拉晶炉坩埚吊装装置的制作方法

本技术涉及坩埚吊装领域，尤其是涉及一种拉晶炉坩埚吊装装置。

背景技术：

1、坩埚是拉晶炉最重要的热区元件之一，参考图1所示，坩埚包括承载用的石墨坩埚200以及装硅料的石英坩埚210。由于在高温环境中局部的孔等特征会带来应力集中或者受热不均匀等问题，所以坩埚外形是相对完整的，不会设置有孔等特征，这就给坩埚的安装和拆卸带来不便，特别是大直径拉晶炉装满硅料800的坩埚重量会超过500kg，同时因为加热器300以及保温层400等的存在使炉室600内的空间更加狭小，为提高生产效率完成拉晶后坩埚拆卸需在一定温度下进行，因此坩埚的安装和拆卸必须借助工装才能完成。

技术实现思路

1、本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型在于提出一种拉晶炉坩埚吊装装置，所述吊装装置可以解决单晶炉坩埚的安装和拆卸不方便问题。

2、根据本实用新型的拉晶炉坩埚吊装装置，所述吊装装置包括：

3、吊装框架，包括上支撑环、下支撑环和连接板，所述上支撑环和下支撑环上下设置，且中心轴线重合，所述上支撑环和下支撑环通过周向间隔设置的连接板固定连接，上支撑板的上方垂直固定有连杆；

4、旋转锁定机构，旋转锁定机构不少于三个，所有所述旋转锁定机构周向间隔设置在所述上支撑环和下支撑环之间，所述旋转锁定机构包括从上到下依次设置的弹簧柱塞、旋转块、摆动轴和支撑块，所述摆动轴的上端贯穿所述上支撑环，且摆动轴的顶部垂直固定连接旋转块，所述旋转块远离摆动轴的一端安装有弹簧柱塞，所述上支撑环上开设有与弹簧柱塞相对应的两个柱塞孔，所述摆动轴的底部与所述下支撑环转动连接，所述摆动轴的下端垂直固定连接支撑块，支撑块具有非工作状态和工作状态，转动摆动轴，支撑块与下支撑环重合时为非工作状态；转动摆动轴，支撑块位于下支撑环内且支撑块与下支撑环垂直时为工作状态。

5、在一些实施例中，所述下支撑环在上支撑环上的投影与上支撑环的中心线重合；

6、所述旋转块远离所述摆动轴的一侧面与摆动轴之间的距离小于上支撑环外边沿与摆动轴之间的距离。

7、在一些实施例中，所述连接板的横截面呈与下支撑环相配适的圆弧状，所述连接板的厚度与下支撑环的厚度相等。

8、在一些实施例中，所述支撑块的横截面呈圆弧状，当所述支撑块在非工作状态时，所述支撑块的内侧面、所述下支撑环的内侧面和所述连接板的内侧面在同一圆柱形的侧面上。

9、在一些实施例中，所述支撑块远离所述摆动轴的一端垂直向下固定限位块，所述下支撑环上开设有用于限制限位块向外运动的限位槽。

10、在一些实施例中，所述支撑块上表面远离摆动轴的一端固定有石墨垫块，所述石墨垫块呈与支撑块相配适的圆弧状。

11、在一些实施例中，所述石墨垫块与所述支撑块上表面之间固定有聚四氟乙烯垫。

12、在一些实施例中，所述摆动轴的底部一体连接转动轴，所述下支撑环上开设有与所述转动轴相配适的圆孔，所述摆动轴通过转动轴伸入至所述圆孔与下支撑环连接。

13、在一些实施例中，所述上支撑环的上方固定有承重架，所述承重架呈中心处垂直向上固定有连杆。

14、在一些实施例中，所述连杆的下部垂直固定有接尘盘。

15、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

技术特征：

1.一种拉晶炉坩埚吊装装置，其特征在于，所述吊装装置包括：

2.根据权利要求1所述的拉晶炉坩埚吊装装置，其特征在于，所述下支撑环在上支撑环上的投影与上支撑环的中心线重合；

3.根据权利要求1所述的拉晶炉坩埚吊装装置，其特征在于，所述连接板的横截面呈与下支撑环相配适的圆弧状，所述连接板的厚度与下支撑环的厚度相等。

4.根据权利要求1所述的拉晶炉坩埚吊装装置，其特征在于，所述支撑块的横截面呈圆弧状，当所述支撑块在非工作状态时，所述支撑块、下支撑环和连接板的内、外侧面在同一中空圆筒的内、外侧面上。

5.根据权利要求4所述的拉晶炉坩埚吊装装置，其特征在于，所述支撑块远离所述摆动轴的一端垂直向下固定限位块，所述下支撑环上开设有用于限制限位块向外运动的限位槽。

6.根据权利要求4或5所述的拉晶炉坩埚吊装装置，其特征在于，所述支撑块上表面远离摆动轴的一端固定有石墨垫块，所述石墨垫块呈与支撑块相配适的圆弧状。

7.根据权利要求6所述的拉晶炉坩埚吊装装置，其特征在于，所述石墨垫块与所述支撑块上表面之间固定有聚四氟乙烯垫。

8.根据权利要求1所述的拉晶炉坩埚吊装装置，其特征在于，所述摆动轴的底部一体连接转动轴，所述下支撑环上开设有与所述转动轴相配适的圆孔，所述摆动轴通过转动轴伸入至所述圆孔与所述下支撑环连接。

9.根据权利要求1所述的拉晶炉坩埚吊装装置，其特征在于，所述上支撑环的上方固定有承重架，所述承重架呈中心处垂直向上固定有所述连杆。

10.根据权利要求1所述的拉晶炉坩埚吊装装置，其特征在于，所述连杆的下部垂直固定有接尘盘。

技术总结
本技术公开了一种拉晶炉坩埚吊装装置，吊装装置包括：吊装框架，包括上支撑环、下支撑环和连接板，上支撑环和下支撑环上下设置，且中心轴线重合，上支撑环和下支撑环通过周向间隔设置的连接板固定连接，上支撑板的上方垂直固定有连杆；旋转锁定机构，旋转锁定机构不少于三个，不少于三个的旋转锁定机构周向间隔设置在上支撑环和下支撑环之间，旋转锁定机构包括从上到下依次设置的弹簧柱塞、旋转块、摆动轴和支撑块，摆动轴的上端贯穿所述上支撑环，且摆动轴的上端贯穿所述上支撑环的部分垂直固定连接旋转块，旋转块远离摆动轴的一端安装有弹簧柱塞，上支撑环上开设有与弹簧柱塞相对应的两个柱塞孔，摆动轴的下端垂直固定连接支撑块。

技术研发人员：宋涛,汪佳,王晓明,蒋玉娇
受保护的技术使用者：中环领先（徐州）半导体材料有限公司
技术研发日：20221226
技术公布日：2024/1/13