光罩传送装置的制作方法

1.本技术涉及光罩技术领域，特别涉及一种光罩传送装置。


背景技术：

2.在现有的光罩制程中，光罩经常会被放到运输载体中，进行制程设备间的运输及加载/卸载(load/unload)。但各个制程设备的光罩在load/unload的朝向会有不同，有些制程设备要求光罩的正面朝上，有些制程设备要求光罩的正面朝下。因此，经常需要将光罩从运输载体中拿出进行翻面动作，而这种操作会在光罩上引入污染物，增大光罩报废的风险。


技术实现要素：

3.本技术要解决的技术问题是提供一种光罩传送装置，能够在光罩传送的过程中减少污染物的引入，进而降低光罩的报废率。
4.为解决上述技术问题，本技术提供了一种光罩传送装置，包括：环形支架；光罩定位装置，位于所述环形支架中；其中所述光罩定位装置包括与所述环形支架可拆卸安装的第一定位组件和第二定位组件，且所述第一定位组件和第二定位组件上下对接并形成所述光罩的存放空间。
5.在一些实施例中，所述第一定位组件和第二定位组件包括：保护罩，所述保护罩与所述环形支架可拆卸地安装；固定支架，与所述保护罩连接，且包括凹进部；其中所述第一定位组件和第二定位组件的凹进部对接，形成所述光罩的存放空间。
6.在一些实施例中，所述保护罩和所述环形支架为卡扣连接。
7.在一些实施例中，所述保护罩包括连接的罩座和罩身，其中所述罩座安装有锁杆机构，所述环形支架上设有与所述锁杆机构匹配的凹槽，且所述锁杆机构和所述凹槽相互配合实现卡扣连接。
8.在一些实施例中，所述锁杆机构包括安装在所述罩座上的凸台齿轮以及与所述凸台齿轮啮合的锁杆，通过所述凸台齿轮的旋转带动所述锁杆进出所述凹槽。
9.在一些实施例中，所述罩身设有供所述锁杆贯穿的孔，且所述孔与所述凹槽的位置对应。
10.在一些实施例中，所述罩座还设有定位块，且所述定位块上设有供所述锁杆移动的导向槽。
11.在一些实施例中，所述罩座上设有解锁孔，用于控制所述凸台齿轮的旋转。
12.在一些实施例中，所述第一定位组件和所述第二定位组件的结构对称。
13.在一些实施例中，所述环形支架的上、下两面设有定位孔。
14.与现有技术相比，本技术技术方案的光罩传送装置至少具有如下有益效果：
15.在环形支架中设置光罩定位装置，且光罩定位装置第一定位组件和第二定位组件构成，其中第一定位组件和第二定位组件通过上下对接形成光罩的存放空间，第一定位组件和第二定位组件的位置可以上下对调，即第一定位组件和第二定位组件均可以作为底座
使用，因此需要对光罩进行翻面时，只需将光罩定位装置进行翻面即可，因此避免了现有技术中经常需要将光罩从运输载体中拿出进行翻面的动作，大幅度降低光罩报废的风险。
16.第一定位组件和第二定位组件的固定支架包括凹进部，当第一定位组件和第二定位组件上下对接时，使得上下的凹进部也相应对接，可以形成光罩的存放空间。
17.第一定位组件和第二定位组件的保护罩与环形支架通过卡扣连接的方式实现可拆卸地安装，使得放置光罩时可以打开保护罩，在运送光罩的过程中可以保证保护罩为关闭状态。
附图说明
18.为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
19.图1为现有的光罩传送装置的结构示意图；
20.图2为本技术实施例的光罩传送装置的结构示意图；
21.图3为本技术实施例的环形支架的俯视图；
22.图4为本技术实施例的第二定位组件的剖视图；
23.图5为本技术实施例的第二定位组件的俯视图；
24.图6为本技术实施例的保护罩的结构示意图；
25.图7为本技术实施例的凸台齿轮和锁杆的俯视图。
具体实施方式
26.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
