一种超净高纯便于拆装的储存装置的制作方法

文档序号:36287540发布日期:2023-12-07 01:32阅读:21来源:国知局
一种超净高纯便于拆装的储存装置的制作方法

本技术涉及超净高纯,具体为一种超净高纯便于拆装的储存装置。


背景技术:

1、超净高纯试剂是大规模集成电路及高档半导体器件制造过程的专用化学品,主要用于硅单晶片的清洗、光刻、腐蚀工序中,它的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能、可靠性都有着重要的影响,超净高纯环境的应用范围越来越广泛,比如在半导体、液晶、光伏等领域,人们对高纯度的气、体、液体的要求也越来越高;

2、而常用的超净高纯储存装置对于这种环境下的仪器或物品的储存,除了要具有超净高纯的特点外,还需要具有方便拆卸方便安装的特点,而且需要易清洗,才能符合超净高纯的特点;

3、其次,大多数的超净高纯储存装置内部无法通风,内部的空间密闭导致内部密封潮湿;

4、为此,我们提出一种新的超净高纯便于拆装的储存装置,以解决背景技术提出的拆卸不便以及装置内部无法通风导致内部潮湿等问题。


技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种超净高纯便于拆装的储存装置,以解决背景技术提出的拆卸不便以及装置内部无法通风导致内部潮湿等问题。

2、为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种超净高纯便于拆装的储存装置,包括柜体与密码门,所述柜体正面左端通过合页与密码门活动连接,所述柜体的内部嵌入安装有放置板,所述柜体的顶部开设有两个进风槽,所述柜体的底端右侧开设有出风槽,所述柜体与密码门通过锁具活动连接;

3、所述柜体的底端四角固定安装有防滑垫,所述防滑垫呈长方体设置,所述密码门的正面顶部固定安装有显示器,所述显示器的右端设置有密码按键

4、优选的,所述柜体的内部左右两端等距离排列开设有凹槽,所述凹槽的在柜体的左右两端呈对向设置,所述柜体内部左右两侧的凹槽均为同一水平面设置。

5、优选的,所述放置板的左右两端均固定安装有滑块,所述滑块嵌入安装至柜体内部左右两端的凹槽内部。

6、优选的,所述柜体正面右侧中部与密码门背面右侧中部之间设置有锁具,所述密码门与柜体呈九十度开合设置,所述密码门正面的右侧中部固定安装有把手,所述把手正对密码门背面的锁具。

7、优选的,所述放置板的前后两侧均开设有通风槽,所述放置板的正面开设有放置槽,所述放置槽的方形设置,所述放置槽上下两端固定安装有限位板,所述放置槽的呈凹形设置,所述放置板的上端设置有超净pfa板,所述超净pfa板厚度为2mm。

8、优选的,所述进风槽的底端设置有过滤器一,所述出风槽的左端设置有过滤器二,所述放置板上的通风槽贯穿放置板设置。

9、优选的,所述进风槽顶端与出风槽右端均均设置有防尘网。

10、与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

11、1、该种超净高纯便于拆装的储存装置,通过设置有凹槽与放置板,柜体内部的左右两端竖向等距离排列开设有凹槽,将柜体内部分割出多个放置空间,通过柜体内部左右两端的凹槽呈对向设置且在同一水平面,防止后续安装不准确或者歪斜,通过将放置板两侧的滑块嵌入安装至柜体内部两侧的凹槽内,将柜体内部的空间进行分隔,同时分隔后的空间可以通过放置板嵌入不同的凹槽内呈现不同大小的放置空间,不同大小的放置空间方便放置不同的超净高纯试剂,方便随时进行拆装调节使用。

12、2、该种超净高纯便于拆装的储存装置,通过设置有进出风槽,在进风槽进行进风时,进风槽底端的过滤器一进行工作将进入的空气进行过滤净化,保证进入的空气不会与内部存放的超净高纯试剂发生反应,且在出风槽的左端设置有过滤器二进行过滤,流通后的空气排出前,过滤器二进行过滤,同时进风槽和出风槽均采用全不锈钢材质,并配有过滤器,可保证出气口无残留的杂质、细菌、气体等。

