一种使基板传送平台水平变倾斜的机构的制作方法

本技术涉及基板搬送，尤其涉及一种使基板传送平台水平变倾斜的机构。

背景技术：

1、在液晶面板和半导体生产行业中，为了节省设备的占地空间，一般将设备设计成上下两层结构，使用同一个机械手将基板从上层放入，从下层取出，针对大尺寸的基板，在下层工艺单元一般是要求基本倾斜传送，搭载基板的基板传送平台从设备的基板垂直升降机构中的上层下降到下层的时候，需要由水平状态变为倾斜状态，以便将基板变成倾斜的状态。

2、如图1所示，现有的使基板传送平台水平变倾斜的机构包括承载架2，基板传送平台1的一侧与所述承载架2的一侧相铰接，在所述承载架2的另一侧上间隔的设有若干支撑柱3，所述基板传送平台1的另一侧搭载在所述支撑柱3上，在所述承载架2中靠近所述支撑柱3的位置处设有固定框5，所述固定框5内装配有顶升气缸6(或者伺服电缸)，所述顶升气缸6的活动端与所述基板传送平台1相连接，在所述承载架2上还设有缓冲器7，所述承载架2的两侧分别与对应的升降滑块座4相连接，在所述基板垂直升降机构的作用下，所述升降滑块座4带动所述承载架2上下移动，在下移的过程中，所述顶升气缸6将基板传送平台1顶起至预设的倾斜角度。

3、上述使基板传送平台水平变倾斜的机构存在以下不足：(1)由于顶升气缸的设置，使得重量较大，这会使所述基板垂直升降机构中驱动垂直升降用的伺服电机的容量变大，而且还会提高制造成本；(2)水平变倾斜过程中，由于设备的运行和顶升气缸6的运动，以及顶升气缸6支撑杆等原因，基板传送平台1会产生一点晃动，这对于设备长期使用会造成一定损伤；(3)由于基板传送平台1需要倾斜一定的角度，调节顶升气缸6的位置和行程很浪费时间，并且需要反复的测试，作业繁琐。

技术实现思路

1、为了解决现有技术中存在的问题，本申请提出了一种使基板传送平台水平变倾斜的机构，以便提高基板传送平台在水平变倾斜过程中的稳定性，简化结构，同时降低制造成本，简化组装调试流程。

2、为了实现上述目的，本申请提出了一种使基板传送平台水平变倾斜的机构，包括承载架，基板传送平台的一侧与所述承载架的一侧相铰接，在所述承载架的另一侧上间隔的设有若干支撑柱，所述基板传送平台的另一侧搭载在所述支撑柱上，所述承载架受控于基板垂直升降机构能够垂直升降，以带动所述基板传送平台上下移动；所述使基板传送平台水平变倾斜的机构还包括支撑结构，所述支撑结构固定装配在所述基板垂直升降机构的框架上，当所述承载架带动所述基板传送平台下移至预设高度时，搭载在所述支撑柱处的基板传送平台会接触所述支撑结构，通过所述支撑结构阻碍其下移，随着所述承载架的继续下移，所述基板传送平台变成倾斜状态。

3、在一些实施例中，包括至少两个支撑结构，所有支撑结构间隔的装配在所述基板垂直升降机构的框架上。

4、在一些实施例中，所述支撑结构包括固定在所述基板垂直升降机构的框架上的支撑架，所述支撑架上设有转轴，所述转轴上设有滚轮或者轴承，所述滚轮或者轴承用于与所述基板传送平台相接触。

5、在一些实施例中，在所述承载架上还设有缓冲器。

6、本申请的该方案的有益效果在于上述使基板传送平台水平变倾斜的机构能够提高基板传送平台在水平变倾斜过程中的稳定性，尽量避免所述基板传送平台出现晃动，简化结构，同时降低制造成本，简化组装调试流程，还能够降低所述基板垂直升降机构中驱动垂直升降用的伺服电机的载荷。

技术特征：

1.一种使基板传送平台水平变倾斜的机构，包括承载架，基板传送平台的一侧与所述承载架的一侧相铰接，在所述承载架的另一侧上间隔的设有若干支撑柱，所述基板传送平台的另一侧搭载在所述支撑柱上，所述承载架受控于基板垂直升降机构能够垂直升降，以带动所述基板传送平台上下移动；其特征在于：还包括支撑结构，所述支撑结构固定装配在所述基板垂直升降机构的框架上，当所述承载架带动所述基板传送平台下移至预设高度时，搭载在所述支撑柱处的基板传送平台会接触所述支撑结构，通过所述支撑结构阻碍其下移，随着所述承载架的继续下移，所述基板传送平台变成倾斜状态。

2.根据权利要求1所述的使基板传送平台水平变倾斜的机构，其特征在于：包括至少两个支撑结构，所有支撑结构间隔的装配在所述基板垂直升降机构的框架上。

3.根据权利要求2所述的使基板传送平台水平变倾斜的机构，其特征在于：所述支撑结构包括固定在所述基板垂直升降机构的框架上的支撑架，所述支撑架上设有转轴，所述转轴上设有滚轮或者轴承，所述滚轮或者轴承用于与所述基板传送平台相接触。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的使基板传送平台水平变倾斜的机构，其特征在于：在所述承载架上还设有缓冲器。

技术总结
本技术提出一种使基板传送平台水平变倾斜的机构，包括承载架，基板传送平台的一侧与承载架的一侧相铰接，在承载架的另一侧上间隔的设有若干支撑柱，基板传送平台的另一侧搭载在支撑柱上，承载架受控于基板垂直升降机构能够垂直升降，以带动基板传送平台上下移动；还包括支撑结构，支撑结构固定装配在基板垂直升降机构的框架上，当承载架带动基板传送平台下移至预设高度时，搭载在支撑柱处的基板传送平台会接触支撑结构，通过支撑结构阻碍其下移，随着承载架的继续下移，基板传送平台变成倾斜状态。上述使基板传送平台水平变倾斜的机构能提高基板传送平台在水平变倾斜过程中的稳定性，简化结构，同时降低制造成本，简化组装调试流程。

技术研发人员：马兴蓬,于德意,姜天成,乔佳原
受保护的技术使用者：山东瑞翼德科技股份有限公司
技术研发日：20230512
技术公布日：2024/1/15