一种兼容硅片输送装置及硅片检测装置的制作方法

1.本实用新型属于电池制造技术领域，尤其涉及一种兼容硅片输送装置及硅片检测装置。


背景技术：

2.随着硅片尺寸的不断变化，市场上的整片尺寸有166mm*166mm、182mm*182mm、210mm*210mm、230mm*230mm等不同尺寸，随着硅片尺寸的不断丰富多样化以及半片硅片、三分之硅片等多分片的出现，在对硅片进行侧边检测时，当前的硅片输送装置无法兼容这些不同尺寸的硅片。


技术实现要素：

3.为了解决相关技术中的问题，本技术提供了一种兼容硅片输送装置可以有效提高对不同尺寸硅片的兼容性，技术方案如下：
4.一方面，本技术提出了一种兼容硅片输送装置，兼容硅片输送装置包括支架，以及安装在支架上的驱动装置、至少一个固定输送机构、调节输送机构、与固定输送机构一一对应的补偿组件，其中：驱动装置的驱动端与固定输送机构传动连接，以带动固定输送机构的固定输送带运转；固定输送机构的固定输送带至少缠绕经过补偿组件，补偿组件与调节输送机构传动连接；调节输送机构与固定输送机构并行设置；固定输送机构和/或调节输送机构用于输送硅片；调节输送机构被配置为可升降；调节输送机构在升降时带动补偿组件同步升降，以带动固定输送带的补偿段进行升降，补偿段为固定输送带缠绕经过补偿组件的部分输送带。
5.通过补偿组件使第一调节输送组件和第二调节输送组件升降移动时对固定输送机构进行输送带的长度变化补偿；通过升降调节输送机构改变固定输送机构和调节输送机构的相对高度，在对不同的硅片进行兼容时，避免干扰检测光路。
6.可选的，调节输送机构包括第一调节输送组件、第二调节输送组件、第一侧板、第二侧板和连接板，其中：第一调节输送组件和第二调节输送组件分别设于固定输送机构两侧；第一调节输送组件和第二调节输送组件分别通过第一侧板和第二侧板安装于连接板；连接板通过滑块连接于支架的竖向导轨；连接板用于带动第一调节输送组件和第二调节输送组件进行升降运动；第一调节输送组件和第二调节输送组件分别通过一个补偿组件与固定输送机构传动连接。
7.通过调节连接板在支架上的竖向距离，同时调整第一调节输送组件和第二调节输送组件相对固定输送机构的高度，能够保证第一调节输送组件和第二调节输送组件在支架上的竖向距离被调整同样的高度。
8.通过补偿组件实现固定输送机构与调节输送机构之间的传动连接，使得一个驱动装置能够驱动固定输送机构与调节输送机构
9.可选的，兼容硅片输送装置还包括锁紧组件，锁紧组件包括支撑部和锁紧部，第一
调节输送组件和第二调节输送组件安装在支撑部上，锁紧部用于将支撑部固定在支架上。
10.设置锁紧组件可以将移动到设定高度的第一调节输送组件和第二调节输送组件进行固定。
11.可选的，第一调节输送组件和第二调节输送组件采用相同结构，第一调节输送组件和第二调节输送组件均包括调节输送带、惰轮和传动轮；传动轮与补偿组件传动连接，调节输送带缠绕于惰轮和传动轮上，固定输送带通过补偿组件带动传动轮，使调节输送带转动。
12.通过设置传动轮将动力由驱动装置经固定输送带、补偿组件传递至调节输送带，进而带动调节输送带的运转，传动方式简单紧凑。
13.可选的，补偿组件包括第一调节轮、第二调节轮、第三调节轮和连接部；第一调节轮、第二调节轮和第三调节轮均安装于连接部；第一调节轮和第三调节轮竖向间隔设置，第二调节轮位于第一调节轮和第三调节轮之间，且第二调节轮位于第一调节轮和第三调节轮的侧边；固定输送带依次缠绕经过第一调节轮、第二调节轮和第三调节轮的部分为补偿段；调节输送机构包括导向轮，导向轮设置在第一调节轮上方，以将缠绕经过导向轮的输送带导向至第一调节轮；导向轮位于第一调节轮的正上方，或，导向轮位于第一调节轮的斜上方。
