化学液储存桶的自动开盖及抽液装置的制作方法

本技术涉及一种化学液储存桶的抽液装置，尤其涉及一种经由整合各种机构的化学液储存桶的自动开盖及抽液装置。

背景技术：

1、在现有技术中，在半导体及精密电子产业的制程当中，经常需要使用例如研磨液或清洁药剂等化学液体，以提供平坦化制程或相关制造装置的清洁用途。化学液体在供给制程产线使用前，储存在化学液储存桶(以下称储液桶)中，储液桶内的液体提供给抽液系统。

2、然而，因为装满化学液的储液桶的内容物约超过250公斤，若直接通过人力将储液桶推入作业位置、打开储液桶、抽吸储液桶内部液体、封盖储液桶以及将储液桶移出作业位置等等步骤。上述会造成使用者诸多不便，将储液桶移动至抽液专用的承载平台上将会相当吃力。

3、又，市面上的关于抽液承载平台多半为固定型式，一旦储液桶的桶盖以及抽液用的夹具的相对位置生成误差，就必须要在生成偏移的方向上进行人工修正，以将储液桶移动至能使夹具顺利抽液的位置，这也造成了作业上的诸多不便。

4、因此，在目前的半导体设备产业中，对于专业处理化学液储存桶的半导体设备商而言，无不希望在处理化学液时能够尽可能节省人力、提高作业效率，此已成为相当重要的课题。故如何能够提升在化学液储存桶上进行抽液作业时的效率，不仅需要进一步的研发设计，以现有技术而言也确实有待提出更佳解决方案的必要性。

技术实现思路

1、有鉴于上述现有技术的不足，本实用新型的主要目的在提供一种化学液储存桶的自动开盖及抽液装置，其通过一自动化的整合式设计，改良化学液储存桶的抽液设备，以节省人力作业并提高处理效率。

2、为达成上述目的，本实用新型所采取的一技术手段是令前述化学液储存桶的自动开盖及抽液装置包括：

3、一基板，具有一影像孔、一开盖孔与一抽液孔，所述影像孔、所述开盖孔与所述抽液孔用在对应所述基板下方的一储液桶；

4、一影像机构，设置在所述基板，所述影像机构对应所述影像孔，所述影像机构用在侦测所述储液桶的一盖件；

5、一开盖机构，设置在所述基板，所述开盖机构的一端穿设所述开盖孔，所述开盖机构用在取起所述储液桶的所述盖件；以及

6、一抽液机构，设置在所述基板，所述抽液机构的一端穿设所述抽液孔，所述抽液机构的一端通过所述盖件的封盖位置，而伸入所述储液桶内。

7、可选地，所述开盖机构具有一直线位移组件、一升降位移组件与一转动组件，所述升降位移组件与所述转动组件设置在所述直线位移组件的一端，所述升降位移组件连动所述转动组件，所述转动组件用在对应连接所述储液桶的所述盖件。

8、可选地，所述直线位移组件承载所述升降位移组件与所述转动组件在所述开盖孔的孔内位移。

9、可选地，前述化学液储存桶的自动开盖及抽液装置更包括一承载底座与两个侧支架，所述两个侧支架的一端设置在所述承载底座的两侧，所述基板设置在所述两个侧支架的另一端，所述承载底座用在承载所述储液桶。

10、可选地，所述承载底座包括一座体与多数个滚动件，每一个滚动件设置在所述座体的顶面，每一个滚动件凸出在所述座体的表面，每一个滚动件抵顶在所述储液桶。

11、可选地，所述承载底座包括一座体与一夹持机构，所述夹持机构包括一线性驱动组件、两个移动支架与四个夹持组件，所述线性驱动组件设置在所述座体的底部，所述两个移动支架分别设置在所述线性驱动组件的两端，所述四个夹持组件分别设置在所述两个移动支架的各自两端。

