一种坩埚起吊夹具的制作方法

1.本实用新型涉及半导体材料技术领域，具体涉及一种坩埚起吊夹具。


背景技术：

2.半导体材料生产制备过程中需要用到坩埚在发热筒中高温加热，在材料的试验初期，工作人员使用双手夹紧坩埚来进行装炉和出炉操作，因坩埚重量大，发热筒内部空间狭小，石墨制品的坩埚本身很滑、不易握紧，并且停炉降温至所需温度发热筒及坩埚余温依然很高，导致坩埚装取不便，损耗时间、工人劳动强度大，双手夹紧坩埚来进行装炉和出炉操作，极易造成坩埚滑脱从而损坏底部装置，或温度过高导致烫伤的安全事故。
3.中国专利《一种坩埚吊装夹具》(申请号：201420596381.x；授权公告号：cn 204151464u)公开了一种坩埚吊装夹具，这种夹具的夹持对象是开口的坩埚，这种开口的坩埚在半导体材料生产制备工况中是没有运用条件的，具体来说，半导体材料生产制备工况需要保持坩埚内的温藏，即保持坩埚从发热筒中取出也是具有一定高温，因此，这种开口的坩埚在半导体材料生产制备工况中不适用。中国专利《一种起吊坩埚的夹具》(申请号：201320736047.5；授权公告号：cn 203583012 u)公开了另外一种坩埚吊装夹具，这种夹具也是适用于开口的坩埚。
4.此外，申请人说明，现有有为了方便起吊，在坩埚上部打孔，打孔处采用螺丝固定，利用螺丝处的吊耳起吊，这种坩埚由于打孔的存在，会造成坩埚温藏的不均匀，即打孔处散热快，从而影响坩埚内的材料属性。