27.在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含的包括一个或者更多个该特征。而且，术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本技术的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。
28.参考图1现有的光罩传送装置1包括保护罩11、光罩支架12以及底座13，所述光罩支架12上设有放置光罩的凹进部，使用时将光罩14放置在所述凹进部上将所述保护罩11盖在所述底座13上后可以将光罩14运送至指定位置。需要对所述光罩14进行翻面时，需要打开所述保护罩11，将所述光罩14进行翻面，然后再关上所述保护罩11。其中在打开所述保护
罩11并对所述光罩14 进行翻面的过程中会引入污染物，增大光罩报废的风险。
29.基于此，本技术技术方案通过设置环形支架，并在环形支架中设置光罩定位装置，所述光罩定位装置包括第一定位组件和第二定位组件，将第一定位组件和第二定位组件进行上下对接可以形成光罩的存放空间，其中第一定位组件和第二定位组件均可作为底座，因此要对光罩进行翻面时，只需将第一定位组件和第二定位组件上下颠倒即可，无需将光罩取出进行翻面。
30.参考图2，本技术实施例的光罩传送装置10包括：环形支架100和光罩定位装置200。所述环形支架100的上下两面设有定位孔110，所述定位孔110用于将所述光罩传送装置10固定在其他设备上。所述环形支架100的俯视图可参见图3所示。
31.所述光罩定位装置200位于所述环形支架100中，并包括第一定位组件210 和第二定位组件220，所述第一定位组件210和第二定位组件220分别与所述环形支架100进行可拆卸地安装，使所述第一定位组件210和第二定位组件220 能够相对于所述环形支架100打开或闭合。所述第一定位组件210和第二定位组件220通过上下对接形成光罩300的存放空间。所述第一定位组件210和第二定位组件220的位置可以调换，以下以所述第一定位组件210在上、所述第二定位组件220在下为例进行说明。
32.所述第一定位组件210和第二定位组件220的结构相同。在一些实施例中，所述第一定位组件210和所述第二定位组件220的结构上下对称。图4以第二定位组件220的结构为例进行说明，所述第二定位组件220包括保护罩221和固定支架222，所述保护罩221与所述环形支架100可拆卸地进行安装，所述固定支架222与所述保护罩221连接。在一些实施例中，所述固定支架222和所述保护罩221可以是一体成型。所述固定支架222上包括凹进部223，所述凹进部223可以容纳光罩，因此所述第一定位组件210和第二定位组件220进行上下对接时，二者的凹进部相应对接形成光罩的存放空间。
33.图5为所述第二定位组件的三种俯视图。所述固定支架222可以是(a)图所示的条状结构，也可以是(b)图所示的连续的环状结构，还可以是(c)图所示的不连续的环状结构。因此，所述固定支架222的具体结构不作限定，只要使第一定位组件和第二定位组件的凹进部对接时，能够形成光罩的存放空间即可。
34.在一些实施例中，所述保护罩221和所述环形支架100间可以通过卡扣连接的方式实现可拆卸地安装，以下举例说明其中一种卡扣接连的方式。图6示出了与环形支架100卡扣连接的保护罩221的剖视图。所述保护罩221包括连接的罩座221a和罩身221b，所述罩座221a安装有锁杆机构，在所述环形支架 100上设有与所述锁杆机构匹配的凹槽，所述锁杆机构和所述凹槽相互配合实现所述保护罩221和所述环形支架100的卡扣连接。
