一种翻转装置的制作方法

本技术涉及半导体设备，特别涉及一种翻转装置。

背景技术：

1、在半导体设备领域中，由于设备体积和重量巨大，因此翻转时一般需要专门的装置，但是直接用动力输出轴驱动被翻转部件翻转，会因为重量大的原因导致被翻转部件的损坏，需要经常更换，造成维护成本升高。

2、因此，需要一种降低维护成本的翻转装置。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种翻转装置，该翻转装置能降低维护成本。

2、为了实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案实现：

3、提供一种翻转装置，包括：

4、臂，所述臂沿第一方向延申，其包括第一端部和与第一端部相对的第二端部，所述臂用于翻转被翻转部件；

5、衬套，所述衬套设置于所述臂上与所述衬套配合的凹槽内；

6、动力输出轴，所述动力输出轴与所述衬套连接，所述动力输出轴用于通过所述衬套驱动所述臂沿着所述动力输出轴翻转。

7、进一步，所述动力输出轴沿着第二方向延申，所述第二方向与所述第一方向垂直。

8、进一步，所述凹槽设置于所述臂的第一端部。

9、进一步，所述臂的材质与所述衬套的材质相同或不同。

10、进一步，所述臂的材质与所述衬套的材质相同，所述臂和所述衬套的材质为不锈钢。

11、进一步，所述臂的材质与所述衬套的材质不同，所述臂的材质为铝，所述衬套的材质为不锈钢。

12、进一步，所述衬套的横截面的轮廓形状为非圆形。

13、进一步，所述衬套的横截面的轮廓形状为椭圆形、菱形、三角形、方形、五边形中的任一种。

14、进一步，所述被翻转部件为半导体真空腔室的盖。

15、进一步，所述臂在第二方向上包括第一侧面和与第一侧面相对的第二侧面，所述第一侧面为朝向所述动力输出轴的方向，所述凹槽设置于第一侧面上。

16、与现有技术相比，本实用新型具有如下优点：

17、该翻转装置设置了衬套，能够减少臂在翻转操作中的磨损，提高了翻转装置整体的使用寿命。特别是，臂采用铝，能够大大减轻臂的重量，减小翻转时所需的动力，同时，不锈钢的衬套更加耐磨，不易损坏。

技术特征：

1.一种翻转装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的一种翻转装置，其特征在于，所述动力输出轴沿着第二方向延申，所述第二方向与所述第一方向垂直。

3.如权利要求2所述的一种翻转装置，其特征在于，所述凹槽设置于所述臂的第一端部。

4.如权利要求1所述的一种翻转装置，其特征在于，所述臂的材质与所述衬套的材质相同或不同。

5.如权利要求4所述的一种翻转装置，其特征在于，所述臂的材质与所述衬套的材质相同，所述臂和所述衬套的材质为不锈钢。

6.如权利要求4所述的一种翻转装置，其特征在于，所述臂的材质与所述衬套的材质不同，所述臂的材质为铝，所述衬套的材质为不锈钢。

7.如权利要求2所述的一种翻转装置，其特征在于，所述衬套的横截面的轮廓形状为非圆形。

8.如权利要求7所述的一种翻转装置，其特征在于，所述衬套的横截面的轮廓形状为椭圆形、菱形、三角形、方形、五边形中的任一种。

9.如权利要求2所述的一种翻转装置，其特征在于，所述被翻转部件为半导体真空腔室的盖。

10.如权利要求3所述的一种翻转装置，其特征在于，所述臂在第二方向上包括第一侧面和与第一侧面相对的第二侧面，所述第一侧面为朝向所述动力输出轴的方向，所述凹槽设置于第一侧面上。

技术总结
本技术提供一种翻转装置，包括：臂，所述臂沿第一方向延申，其包括第一端部和与第一端部相对的第二端部，所述臂用于翻转被翻转部件；衬套，所述衬套设置于所述臂上与所述衬套配合的凹槽内；动力输出轴，所述动力输出轴与所述衬套连接，所述动力输出轴用于通过所述衬套驱动所述臂沿着所述动力输出轴翻转。本技术的翻转装置设置了衬套，因此可以降低维护成本。

技术研发人员：席晓东,赵南
受保护的技术使用者：江苏天芯微半导体设备有限公司
技术研发日：20230731
技术公布日：2024/2/1