一种晶圆转运装置的制作方法

本技术涉及一种晶圆生产设备，尤其是一种晶圆转运装置。

背景技术：

1、为了减小设备的占用空间，生产晶圆的设备之间的距离较小，尤其是相邻工序的之间的设备，既能减少占用的空间，同时能够减少转运的时间，但是如何实现较小空间的晶圆转运是亟待解决的问题，同时现有的金属托盘在转运晶圆时容易污染晶圆，并且宽度较大，容易与支撑晶圆的支撑柱发生干涉。

技术实现思路

1、为解决上述问题，本实用新型提供一种结构紧凑、体积小、不易污染晶圆、不易与支撑柱干涉的一种晶圆转运装置，具体技术方案为：

2、一种晶圆转运装置，包括：机座；升降装置，所述升降装置安装在所述机座上；旋转装置，所述旋转装置安装在所述机座上；伸缩装置，所述伸缩装置安装在所述旋转装置上；及陶瓷托盘，所述陶瓷托盘为长条形，所述陶瓷托盘的顶面设有转运槽，侧面设有避位插槽，所述避位插槽与所述转运槽相通，所述陶瓷托盘的一端固定在所述伸缩装置上；其中，所述升降装置用于带动所述陶瓷托盘升降，所述旋转装置用于带动所述陶瓷托盘转动，所述伸缩装置用于带动所述陶瓷托盘移动，晶圆位于所述转运槽内。

3、优选的，所述转运槽的底部设有下沉槽，所述下沉槽与所述转运槽相通。

4、优选的，所述陶瓷托盘的端部设有插入圆弧面。

5、优选的，所述伸缩装置包括：伸缩底板，所述伸缩底板固定在所述旋转装置上；伸缩电机，所述伸缩电机安装在所述伸缩底板的一端；带传动装置，所述带传动装置与所述伸缩电机连接；及伸缩座，所述伸缩座滑动安装在所述伸缩底板上，且与所述带传动装置连接，所述陶瓷托盘安装在所述伸缩座上。

6、进一步的，还包括：连接板，所述连接板安装在所述伸缩座顶部的连接块上，所述陶瓷托盘安装在所述连接板上；及伸缩罩壳，所述伸缩罩壳安装在所述伸缩底板上，所述伸缩罩壳的顶部设有伸缩孔，所述连接块活动插在所述伸缩孔内，所述连接板位于所述伸缩罩壳的顶部。

7、优选的，所述旋转装置包括：中空旋转平台，所述中空旋转平台安装在所述升降装置上；旋转环座，所述旋转环座安装在所述中空旋转平台的转盘上；旋转升降筒，所述旋转升降筒安装在所述旋转环座上，且与所述伸缩底板连接；及旋转电机，所述旋转电机安装在所述中空旋转平台上。

8、其中，所述伸缩底板上设有上过线孔，所述上过线孔与所述旋转升降筒相通。

9、优选的，所述升降装置包括：升降直线模组，所述升降直线模组安装在所述机座上，所述旋转装置安装在所述升降直线模组的升降滑台上；及升降电机，所述升降电机安装在所述升降直线模组的一端。

10、优选的，所述机座包括：上顶板；下底板，所述下底板与所述上顶板相对设置；连接立柱，所述连接立柱不少于三个，所述连接立柱的两端分别与所述上顶板和下底板连接；固定架，所述固定架安装在所述上顶板上，所述升降装置安装在所述固定架上；及防护罩壳，所述防护罩壳安装在所述上顶板和所述下底板上。

11、进一步的，还包括散热风扇，所述散热风扇安装在所述下底板的散热孔上。

12、与现有技术相比本实用新型具有以下有益效果：

13、本实用新型提供的一种晶圆转运装置通过采用陶瓷托盘能有效减小对陶瓷的污染，并且通过长条形和避位插槽缩小了托盘的大小，有效避免了与支撑柱发生干涉，通过升降装置、旋转装置和伸缩装置实现晶圆的转运，结构紧凑、体积小、运行稳定、可靠。

技术特征：

1.一种晶圆转运装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种晶圆转运装置，其特征在于，所述转运槽(11)的底部设有下沉槽(12)，所述下沉槽(12)与所述转运槽(11)相通。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆转运装置，其特征在于，所述陶瓷托盘(1)的端部设有插入圆弧面(14)。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆转运装置，其特征在于，所述伸缩装置(2)包括：

5.根据权利要求4所述的一种晶圆转运装置，其特征在于，还包括：

6.根据权利要求4所述的一种晶圆转运装置，其特征在于，所述旋转装置(4)包括：

7.根据权利要求6所述的一种晶圆转运装置，其特征在于，所述伸缩底板(27)上设有上过线孔(271)，所述上过线孔(271)与所述旋转升降筒(41)相通。

8.根据权利要求1至7任一项所述的一种晶圆转运装置，其特征在于，所述升降装置(5)包括：

9.根据权利要求1至7任一项所述的一种晶圆转运装置，其特征在于，所述机座(6)包括：

10.根据权利要求9所述的一种晶圆转运装置，其特征在于，还包括散热风扇(71)，所述散热风扇(71)安装在所述下底板(63)的散热孔上。

技术总结
本技术涉及一种晶圆转运装置，包括：机座；升降装置，升降装置安装在机座上；旋转装置，旋转装置安装在机座上；伸缩装置，伸缩装置安装在旋转装置上；及陶瓷托盘，陶瓷托盘为长条形，陶瓷托盘的顶面设有转运槽，侧面设有避位插槽，避位插槽与转运槽相通，陶瓷托盘的一端固定在伸缩装置上；其中，升降装置用于带动陶瓷托盘升降，旋转装置用于带动陶瓷托盘转动，伸缩装置用于带动陶瓷托盘移动，晶圆位于转运槽内。本技术提供的一种晶圆转运装置通过采用陶瓷托盘使用寿命长，并且通过避位插槽缩小了托盘的大小，通过升降装置、旋转装置和伸缩装置实现晶圆的转运，结构紧凑、体积小、运行稳定、可靠。

技术研发人员：程泽西,王利,莫科伟
受保护的技术使用者：吉姆西半导体科技（无锡）有限公司
技术研发日：20221028
技术公布日：2024/1/12