13、3、该种超净高纯便于拆装的储存装置,通过设置有超净pfa板,放置板的上端设置有一层厚度为2mm的超净pfa板,以增加其耐腐蚀的性能,从而保障储存物品的纯净度



技术特征:

1.一种超净高纯便于拆装的储存装置,包括柜体(1)与密码门(2),所述柜体(1)正面左端通过合页与密码门(2)活动连接,所述柜体(1)的内部嵌入安装有放置板(3),所述柜体(1)的顶部开设有两个进风槽(4),所述柜体(1)的底端右侧开设有出风槽(5),所述柜体(1)与密码门(2)通过锁具(6)活动连接;

2.根据权利要求1所述的一种超净高纯便于拆装的储存装置,其特征在于:所述柜体(1)的内部左右两端等距离排列开设有凹槽(102),所述凹槽(102)的在柜体(1)的左右两端呈对向设置,所述柜体(1)内部左右两侧的凹槽(102)均为同一水平面设置。

3.根据权利要求1所述的一种超净高纯便于拆装的储存装置,其特征在于:所述放置板(3)的左右两端均固定安装有滑块(301),所述滑块(301)嵌入安装至柜体(1)内部左右两端的凹槽(102)内部。

4.根据权利要求1所述的一种超净高纯便于拆装的储存装置,其特征在于:所述柜体(1)正面右侧中部与密码门(2)背面右侧中部之间设置有锁具(6),所述密码门(2)与柜体(1)呈九十度开合设置,所述密码门(2)正面的右侧中部固定安装有把手(203),所述把手(203)正对密码门(2)背面的锁具(6)。

5.根据权利要求1所述的一种超净高纯便于拆装的储存装置,其特征在于:所述放置板(3)的前后两侧均开设有通风槽(302),所述放置板(3)的正面开设有放置槽(303),所述放置槽(303)的方形设置,所述放置槽(303)上下两端固定安装有限位板,所述放置槽(303)的呈凹形设置,所述放置板(3)的上端设置有超净pfa板(304),所述超净pfa板(304)厚度为2mm。

6.根据权利要求1所述的一种超净高纯便于拆装的储存装置,其特征在于:所述进风槽(4)的底端设置有过滤器一(401),所述出风槽(5)的左端设置有过滤器二(501),所述放置板(3)上的通风槽(302)贯穿放置板(3)设置。

7.根据权利要求1所述的一种超净高纯便于拆装的储存装置,其特征在于:所述进风槽(4)顶端与出风槽(5)均为不锈钢材质设置,所述进风槽(4)顶端与出风槽(5)右端均设置有防尘网(101)。


技术总结
本技术涉及超净高纯技术领域,具体为一种超净高纯便于拆装的储存装置,包括柜体与密码门,柜体正面左端通过合页与密码门活动连接,柜体的内部嵌入安装有放置板,柜体的顶部开设有两个进风槽,柜体的底端右侧开设有出风槽,柜体与密码门通过锁具活动连接;该装置通过设置有进出风槽,在进风槽进行进风时,进风槽底端的过滤器一进行工作将进入的空气进行过滤净化,保证进入的空气不会与内部存放的超净高纯试剂发生反应,且在出风槽的左端设置有过滤器二进行过滤,流通后的空气排出前,过滤器二进行过滤,同时进风槽和出风槽均采用全不锈钢材质,并配有过滤器,可保证出气口无残留的杂质、细菌、气体等。

技术研发人员:赵正崇,文胜,侯卡立,龚春丽,胡富强,魏鑫,方志鹏
受保护的技术使用者:湖北弗顿生化科技有限公司
技术研发日:20230616
技术公布日:2024/1/15
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