一种晶圆盒立体存储装置的制作方法

本技术涉及晶圆存储设备，特别是一种晶圆盒立体存储装置。

背景技术：

1、在半导体集成电路的制造中，半导体晶圆的制造依赖于不同的处理设备的多重工艺步骤，并按照产品的生产工艺、环境要求、厂务要求等因素将工厂划分成数个生产区域。在制造过程中半成品必须在不同的生产区域中交叉穿梭的流动。为了提高生产效率和生产稳定性，工艺工程师通常会在每个生产区域内放置半成品，并且在生产物料的缓存区里安置用于存放半成品的存储货架，从而确保生产物料的正确快速流动，并且保证不会由于人为因素、设备或者厂务维修等突发状况，造成生产线缺料而停顿生产的重大事故发生。然后再通过传输手段，将“半成品”从上一个工段的生产区域自动传输到下一个工段的生产区域，为了在存放和运输的过程中保护晶圆，通常会将晶圆放置在专用的晶圆盒(晶圆卡塞)内，晶圆盒(晶圆卡塞)是专门用于存放晶圆片的器具。

2、但是现有的晶圆盒存储货架存取晶圆盒都是人工存取放，这样就使得存储货架的高度不能太高，不然存储不便可能造成坠落等的问题，导致空间利用率低，占用相同地面面积的情况下存储的数量较少，并且取放效率也比较低。

技术实现思路

1、为解决上述问题，本实用新型的目的是提供一种晶圆盒立体存储装置，设置环形立体的存储架，实现存储量的增加，通过机械手实现晶圆盒在环形存储架内的自动存取，人工只需要将晶圆存储盒放置在中转载台上即可，不受人体身高的限制，可以将存储架设计成更高的高度，进一步增加存储架的存储数量，自动化存储提高晶圆盒取放效率。

2、本实用新型采用以下方法来实现：一种晶圆盒立体存储装置，包括机械手和存储架，所述存储架环绕所述机械手设置，存储架上设置有多个存储位，用于放置晶圆盒；所述存储架的侧面开设有存取窗口，所述存取窗口处连接有中转载台，所述机械手可绕所述存储架的中轴线转动，从所述中转载台取晶圆盒放置到对应的存储位中，或者从所述存储位取晶圆盒放置到所述中转载台上。

3、本实用新型一实施例中，所述机械手包括旋转座，所述旋转座上安装z轴移动组件，所述z轴移动组件上安装x轴移动组件，所述x轴移动组件上安装有取放叉，用于叉取放置晶圆盒。

4、本实用新型一实施例中，所述存取窗口处设置有中转载台，所述中转载台上设置有转盘，所述转盘上设置有晶圆盒放置板，用于放置晶圆盒，所述转盘由第一电机驱动。

5、本实用新型一实施例中，所述中转载台上共设置有两个所述转盘，每个所述转盘上均设置有所述晶圆盒放置板。

6、本实用新型一实施例中，所述晶圆盒放置板上设置有定位柱，所述晶圆盒的下表面设置相应的定位块，与所述定位柱配合实现晶圆盒在所述晶圆盒放置板上的定位放置。

7、本实用新型一实施例中，所述晶圆盒放置板上设置有感应开关。

8、本实用新型一实施例中，所述存储架和所述机械手安装在底座上，所述底座上设置有外罩，用于罩住所述存储架和机械手，所述外罩在中转载台相对的位置开口，便于放入或取走晶圆盒。

9、本实用新型一实施例中，每个所述存储位内均设置有对射光电传感器，用于检测该存储位内是否放置有晶圆盒。

10、本实用新型的有益效果在于：本实用新型提供一种晶圆盒立体存储装置，相较于现有技术，本实用新型至少具有如下技术效果：设置环形立体的存储架，并在其上开设多个存储位用于放置晶圆存储盒，通过机械手实现环形存储架的自动存取，不受人体身高的限制，可以将存储架设计成更高的高度，只需要增架机械手纵向的移动距离即可，显著增加了存储架的存储数量，人工只需要将晶圆盒放置在中转载台上，无需因为每次晶圆盒存放的位置不同在不同的位置跑动，降低了人工的工作强度，由机械手将晶圆盒放入存储架对应的存储盒之内，大大提高了生产的效率。通过在存储架的存储位设置传感器，以及在晶圆盒放置板上设置感应开关，用于判断该存储位或者晶圆盒放置板上是否存放有晶圆盒，便于机械手将晶圆盒准确放置到指定的位置。

技术特征：

1.一种晶圆盒立体存储装置，其特征在于：包括机械手和存储架，所述存储架环绕所述机械手设置，所述存储架上设置有多个存储位，用于放置晶圆盒；所述存储架的侧面开设有存取窗口，所述存取窗口处连接有中转载台，所述机械手可绕所述存储架的中轴线转动，从所述中转载台取晶圆盒放置到对应的存储位中，或者从所述存储位取晶圆盒放置到所述中转载台上。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆盒立体存储装置，其特征在于：所述机械手包括旋转座，所述旋转座上安装有z轴移动组件，所述z轴移动组件上安装有x轴移动组件，所述x轴移动组件上安装有取放叉，用于叉取、放置晶圆盒。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆盒立体存储装置，其特征在于：所述中转载台上设置有转盘，所述转盘上设置有晶圆盒放置板，用于放置晶圆盒，所述转盘由第一电机驱动。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆盒立体存储装置，其特征在于：所述中转载台上共设置有两个所述转盘，每个所述转盘上均设置有所述晶圆盒放置板。

5.根据权利要求3所述的一种晶圆盒立体存储装置，其特征在于：所述晶圆盒放置板上设置有定位柱，所述晶圆盒的下表面设置相应的定位块，与所述定位柱配合实现晶圆盒在所述晶圆盒放置板上的定位放置。

6.根据权利要求3所述的一种晶圆盒立体存储装置，其特征在于：所述晶圆盒放置板上设置有感应开关。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆盒立体存储装置，其特征在于：所述存储架和所述机械手安装在底座上，所述底座上设置有外罩，用于罩住所述存储架和机械手，所述外罩在中转载台相对的位置开口，便于放入或取走晶圆盒。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆盒立体存储装置，其特征在于：每个所述存储位内均设置有对射光电传感器，用于检测该存储位内是否放置有晶圆盒。

技术总结
本技术提供了一种晶圆盒立体存储装置，包括机械手和存储架，所述存储架环绕所述机械手设置，存储架上设置有多个存储位，用于放置晶圆盒；所述存储架的侧面开设有存取窗口，所述存取窗口处连接有中转载台，所述机械手可绕所述存储架的中轴线转动，从所述中转载台取晶圆盒放置到对应的存储位中，或者从所述存储位取晶圆盒放置到所述中转载台上。设置环形立体的存储架，并在其上开设多个存储位用于放置晶圆存储盒，通过机械手实现环形存储架的自动存取，人工只需要将晶圆存储盒放置在中转载台上即可，不受人体身高的限制，可以将存储架设计成更高的高度，增加存储架的存储数量，自动化存储提高晶圆盒取放效率。

技术研发人员：林嘉宏,薛联金,杨大鹏
受保护的技术使用者：厦门普诚半导体科技有限公司
技术研发日：20221220
技术公布日：2024/1/12