的治具与基板载台的平面相贴，此时该治具会与基板载台的平面自我调整贴合，随后通过锁止机构将治具与承载机构相对死锁，此时治具无法移动和转动，因此当治具与基板载台在垂直方向上分离后就能够保持平行的状态。避免微米组件在转置后出现偏离或歪斜。
7.优选的，所述承载机构包括第一架体和第二架体，所述第一架体与所述治具间通过位于第一平面上的第一旋转轴转动连接，所述第一架体和所述第二架体通过位于第一平面上的第二旋转轴转动连接，所述第一旋转轴垂直于所述第二旋转轴。
8.因此实现了治具在第一平面上的自由摆动。
9.优选的，所述锁止机构包括用于实现所述治具与第一架体间锁止的第一锁止件以及用于实现所述第一架体与第二架体间相对锁止的第二锁止件。通过第一锁止件实现治具与第一架体之间的锁止，通过第二锁止件实现第一架体和第二架体之间的锁止，由此使治具能够与承载机构保持相对固定。
10.优选的，所述第一锁止件包括设于所述第一架体上的第一滑块，所述第一滑块对应设于所述第一旋转轴的轴向一侧且能够朝所述治具方向移动以抵住所述治具，所述第二锁止件包括设于所述第二架体上的第二滑块，所述第二滑块对应设于所述第二旋转轴的轴向一侧且能够朝所述第一架体方向移动以抵住所述第一架体。
11.通过第一滑块抵住治具进而锁止治具相对第一架体的旋转，通过第二滑块抵住第一架体进行锁止第一架体相对第二架体的旋转，由此实现治具与承载机构间的相对固定。
12.优选的，所述第一架体上设有沿所述第一旋转轴轴向方向延伸的第一滑轨，所述
第一滑块设于所述第一滑轨上且能够沿其滑动，所述第二架体上设有沿所述第二旋转轴轴向方向延伸的第二滑轨，所述第二滑块设于所述第二滑轨上且能够沿其滑动。
13.由此使第一滑块能够在锁止治具与解除锁止的状态间切换，以及使第二滑块在锁止第一架体和解除锁止的状态间切换。
14.优选的，所述第一旋转轴与所述治具固定连接，所述第二旋转轴与所述第一架体固定连接，所述第一锁止件包括设于所述第一旋转轴轴向一侧的第一锁轴器，所述第二锁止件包括设于所述第二旋转轴轴向一侧的第二锁轴器。
15.通过第一锁轴器锁止第一旋转轴以实现治具相对的第一架体的止转，通过第二锁轴器锁止第二旋转中以实现第二架体相对第一架体的止转。
16.优选的，所述承载机构包括万向接头，所述万向接头包括能够万向摆动的连接杆，所述连接杆与所述治具固定连接。
17.该治具能够相对连接杆万向旋转进而实现在第一平面上的自由摆动。
18.优选的，锁止机构包括能够锁止所述连接杆的第三锁止件。由此实现万向接头与治具间的相对静止。
19.优选的，所述第一平面为水平面。
20.本实用新型还提供了一种微米组件转置装置，包括如上文所述的微米组件调节装置。
21.本实用新型的积极进步效果在于：能够使治具与基板载台间保持水平，避免转移后微米组件出现偏移或歪斜。
附图说明
22.图1为实施例1中调节装置的俯视图；
23.图2为实施例1中调节装置的立体图；
24.图3为实施例2中调节装置的俯视图；
25.图4为实施例2中调节装置的立体图；
26.图5为实施例3中调节装置的俯视图；
27.图6为实施例3中调节装置的立体图；
28.附图标记说明：
29.治具 100
30.承载机构 200
31.第一架体 210
32.第一旋转轴 211
33.第二架体 220
34.第二旋转轴 221
35.锁止机构 300
36.第一锁止件 310
37.第一滑块 311
38.第一滑轨 312
39.第二锁止件 320
40.第二滑块 321
41.第二滑轨 322
42.第一锁轴器 330
43.第二锁轴器 340
44.万向接头 350
45.连接杆 351
46.第三锁止件 360
具体实施方式
47.下面通过实施例的方式进一步说明本实用新型，但并不因此将本实用新型限制在的实施例范围之中。
48.实施例1
49.如图1和图2所示，本实施例提供了一种微米组件调节装置，包括用于放置微米组件的治具100，该治具100上设有与微米组件形状大小相匹配的凹陷以用于容纳该微米组件。还包括承载机构200以及锁止机构300。该治具100与该承载机构200连接并能够相对该承载机构200在第一平面上自由摆动，在本实施例中，该第一平面为水平面，所指的自由摆动是指该治具100能够在相对水平面全向摆动。该锁止机构300能够用于实现该治具100与承载机构200间的相对锁止。
50.在运行时，将能够相对承载机构200摆动的治具100与基板载台的平面相贴，此时该治具100会与基板载台的平面自我调整贴合，随后通过锁止机构300将治具100与承载机构200相对死锁，此时治具100无法移动和转动，因此当治具100与基板载台在垂直方向上分离后就能够保持平行的状态。避免微米组件在转置后出现偏离或歪斜。
51.在本实施例中，该治具100相对承载机构200的自由摆动是通过如下方式实现的：该承载机构200包括第一架体210和第二架体220。该第一架体210中具有用于容纳该治具100的放置空间，并且该放置空间略大于容纳腔以留出容治具100进行摆动的间隙，该治具100置于容纳腔内，并通过位于第一平面上的第一旋转轴211与第一架体210旋转连接。