14.依次缠绕经过第一调节轮、第二调节轮和第三调节轮的固定输送带(即补偿段)的长度固定不变，而第一调节轮、第二调节轮和第三调节轮在调节输送机构上下调节的时候，也会同步升降，此时，补偿段的长度正好补偿了固定输送带因调节输送机构升降需要补偿的部分。
15.可选的，第一调节轮和第三调节轮之间的间距小于第二调节轮的直径。
16.这种安装方式可以使三个调节轮拥有与固定输送带更大的包覆面积，提高输送带输送时的稳定性。
17.可选的，兼容硅片输送装置还包括传动组件，传动组件用于连接传动轮和补偿组件；传动组件包括第一传动轴、第二传动轴和第三传动轴，其中：第一传动轴、第二传动轴和第三传动轴沿同一轴线依次设置，第一传动轴的第一端固定设置有传动轮，第一调节输送组件的调节输送带缠绕经过传动轮；第二传动轴的至少一端固定设置有第二调节轮，固定输送带缠绕经过第二调节轮；第三传动轴的第一端固定设置有传动轮，第二调节输送组件的调节输送带缠绕经过传动轮；传动轮的端部开设有卡槽，第一传动轴的第二端设有和卡槽相对应的第一卡接部，第三传动轴的第二端设有和卡槽相对应的第二卡接部。
18.将传动组件设计成第一传动轴、第二传动轴和第三传动轴，在需要更换中间侧的输送带时，可通过拆卸第一传动轴和第三传动轴对两侧的输送带进行快速拆卸，以方便进行中间侧输送带的更换。
19.可选的，第一调节输送组件和第二调节输送组件均包括第一张紧轮和调节架，调节架安装在支架上，第一张紧轮安装于调节架；调节输送带缠绕经过第一张紧轮；第一张紧轮可通过调节架改变安装位置；第一张紧轮用于对调节输送带进行张紧调节。
20.通过改变调节架的位置从而带动第一张紧轮，可以对第一调节输送组件和第二调节输送组件的输送带进行张紧调节。
21.可选的，固定输送机构包括第二张紧轮和调节板，调节板安装在支架上，第二张紧
轮安装于调节板；固定输送带缠绕经过第二张紧轮；第二张紧轮可通过调节板改变安装位置；第二张紧轮用于对固定输送带进行张紧调节。
22.通过调整调节板在支架上竖向的安装位置，对两侧的固定输送带进行张紧调节。
23.另一方面，本技术提出了一种硅片检测装置，硅片检测装置包括检测机构和上述兼容硅片输送装置，检测机构设于兼容硅片输送装置边侧；检测机构通过导轨可朝向或远离兼容硅片输送装置移动；检测机构对兼容硅片输送装置上的硅片进行平行于输送方向的侧边的检测。
24.通过使用上述的兼容硅片输送装置，配合可以朝向或远离待检硅片移动的检测机构，以实现对不同尺寸硅片的兼容。
25.应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的，并不能限制本实用新型。
附图说明
26.此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本实用新型的实施例，并与说明书一起用于解释本实用新型的原理。
27.图1为本实用新型的结构示意图；
28.图2为本实用新型的第一调节输送组件和第二调节输送组件的结构示意图；
29.图3为本实用新型去除第一调节输送组件后的剖视结构图；
30.图4为本实用新型的传动轴的结构示意图；
31.图5为本实用新型的张紧轮的安装示意图；
32.图6为输送带输送不同尺寸形态硅片的示意图。
33.图1至图5包括：1、支架；2、固定输送机构；21、固定输送带；3、调节输送机构；31、第一调节输送组件；32、第二调节输送组件；33、导向轮；34、调节输送带；35、惰轮；36、传动轮；37、第一侧板；38、第二侧板；39、连接板；41、第一调节轮；42；第二调节轮；43、第三调节轮；44、连接部；51、支撑部；52、锁紧部；61、第一传动轴；62、第二传动轴；63、第三传动轴；311、第一张紧轮；312、调节架；22、第二张紧轮；23、调节板；7、硅片检测装置。
具体实施方式
34.这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本实用新型相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本实用新型的一些方面相一致的装置和方法的例子。