12、可选地，每个所述夹持组件具有一杆件与一转动件，所述杆件的一端设置在所述两个移动支架的其中一个，所述转动件设置在所述杆件的另一端。

13、可选地，所述承载底座包括一枢转轴与一支撑架，所述枢转轴的一端设置在所述支撑架，所述枢转轴的另一端转动设置在所述座体，所述两个侧支架设置在所述支撑架的两端。

14、可选地，前述化学液储存桶的自动开盖及抽液装置更包括一转动机构，所述转动机构包括一驱动组件与一齿轮组件，所述驱动组件设置在所述支撑架，所述驱动组件驱动所述齿轮组件，所述座体的底部具有一内齿轮，所述齿轮组件与所述内齿轮互相啮合。

15、可选地，前述化学液储存桶的自动开盖及抽液装置更包括一秤重机构与一框架，所述秤重机构包括一秤重支架与一秤重件，所述秤重件设置在所述框架的一侧，所述秤重支架设置在所述秤重件上，所述秤重支架的两端延伸经过所述两个侧支架，并所述秤重支架的两端枢转设置在所述框架的另一侧，所述秤重支架的两侧连接在所述两个侧支架。

16、可选地，前述化学液储存桶的自动开盖及抽液装置更包括一推动机构与一框架，所述推动机构设置在所述框架上，所述推动机构包括一驱动组件、一伸缩组件与推件，所述伸缩组件的一端设置在所述框架，所述伸缩组件的另一端设置在所述推件，所述推件用在推动所述储液桶。

17、可选地，前述化学液储存桶的自动开盖及抽液装置更包括一外壳机构，所述外壳机构包括一壳体、一卷门与一卷门控制器，所述壳体具有让所述储液桶推入的一门口，所述卷门控制器驱动所述卷门上升开启所述门口或下降封闭所述门口，其中所述影像机构、所述开盖机构与所述抽液机构位在所述壳体内。

18、可选地，前述化学液储存桶的自动开盖及抽液装置更包括一控制机构，所述控制机构用在连接控制所述影像机构、所述开盖机构、所述抽液机构、一夹持机构、一转动机构、一秤重机构、一推动机构与一外壳机构。

19、本实用新型通过上述构造，将处理装满化学液的储液桶的机构进行改良设计，将所述影像机构、所述开盖机构与所述抽液机构进行自动化的交互运作并相搭配使用，以取代人力处理大量又繁复的作业，如此完成一自动化的整合式设计，以达到能够节省大量的人力作业，也能够提高处理效率的目的。

技术特征：

1.一种化学液储存桶的自动开盖及抽液装置，其特征在于，其包括：

2.根据权利要求1所述的化学液储存桶的自动开盖及抽液装置，其特征在于，所述开盖机构具有一直线位移组件、一升降位移组件与一转动组件，所述升降位移组件与所述转动组件设置在所述直线位移组件的一端，所述升降位移组件连动所述转动组件，所述转动组件用在对应连接所述储液桶的所述盖件。

3.根据权利要求2所述的化学液储存桶的自动开盖及抽液装置，其特征在于，所述直线位移组件承载所述升降位移组件与所述转动组件在所述开盖孔的孔内位移。

4.根据权利要求1所述的化学液储存桶的自动开盖及抽液装置，其特征在于，所述化学液储存桶的自动开盖及抽液装置更包括一承载底座与两个侧支架，所述两个侧支架的一端设置在所述承载底座的两侧，所述基板设置在所述两个侧支架的另一端，所述承载底座用在承载所述储液桶。

5.根据权利要求4所述的化学液储存桶的自动开盖及抽液装置，其特征在于，所述承载底座包括一座体与多数个滚动件，每一个滚动件设置在所述座体的顶面，每一个滚动件凸出在所述座体的表面，每一个滚动件抵顶所述储液桶。

6.根据权利要求4所述的化学液储存桶的自动开盖及抽液装置，其特征在于，所述承载底座包括一座体与一夹持机构，所述夹持机构包括一线性驱动组件、两个移动支架与四个夹持组件，所述线性驱动组件设置在所述座体的底部，所述两个移动支架分别设置在所述线性驱动组件的两端，所述四个夹持组件分别设置在所述两个移动支架的各自两端。

