一种靶材装卸装置的制作方法

本发明涉及装卸，具体的，涉及一种靶材装卸装置。

背景技术：

1、靶材作为高速荷能粒子轰击的目标材料，在微电子领域、显示器领域和存储器等领域被广泛应用。在靶材生产过程中，通常需要将靶材安装于工作平台上进行加工处理。现有技术中，通常采用人工安装和人工拆卸靶材，但是由于靶材较重，至少需要两个工作人员才能够完成，这样拆装靶材费时费力，并且不安全，导致靶材的生产加工效率较低。

技术实现思路

1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明提供一种靶材装卸装置，包括驱动机构、传动机构和装卸机构，装卸机构包括吸附件、进气管路和抽气管路，在装卸靶材的过程中，驱动机构通过传动机构，将装卸机构移动至靶材表面，且吸附件与靶材表面紧密接触，通过控制吸附件与靶材之间的气压，来实现靶材的装载和卸载。本发明提供的装置实现了靶材装卸过程的自动化，使靶材的安装和拆卸更加方便，一方面节省了人力成本，提高了靶材的生产效率，另一方面也保证了装卸过程中的安全性。

2、为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种靶材装卸装置，包括驱动机构、传动机构和装卸机构，

3、所述驱动机构固定在支架上，与所述传动机构相连，用于驱动所述传动机构沿垂直于地面的方向移动；

4、所述传动机构与所述装卸机构相连，用于在所述驱动机构的驱动下，带动所述装卸机构沿垂直于地面的方向移动；

5、装卸机构，包括吸附件、进气管路和抽气管路；所述进气管路的一端与大气相连通，另一端与所述吸附件相连通；所述抽气管路的一端与抽气泵相连，另一端与所述吸附件相连通。

6、可选的，所述驱动机构的底部具有皮带轮，所述皮带轮的轴线沿垂直于地面的方向。

7、可选的，所述传动机构包括：

8、丝杆，沿垂直于地面的方向设置，其一端固定在所述支架上；

9、皮带，连接所述丝杆与所述皮带轮，用于在所述皮带轮的驱动下带动所述丝杆转动；

10、导杆，与所述丝杆平行设置，其一端固定在所述支架上；

11、滑杆，与所述丝杆垂直设置，其一端与所述丝杆连接，当所述丝杆转动时，所述滑杆在所述丝杆上移动；其另一端设置有通孔，所述导杆穿过所述通孔；

12、拉杆，其一端固定在所述滑杆上，另一端与所述吸附件连接。

13、可选的，所述传动机构还包括：

14、断电保护器，设置于所述支架与所述丝杆之间，用于在断电时使所述丝杆停止转动；

15、限位器，设置于所述丝杆远离所述支架的一端，用于限定所述滑杆的移动范围。

16、可选的，所述传动机构包括钢绳，所述钢绳一端与所述驱动机构连接，另一端与所述吸附件连接。

17、可选的，所述钢绳的数量至少为三根，且所述钢绳在所述吸附件表面呈等边形分布。

18、可选的，所述进气管路上设置有第一阀门，用于控制所述吸附件与大气之间的连通或断开。

19、可选的，所述抽气管路上设置有第二阀门和真空计，且所述真空计设置于所述吸附件与所述第二阀门之间，所述真空计用于检测所述吸附件内的压强，所述第二阀门用于控制所述吸附件与所述抽气泵之间的连通或断开。

20、可选的，所述吸附件用于吸附靶材，且所述吸附件与所述靶材接触的一面设置有密封圈。

21、本发明提供的靶材装卸装置，至少具有以下有益效果：

22、本发明提供的靶材装卸装置包括驱动机构、传动机构和装卸机构，装卸机构包括吸附件、进气管路和抽气管路，在装卸靶材的过程中，驱动机构通过传动机构，将装卸机构移动至靶材表面，且吸附件与靶材表面紧密接触，通过控制吸附件与靶材之间的气压，来实现靶材的装载和卸载。本发明提供的装置实现了靶材装卸过程的自动化，使靶材的安装和拆卸更加方便，一方面节省了人力成本，提高了靶材的生产效率，另一方面也保证了装卸过程中的安全性。

技术特征：

1.一种靶材装卸装置，其特征在于，包括驱动机构、传动机构和装卸机构，

2.根据权利要求1所述的靶材装卸装置，其特征在于，所述驱动机构的底部具有皮带轮，所述皮带轮的轴线沿垂直于地面的方向。

3.根据权利要求2所述的靶材装卸装置，其特征在于，所述传动机构包括：

4.根据权利要求3所述的靶材装卸装置，其特征在于，所述传动机构还包括：

5.根据权利要求1所述的靶材装卸装置，其特征在于，所述传动机构包括钢绳，所述钢绳一端与所述驱动机构连接，另一端与所述吸附件连接。

6.根据权利要求5所述的靶材装卸装置，其特征在于，所述钢绳的数量至少为三根，且所述钢绳在所述吸附件表面呈等边形分布。

7.根据权利要求1所述的靶材装卸装置，其特征在于，所述进气管路上设置有第一阀门，用于控制所述吸附件与大气之间的连通或断开。

8.根据权利要求1所述的靶材装卸装置，其特征在于，所述抽气管路上设置有第二阀门和真空计，且所述真空计设置于所述吸附件与所述第二阀门之间，所述真空计用于检测所述吸附件内的压强，所述第二阀门用于控制所述吸附件与所述抽气泵之间的连通或断开。

9.根据权利要求1所述的靶材装卸装置，其特征在于，所述吸附件用于吸附靶材，且所述吸附件与所述靶材接触的一面设置有密封圈。

技术总结
本发明提供一种靶材装卸装置，包括驱动机构、传动机构和装卸机构，装卸机构包括吸附件、进气管路和抽气管路，在装卸靶材的过程中，驱动机构通过传动机构，将装卸机构移动至靶材表面，且吸附件与靶材表面紧密接触，通过控制吸附件与靶材之间的气压，来实现靶材的装载和卸载。本发明提供的装置实现了靶材装卸过程的自动化，使靶材的安装和拆卸更加方便，一方面节省了人力成本，提高了靶材的生产效率，另一方面也保证了装卸过程中的安全性。

技术研发人员：张勋,闫晓晖,单翌
受保护的技术使用者：上海积塔半导体有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/1