35.市场上硅片的尺寸在不断变化，目前整片硅片有166mm*166mm、182mm*182mm、210mm*210mm、230mm*230mm等尺寸，硅片的尺寸在不断丰富，同时出现了半分片、三分片等多分硅片。其中，应理解的是，半分片指的是将整片二等分后的硅片，三分片指的是将整片三等分后的硅片。
36.对于硅片输送来讲，硅片的尺寸决定了输送带形成的承载面的大小，因此对于不同类型的多分片，甚至不同尺寸的整片，其所需要的承载面的大小均是不同的，而现有的输送机构显然无法兼容不同尺寸规格的硅片。
37.如附图1所示：
38.一方面，本技术提出了一种兼容硅片输送装置，包括支架1，以及安装在支架1上的驱动装置、至少一个固定输送机构2、调节输送机构3、与固定输送机构2一一对应的补偿组件，其中：驱动装置的驱动端与固定输送机构2传动连接，以带动固定输送机构2的固定输送带21运转；固定输送机构2的固定输送带21至少缠绕经过补偿组件，补偿组件与调节输送机构3传动连接；调节输送机构3与固定输送机构2并行设置；固定输送机构2和/或调节输送机构3用于输送硅片；调节输送机构3被配置为可升降；调节输送机构3在升降时带动补偿组件同步升降，以带动固定输送带21的补偿段进行升降，补偿段为固定输送带21缠绕经过补偿组件的部分输送带。
39.请参考图6所示，当输送整片硅片或者是沿输送方向边长小于垂直于输送方向边长的多分片，采用固定输送机构2和调节输送机构3共同运输硅片，当输送沿输送方向边长大于垂直于输送方向边长的多分片时，采用固定输送机构2输送硅片。
40.在输送沿输送方向边长大于垂直于输送方向边长的多分片时，调节输送机构3的调节输送带34不参与多分片的输送，此时在对多分片的侧边也即多分片沿输送方向的侧边进行检测时，调节输送机构会对侧边检测产生干扰。
41.本技术通过补偿组件使第一调节输送组件和第二调节输送组件升降移动时对固定输送机构2进行输送带的长度变化补偿，保证正常的硅片输送；通过升降调节输送机构改变固定输送机构2和调节输送机构3的相对高度，在对不同的硅片进行兼容时，避免干扰检测光路。
42.如附图1和2所示：
43.该实施例中，调节输送机构3包括第一调节输送组件31、第二调节输送组件32、第一侧板37、第二侧板38和连接板39，其中：第一调节输送组件31和第二调节输送组件32分别设于固定输送机构2两侧；第一调节输送组件31和第二调节输送组件32分别通过第一侧板37和第二侧板38安装于连接板39；连接板39通过滑块连接于支架1的竖向导轨；连接板39用于带动第一调节输送组件31和第二调节输送组件32进行升降运动；第一调节输送组件31和第二调节输送组件32分别通过一个补偿组件与固定输送机构2传动连接。
44.当需要为检测设备提供让位时，第一调节输送组件31和第二调节输送组件32在连接板39带动下进行下降移动，同时调整第一调节输送组件和第二调节输送组件相对固定输送机构的高度，能够保证第一调节输送组件和第二调节输送组件在支架上的竖向距离被调整同样的高度。第一侧板37和第二侧板38用于支撑第一调节输送组件31和第二调节输送组件32。通过补偿组件使第一调节输送组件31和第二调节输送组件32升降移动时对固定输送机构2进行皮带的长度变化补偿。
45.如附图2和3所示：
46.该实施例中，兼容硅片输送装置还包括锁紧组件，锁紧组件包括支撑部51和锁紧部52，第一调节输送组件31和第二调节输送组件32安装在支撑部51上，锁紧部52用于将支撑部51固定在支架1上。需要调整时，先松开锁紧部52，调整锁紧部52将第一调节输送组件31和第二调节输送组件32移动至设定位置后再锁紧锁紧部52，将第一调节输送组件31和第二调节输送组件32固定位置。设置锁紧组件可以将移动到设定高度的第一调节输送组件31和第二调节输送组件32进行固定。