7.根据权利要求6所述的化学液储存桶的自动开盖及抽液装置，其特征在于，每一个夹持组件具有一杆件与一转动件，所述杆件的一端设置在所述两个移动支架的其中一个，所述转动件设置在所述杆件的另一端。

8.根据权利要求6所述的化学液储存桶的自动开盖及抽液装置，其特征在于，所述承载底座包括一枢转轴与一支撑架，所述枢转轴的一端设置在所述支撑架，所述枢转轴的另一端转动设置在所述座体，所述两个侧支架设置在所述支撑架的两端。

9.根据权利要求8所述的化学液储存桶的自动开盖及抽液装置，其特征在于，所述化学液储存桶的自动开盖及抽液装置更包括一转动机构，所述转动机构包括一驱动组件与一齿轮组件，所述驱动组件设置在所述支撑架，所述驱动组件驱动所述齿轮组件，所述座体的底部具有一内齿轮，所述齿轮组件与所述内齿轮互相啮合。

10.根据权利要求4所述的化学液储存桶的自动开盖及抽液装置，其特征在于，所述化学液储存桶的自动开盖及抽液装置更包括一秤重机构与一框架，所述秤重机构包括一秤重支架与一秤重件，所述秤重件设置在所述框架的一侧，所述秤重支架设置在所述秤重件上，所述秤重支架的两端延伸经过所述两个侧支架，并所述秤重支架的两端枢转设置在所述框架的另一侧，所述秤重支架的两侧连接在所述两个侧支架。

11.根据权利要求1所述的化学液储存桶的自动开盖及抽液装置，其特征在于，所述化学液储存桶的自动开盖及抽液装置更包括一推动机构与一框架，所述推动机构设置在所述框架上，所述推动机构包括一驱动组件、一伸缩组件与推件，所述伸缩组件的一端设置在所述框架，所述伸缩组件的另一端设置在所述推件，所述推件用在推动所述储液桶。

12.根据权利要求1所述的化学液储存桶的自动开盖及抽液装置，其特征在于，所述化学液储存桶的自动开盖及抽液装置更包括一外壳机构，所述外壳机构包括一壳体、一卷门与一卷门控制器，所述壳体具有让所述储液桶推入的一门口，所述卷门控制器驱动所述卷门上升开启所述门口或下降封闭所述门口，其中所述影像机构、所述开盖机构与所述抽液机构位在所述壳体内。

13.根据权利要求1所述的化学液储存桶的自动开盖及抽液装置，其特征在于，所述影像机构包括一影像传感器，通过影像确认所述储液桶的盖件的位置。

14.根据权利要求1所述的化学液储存桶的自动开盖及抽液装置，其特征在于，所述化学液储存桶的自动开盖及抽液装置更包括一控制机构，所述控制机构用在连接控制所述影像机构、所述开盖机构、所述抽液机构、一夹持机构、一转动机构、一秤重机构、一推动机构与一外壳机构。

15.根据权利要求14所述的化学液储存桶的自动开盖及抽液装置，其特征在于，所述影像机构是以无线的方式与所述控制机构连接。

技术总结
本技术是一种化学液储存桶的自动开盖及抽液装置，其包括：基板、影像机构、开盖机构与抽液机构。基板具有影像孔、开盖孔与抽液孔，影像孔、开盖孔与抽液孔用在对应基板下方的储液桶。影像机构设置在基板，并对应影像孔，且用在侦测储液桶的盖件。开盖机构设置在基板，开盖机构的一端穿设开盖孔，开盖机构用在取起储液桶的盖件。抽液机构设置在基板，抽液机构的一端穿设抽液孔，抽液机构的一端通过盖件的封盖位置，而伸入储液桶内。通过将处理装化学液的储液桶的机构进行一自动化的整合式设计，以能够节省大量的人力作业，也能够提高处理效率。

技术研发人员：徐宏信,邱彦岚,李晶光
受保护的技术使用者：亚泰半导体设备股份有限公司
技术研发日：20230620
技术公布日：2024/1/15