52.该第二架体220中具有用于容纳该第一架体210的放置空间，同样的，该第二架体220的放置空间略大于该第一架体210的外轮廓以容第一架体210进行摆动。该第一架体210具有位于第一平面上的第二旋转轴221，该第二旋转轴221的两端枢接于该第二架体220放置空间的内腔中，由此使该第一架体210能够相对第二架体220转动。
53.该第一旋转轴211垂直于该第二旋转轴221。
54.由此，若定义该第一旋转轴211为该第一平面的x轴，则该第二旋转轴221则为该第一平面的y轴，该治具100能够相对第一平面沿x轴和y轴旋转，由此实现了该治具100在第一平面上的全向转动。
55.在本实施例中，该锁止机构300通过如下方式实现治具100与承载机构200之间的锁止：该锁止机构300包括用于实现治具100与第一架体210间锁止的第一锁止件310以及用于实现第一架体210与第二架体220间相对锁止的第二锁止件320。
56.该第一锁止件310包括设于该第一架体210上的第一滑块311，该第一滑块311对应设于该第一旋转轴211的轴向一侧，其能够朝该治具100方向移动并抵住治具100，进而实现
治具100的止转。
57.该第二锁止件320包括设于第二架体220上的第二滑块321，该第二滑块321对应设于第二旋转轴221的轴向一侧，其能够朝该第一架体210方向移动并抵住该第一架体210，进而实现第二架体220相对第一架体210的止转。
58.由此，当第一滑块311抵住治具100，第二滑块321抵住第一架体210时，该治具100相对第一架体210锁止，该第一架体210相对第二架体220锁止。此时该治具100与由第一架体210和第二架体220构成的承载机构200间保持相对固定。使治具100在调节后能够保持与基板载台平行的状态。
59.在本实施例中，该第一架体210于第一旋转轴211的轴向一侧设有沿该第一旋转轴211轴向方向延伸的第一滑轨312，该第一滑块311设于该第一架体210上且能够沿第一架体210滑动，使用时手动滑动第一滑块311使其与治具100相贴即可实现对治具100的锁止。该第二架体220于第二旋转轴221的轴向一侧设有沿该第二旋转轴221轴向方向延伸的第二滑轨322。同样的，通过滑动第二滑块321使其与第一架体210相贴即可实现对第一架体210的锁止。
60.将第一滑块311、第二滑块321设于旋转轴轴向侧的原因在于：第一架体210和第二架体220位于垂直于轴向侧的端面在转动时的路径为一个弧面，难以实现锁止，而轴向侧的端面在转动时始终为一个垂直表面，能够方便的实现锁止，锁止更为可靠。
61.实施例2
62.如图3和图4所示，本实施例所提供的微米组件调节装置与实施例1中的基本一致，其区别仅在于锁止机构300，本实施中的锁止机构300包括第一锁止件310和第二锁止件320，其中，该第一旋转轴211与治具100固定连接，第一锁止件310包括设于第一旋转轴211轴向一侧的第一锁轴器330；该第二旋转轴221与第一架体210固定连接，该第二锁止件320包括设于第二旋转轴221轴向一侧的第二锁轴器340。当治具100与基板载台的平面对齐后，通过第一锁轴器330死锁第一旋转轴211；第二锁轴器340死锁第二旋转轴221以实现治具100与承载机构200间的相对静止。
63.更佳的，在本实施例中，该第一锁轴器330和第二锁轴器340还能够是电动控制的，在治具100与基板载台的平面对齐后，向第一锁轴器330和第二锁轴器340输出电信号以使其死锁第一旋转轴211和第二旋转轴221。操作更为便利。
64.实施例3
65.如图5和与图6所示，本实施例同样提供了一种微米组件调节装置，其包括用于承载微米组件的治具100以及连接该治具100的承载机构200，该承载机构200包括万向接头350，该万向接头350包括能够万向摆动的连接杆351，该连接杆351与治具100固定连接。由此使治具100也能够在第一平面，即水平面上自由摆动。
66.该锁止机构300还包括能够锁止该连接杆的第三锁止件360，由此实现治具100与承载机构200之间的相对静止。
67.本实用新型还提供了一种微米组件转置装置，包括如实施例1、实施例2以及实施3中所描述的微米组件调节装置。该微米组件调节装置能够使放置微米组件的治具100与基板载台间保持水平，避免转移后微米组件出现偏移或歪斜。
68.虽然以上描述了本实用新型的具体实施方式，但是本领域的技术人员应当理解，
这仅是举例说明，本实用新型的保护范围是由所附权利要求书限定的。本领域的技术人员在不背离本实用新型的原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做出多种变更或修改，但这些变更和修改均落入本实用新型的保护范围。