47.如附图2-4所示：
48.该实施例中，第一调节输送组件31和第二调节输送组件32采用相同结构，第一调节输送组件31和第二调节输送组件32均包括调节输送带34、惰轮35和传动轮36；传动轮36与补偿组件传动连接，调节输送带34缠绕于惰轮35和传动轮36上，固定输送带21通过补偿组件带动传动轮36，使调节输送带34转动。惰轮35用于支撑调节输送带34，固定输送带21通过补偿组件传动使传动轮36转动，传动轮36带动调节输送带34转动。
49.通过设置传动轮36将动力由驱动装置经固定输送带21、补偿组件传递至调节输送带34，进而带动调节输送带34的运转，传动方式简单紧凑。
50.如附图1和3所示：
51.该实施例中，补偿组件包括第一调节轮41、第二调节轮42、第三调节轮43和连接部44；第一调节轮41、第二调节轮42和第三调节轮43均安装于连接部44；第一调节轮41和第三调节轮43竖向间隔设置，第二调节轮42位于第一调节轮41和第三调节轮43之间，且第二调节轮42位于第一调节轮41和第三调节轮43的侧边；固定输送带21依次缠绕经过第一调节轮41、第二调节轮42和第三调节轮43的部分为补偿段。
52.连接部44安装在第一侧板37和第二侧板38上，第一侧板37和第二侧板38上在进行升降运动时带动连接部44升降，而此过程中第二调节轮42与第一调节轮41和第三调节轮43的三者之间的距离保持不变，也即缠绕经过第一调节轮41、第二调节轮42和第三调节轮43的固定输送带(即补偿段)的长度固定不变，因此可以补偿固定输送带21长度变化量。
53.需要注意的是，对于连接部44，为了便于安装制造，可以包括安装板441和连接臂442，具体的，安装板441用于安装第一调节轮41、第二调节轮42和第三调节轮43，安装板441固定设置在连接臂442上，连接臂442的两端部则分别固定连接第一侧板37和第二侧板38。
54.可选的，调节输送机构3包括导向轮33，导向轮33设置在第一调节轮41上方，以将缠绕经过导向轮33的输送带导向至第一调节轮41；导向轮33位于第一调节轮41的正上方，或，导向轮33位于第一调节轮41的斜上方。
55.将导向轮33设置在第一调节轮41斜上方可以起到安装方便的效果，无需针对连接部44设置让位；而将导向轮33设置在第一调节轮41正上方，可以使第一调节轮41与固定输送带21的接触面积更大，不易打滑，稳定性加强。
56.如附图3所示：
57.该实施例中，第一调节轮41和第三调节轮43之间的间距小于第二调节轮42的直径。上述间距为第一调节轮41的轮缘到第三调节轮43的轮缘之间的最小距离。此种布局可以使三个调节轮拥有与固定输送带21更大的接触面积，保证传动的稳定性。
58.如附图2-4所示：
59.该实施例中，兼容硅片输送装置还包括传动组件，传动组件用于连接传动轮36和补偿组件；传动组件包括第一传动轴61、第二传动轴62和第三传动轴63，其中：第一传动轴61、第二传动轴62和第三传动轴63沿同一轴线依次设置，第一传动轴61的第一端固定设置有传动轮36，第一调节输送组件31的调节输送带34缠绕经过传动轮36；第二传动轴62的至少一端固定设置有第二调节轮42，固定输送带21缠绕经过第二调节轮42；第三传动轴63的第一端固定设置有传动轮36，第二调节输送组件32的调节输送带34缠绕经过传动轮36。
60.第二调节轮42通过第一传动轴61和第三传动轴63带动第一调节输送组件31和第
二调节输送组件32的传动轮36，传动轮36带动调节输送带34转动。
61.将传动组件设计成第一传动轴61、第二传动轴62和第三传动轴63，在需要更换中间侧的输送带时，可通过拆卸第一传动轴61和第三传动轴63对两侧的输送带进行快速拆卸，以方便进行中间侧输送带的更换。