技术实现要素：

5.为解决背景技术中的问题，本实用新型提出一种坩埚起吊夹具，通过本实用新型夹具将坩埚从发热筒中取出，不会破坏坩埚内的温藏，且操作简便，避免双手直接接触坩埚，从而有效避免烫伤的安全事故。
6.为解决上述问题，本实用新型采用如下技术方案：一种坩埚起吊夹具，包括第一l形活动臂和第二l形活动臂，第一l形活动臂的弯折处设置铰接端，第二l形活动臂的一自由边铰接于该铰接端，第二l形活动臂的另一自由边可自由转动至第一l形活动臂的竖置自由边的相对面；且第二l形活动臂、第一l形活动臂的相对面上设置夹钳；所述的铰接端设置活动臂限位锁定单元。
7.进一步的，第一l形活动臂、第二l形活动臂的转动面位于同一平面；当所述的第二l形活动臂的另一自由边转动至第一l形活动臂的竖置自由边的相对面，所述的第二l形活动臂的一自由边位于第一l形活动臂的横置自由边的正上方。
8.再进一步的，所述的铰接端设置于第一l形活动臂弯折处的外侧，所述活动臂限位锁定单元包括设置于该铰接端的活动臂固定件。
9.再进一步的，第一l形活动臂弯折处的外侧设置限位槽口，所述的限位槽口为开口朝上的弧口槽，所述的活动臂固定件包括限位槽口两侧设置的固定板，固定板焊接于第一l
形活动臂的弯折处，所述的第二l形活动臂的一自由边位于两固定板之间延伸至所述的限位槽口中，第二l形活动臂的一自由边的延伸端设置与所述的弧口槽弧形一致的转动凸块，转动凸块上开设铰接孔，两固定板与所述的铰接孔之间设置转动销。
10.再进一步的，所述的第二l形活动臂的一自由边的上部和所述的第一l形活动臂的横置自由边的下部设置锁紧把手。
11.再进一步的，第二l形活动臂、第一l形活动臂的相对面的臂端铰接有活动夹块，所述的夹钳固设于两活动夹块的相对面上，夹钳的相对面上设置泡棉单棉胶。
12.再进一步的，活动夹块的铰接位设置限位销。
13.本实用新型的有益效果：本实用新型夹具适用半导体材料生产制备工况的坩埚，打开本实用新型夹具可以自上而下夹持在坩埚外侧壁，也可以从侧面直接夹持坩埚外侧壁。这样，通过本实用新型夹具将坩埚从发热筒中取出，不会破坏坩埚内的温藏，且操作简便，避免双手直接接触坩埚，从而有效避免烫伤的安全事故。
附图说明
14.下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
15.图1为本实用新型的结构图；
16.图2为本实用新型的第一l形活动臂的结构图；
17.图3为本实用新型的活动臂固定件的固定板的结构图；
18.图4为本实用新型的第二l形活动臂的结构图。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.一种坩埚起吊夹具，包括第一l形活动臂4和第二l形活动臂7，第一l形活动臂4的弯折处设置铰接端，第二l形活动臂7的一自由边铰接于该铰接端，第二l形活动臂7的另一自由边可自由转动至第一l形活动臂4的竖置自由边的相对面；且第二l形活动臂7、第一l形活动臂4的相对面上设置夹钳3；所述的铰接端设置活动臂限位锁定单元。
21.本实用新型夹具适用半导体材料生产制备工况的坩埚，打开本实用新型夹具可以自上而下夹持在坩埚外侧壁，也可以从侧面直接夹持坩埚外侧壁。这样，通过本实用新型夹具将坩埚从发热筒中取出，不会破坏坩埚内的温藏，且操作简便，避免双手直接接触坩埚，从而有效避免烫伤的安全事故。
22.进一步的，第一l形活动臂4、第二l形活动臂7的转动面位于同一平面；当所述的第二l形活动臂7的另一自由边转动至第一l形活动臂4的竖置自由边的相对面，所述的第二l形活动臂7的一自由边位于第一l形活动臂4的横置自由边的正上方。
23.参照附图，第一l形活动臂5和第二l形活动臂7的弯折方向是同向布置的，工作状态形成“ㄇ”形。参照附图1，这也是本实用新型夹具夹持状态图，即夹钳3的间距等于坩埚外圈直径。实际上，夹钳3可以有多种构造设计，即可固设，也可以铰接设置。铰接的构造设计：
确定夹持方向，夹钳3沿本实用新型夹具夹持形成的夹持面内可转动铰接，优选的，铰接轴采用限位销轴结构，如图1所示，图1状态，夹钳3的铰接轴由于夹持的压力的挤压限定转动，从而形成稳定夹持，方便坩埚从发热筒中取出。
24.再进一步的，所述的铰接端设置于第一l形活动臂4弯折处的外侧，所述活动臂限位锁定单元包括设置于该铰接端的活动臂固定件5。
25.再进一步的，第一l形活动臂4弯折处的外侧设置限位槽口41，所述的限位槽口41为开口朝上的弧口槽，所述的活动臂固定件5包括限位槽口41两侧设置的固定板，固定板焊接于第一l形活动臂4的弯折处，所述的第二l形活动臂7的一自由边位于两固定板之间延伸至所述的限位槽口41中，第二l形活动臂7的一自由边的延伸端设置与所述的弧口槽弧形一致的转动凸块，转动凸块上开设铰接孔，两固定板与所述的铰接孔之间设置转动销6。
26.再进一步的，所述的第二l形活动臂7的一自由边的上部和所述的第一l形活动臂4的横置自由边的下部设置锁紧把手8。
27.再进一步的，第二l形活动臂7、第一l形活动臂4的相对面的臂端铰接有活动夹块1，所述的夹钳3固设于两活动夹块1的相对面上，夹钳3的相对面上设置泡棉单棉胶9。
28.再进一步的，活动夹块1的铰接位设置限位销2。
29.设置的活动夹块1以及其铰接位上的限位销2可调整夹钳3位置，进一步方便夹持，实际上，优选的，采用的是打开本实用新型夹具自上而下夹持在坩埚外侧壁。工作状态，本实用新型夹具打开，垂直往下，再捏紧锁紧把手8，夹钳3夹持在加热坩埚的中部外侧壁上，即形成对坩埚外圈的夹持，夹紧后本实用新型夹具是一个相对固定的状态，提起夹具，即方便的取出发热筒中的坩埚，再松开锁紧把手8，这样装卸方便且安全。
30.综上所述，本实用新型的一种坩埚起吊夹具，通过第一l形活动臂4和第二l形活动臂7形成的手柄标杆传递力矩，夹具底部圆弧状夹钳3与坩埚外圈匹配，夹钳3上设置的防滑单面泡棉阻止坩埚滑脱，本实用新型实现简单快速夹牢坩埚。夹牢可靠，定位精度，安全性高，既降低了工人的劳动强度，又极大的提高了取放坩埚的安全性和时效性。泡棉单面胶9起到坩埚起吊夹具防滑作用。第二l形活动臂7和第一l形活动臂4仅需较小的活动空间，即能完成坩埚固定作用。第二l形活动臂7和第一l形活动臂4形成的夹钳口有一定的活动间距，夹钳口始终和坩埚中心垂直线，定心精度高。
31.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。