35.具体地，所述锁杆机构可以包括凸台齿轮221c和锁杆221d，所述凸台齿轮 221c安装于所述罩座221a上，例如所述凸台齿轮221c通过定位柱221e可旋转地固定在所述罩座221a上。所述锁杆221d上具有可以和所述凸台齿轮221c相互啮合的齿条22li(可参考图7所示)。所述罩身221b设有供所述锁杆221d贯穿的孔，且所述孔与所述环形支架100上凹槽的位置对应。因此，所述凸台齿轮221c旋转时，带动所述锁杆221d做轴向移动，当所述锁杆221d伸出所述罩身221b上的孔进入所述凹槽中时，即实现卡扣的锁紧；当所述锁杆221d离开所述凹槽时，实现卡扣的解锁，此时可以打开所述保护罩221，用于放置光罩。
36.为方便理解所述凸台齿轮221c带动所述锁杆221d移动的原理，图7示出了所述凸
台齿轮221c和所述锁杆221d在俯视角度的结构示意图，图中示意了两个锁杆221d的情况。在一些实施例中，为了使所述锁杆221d能够平稳移动，在所述罩座221a上设有定位块221f，且所述定位块221f上设有供所述锁杆221d 移动的导向槽221g。
37.继续参考图6，所述罩座221a上设有解锁孔221h，所述解锁孔221h用于控制所述凸台齿轮221c的旋转。使用时，可以通过所述解锁孔221h使所述凸台齿轮221c顺时针或者逆时针旋转，以实现卡扣的解锁或锁紧。
38.综上所述，本技术实施例的光罩传送装置摒弃了以往具有固定底座的设计，通过设计上下对接的第一定位组件和第二定位组件来实现光罩的存放，且第一定位组件和第二定位组件均可作为底座使用，因此若需要对光罩进行翻面时，只需对光罩传送装置进行翻面即可，无需打开光罩传送装置，再对光罩本身进行翻面，由此可以大幅度降低光罩被污染导致的报废风险。
39.在阅读本详细公开内容之后，本领域技术人员可以明白，前述详细公开内容可以仅以示例的方式呈现，并且可以不是限制性的。尽管这里没有明确说明，本领域技术人员可以理解本技术意图囊括对实施例的各种合理改变，改进和修改。这些改变，改进和修改旨在由本公开提出，并且在本公开的示例性实施例的精神和范围内。
40.此外，本技术中的某些术语已被用于描述本公开的实施例。例如，“一个实施例”，“实施例”和/或“一些实施例”意味着结合该实施例描述的特定特征，结构或特性可以包括在本公开的至少一个实施例中。因此，可以强调并且应当理解，在本说明书的各个部分中对“实施例”或“一个实施例”或“替代实施例”的两个或更多个引用不一定都指代相同的实施例。此外，特定特征，结构或特性可以在本公开的一个或多个实施例中适当地组合。
41.应当理解，在本公开的实施例的前述描述中，为了帮助理解一个特征，出于简化本公开的目的，本技术有时将各种特征组合在单个实施例、附图或其描述中。或者，本技术又是将各种特征分散在多个本技术的实施例中。然而，这并不是说这些特征的组合是必须的，本领域技术人员在阅读本技术的时候完全有可能将其中一部分特征提取出来作为单独的实施例来理解。也就是说，本技术中的实施例也可以理解为多个次级实施例的整合。而每个次级实施例的内容在于少于单个前述公开实施例的所有特征的时候也是成立的。
42.本文引用的每个专利，专利申请，专利申请的出版物和其他材料，例如文章，书籍，说明书，出版物，文件，物品等，可以通过引用结合于此。用于所有目的的全部内容，除了与其相关的任何起诉文件历史，可能与本文件不一致或相冲突的任何相同的，或者任何可能对权利要求的最宽范围具有限制性影响的任何相同的起诉文件历史。现在或以后与本文件相关联。举例来说，如果在与任何所包含的材料相关联的术语的描述、定义和/或使用与本文档相关的术语、描述、定义和/或之间存在任何不一致或冲突时，使用本文件中的术语为准。
43.最后，应理解，本文公开的申请的实施方案是对本技术的实施方案的原理的说明。其他修改后的实施例也在本技术的范围内。因此，本技术披露的实施例仅仅作为示例而非限制。本领域技术人员可以根据本技术中的实施例采取替代配置来实现本技术中的申请。因此，本技术的实施例不限于申请中被精确地描述过的哪些实施例。