62.传动轮36的端部开设有卡槽，第一传动轴61的第二端设有和卡槽相对应的第一卡接部，第三传动轴63的第二端设有和卡槽相对应的第二卡接部。第一卡接部和第二卡接部可采用键槽结构并与卡槽相对应嵌合可拆卸式连接。这种连接方式简单可靠。
63.当然，传动组件选用一根整轴，分别穿设固定第二调节轮42和传动轮36一样可以实现将动力由固定输送机构2传递至调节输送机构3，实现一个驱动装置同时带动固定输送机构2和调节输送机构3的运转。
64.如附图2和5所示：
65.该实施例中，第一调节输送组件31和第二调节输送组件32均包括第一张紧轮311和调节架312，调节架312安装在支架1上，第一张紧轮311安装于调节架312；调节输送带34缠绕经过第一张紧轮311；第一张紧轮311可通过调节架312改变安装位置；第一张紧轮311用于对调节输送带34进行张紧调节。
66.调节架312上下运动带动第一张紧轮311移动，第一张紧轮311向下移动时可将调节输送带34拉伸变紧，第一张紧轮311向上移动时可将调节输送带34变松。通过改变调节架312的位置从而带动第一张紧轮311，可以对第一调节输送组件31和第二调节输送组件32的输送带进行张紧调节。
67.如附图2和5所示：
68.该实施例中，固定输送机构2包括第二张紧轮22和调节板23，调节板23安装在支架1上，第二张紧轮22安装于调节板23；固定输送带21缠绕经过第二张紧轮22；第二张紧轮22可通过调节板23改变安装位置；第二张紧轮22用于对固定输送带21进行张紧调节。通过调整调节板23在支架1上竖向的安装位置，对两侧的固定输送带21进行张紧调节。
69.如附图1所示：
70.另一方面，本技术提出了一种硅片检测装置，硅片检测装置包括检测机构7和兼容硅片输送装置，检测机构7设于兼容硅片输送装置边侧；检测机构7通过导轨可朝向或远离兼容硅片输送装置移动；检测机构7对兼容硅片输送装置上的硅片进行平行于输送方向的侧边的检测。
71.请结合图1和图6所示，在对图6中的整片硅片或者是沿输送方向边长小于垂直于输送方向边长的多分片进行侧边检测时，由固定输送带21和调节输送带34同时对硅片进行输送(此时需要调节调节输送带34的高度，使固定输送带21和调节输送带34的输送平面需要在同一平面上)，并由硅片检测装置对硅片与输送方向平行的两个侧边进行检测(此时，需要根据硅片的尺寸调节检测机构7，使检测机构7的检测光路能够打至硅片的侧边)；
72.在对图6中的沿输送方向边长大于垂直于输送方向边长的多分片进行侧边检测时，由固定输送带21对硅片进行承载输送，此时，为了避免调节输送带34干扰检测机构7的检测光路，需要将调节输送带34下调，使调节输送带34与固定输送带21的输送平面不在一个高度上。此外，因为硅片与输送方向平行的侧边更靠内侧的固定输送带21，因此，也需要根据硅片的尺寸，使检测机构7朝向兼容硅片输送装置(即中间侧的固定输送带21)移动，以
使得硅片检测装置的检测光路能够打至硅片侧边上。
73.本技术所提出的硅片检测装置能够兼容不同尺寸的整片硅片以及多分片，提高了装置的使用灵活性，降低了检测成本。
74.本领域技术人员在考虑说明书及实践这里实用新型的实用新型后，将容易想到本实用新型的其它实施方案。本技术旨在涵盖本实用新型的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本实用新型的一般性原理并包括本实用新型未实用新型的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本实用新型的真正范围和精神由所附的权利要求指出。
75.应当理解的是，本实用新型并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本实用新型的范围仅由所附的权利要求来限制。