一种片篮提升装置的制作方法

本技术属于硅片生产，尤其是涉及一种片篮提升装置。

背景技术：

1、在硅片的制造过程中，需要将盛放有硅片的片篮放置于清洗水槽内进行清洗，清洗完毕后再将盛放有硅片的片篮拿出，需要根据片篮内硅片的型号，调节片篮与清洗水槽内水面的夹角，进而提高清洗效率，现有的片篮提升装置为两侧气缸或单侧悬臂驱动升降板带动片篮上升，两侧气缸动作不同步或悬臂变形，升降架升降的过程中出现晃动，导致硅片受损，且升降架为固定设置，不能调节片篮与清洗水槽内水面的夹角，导致装置的适用范围受到了限制。

技术实现思路

1、有鉴于此，本实用新型旨在提出一种片篮提升装置，以期解决上述部分技术问题中的至少之一。

2、为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

3、一种片篮提升装置，包括设备支架、升降架、两个丝杠，所述升降架两端固设有与丝杠相匹配的螺母，两个所述丝杠分别与两个螺母配合安装；

4、其中一个丝杠对应设有转动组件，所述转动组件的壳体与设备支架固定连接，所述转动组件的输出轴通过同步皮带与其中一个丝杠同步转动，两个所述丝杠通过同步皮带进行同步转动；

5、所述升降架设有放置架，所述放置架与升降架铰接，所述放置架上开有用于放置片篮的放置槽。

6、进一步的，所述转动组件为电机，所述电机的壳体与设备支架固定连接，所述电机的输出轴固设有同步带轮一，其中一个丝杠上固设有同步带轮二、同步带轮三，另外一个丝杠上固设有同步带轮四，所述同步带轮一与同步带轮二均与同步皮带一配合安装并实现同步转动，所述同步带轮三与同步带轮四均与同步皮带二配合安装并实现同步转动。

7、进一步的，每个丝杠均对应设有两个导向柱，两个所述导向柱安装于丝杠的两侧，所述导向柱与设备支架固定连接，所述升降架固设有与导向柱相对应的直线轴承，所述导向柱与直线轴承配合安装。

8、进一步的，两个所述导向柱一端与设备支架固定连接，另一端通过连接板固定连接，所述丝杠与连接板转动连接。

9、进一步的，所述升降架包括升降框架、固设于升降框架两端的两个竖杆，所述竖杆下端与框架固定连接，所述竖杆上端与螺母固定连接；

10、所述放置架的下端面通过铰接轴与框架铰接，所述放置架位于铰接轴两侧的长度不同，所述放置架较短一侧的侧壁上设有与竖杆相对应的限位板。

11、进一步的，所述放置架的侧壁上固设有多个侧板，多个所述侧板与框架之间形成放置槽。

12、进一步的，所述侧板的上端向远离放置槽的方向弯折形成导向板。

13、进一步的，所述限位板包括依次连接的连接部、工作部，所述工作部与连接部垂直设置，所述连接部上开有条形通孔，所述条形通孔的长度方向与铰接轴的轴线垂直设置，所述框架上开有与条形通孔相对应的螺纹孔，所述条形通孔内设有安装螺栓，所述安装螺栓贯穿条形通孔与框架螺纹连接；

14、所述工作部与竖杆的位置相对应。

15、进一步的，所述工作部临近竖杆的端面上固设有垫片，所述垫片为聚四氟乙烯材质的结构件。

16、相对于现有技术，本实用新型所述的一种片篮提升装置具有以下有益效果：

17、(1)本实用新型所述的一种片篮提升装置，将片篮放置在放置架的放置槽内，电机转动带动升降架和放置架向下移动至清洗水箱内，清洗完毕后电机转动带动升降架和放置架向上移动，脱离清洗水箱清洗完毕，两个丝杠同步转动可以防止升降架晃动。

技术特征：

1.一种片篮提升装置，其特征在于：包括设备支架(1)、升降架、两个丝杠(10)，所述升降架两端固设有与丝杠(10)相匹配的螺母(11)，两个所述丝杠(10)分别与两个螺母(11)配合安装；

2.根据权利要求1所述的一种片篮提升装置，其特征在于：所述转动组件为电机(2)，所述电机(2)的壳体与设备支架(1)固定连接，所述电机(2)的输出轴固设有同步带轮一，其中一个丝杠(10)上固设有同步带轮二、同步带轮三，另外一个丝杠(10)上固设有同步带轮四，所述同步带轮一与同步带轮二均与同步皮带一配合安装并实现同步转动，所述同步带轮三与同步带轮四均与同步皮带二(5)配合安装并实现同步转动。

3.根据权利要求1所述的一种片篮提升装置，其特征在于：每个丝杠(10)均对应设有两个导向柱(7)，两个所述导向柱(7)安装于丝杠(10)的两侧，所述导向柱(7)与设备支架(1)固定连接，所述升降架固设有与导向柱(7)相对应的直线轴承(6)，所述导向柱(7)与直线轴承(6)配合安装。

4.根据权利要求3所述的一种片篮提升装置，其特征在于：两个所述导向柱(7)一端与设备支架(1)固定连接，另一端通过连接板(9)固定连接，所述丝杠(10)与连接板(9)转动连接。

5.根据权利要求1所述的一种片篮提升装置，其特征在于：所述升降架包括升降框架(4)、固设于升降框架(4)两端的两个竖杆(3)，所述竖杆(3)下端与框架(4)固定连接，所述竖杆(3)上端与螺母(11)固定连接；

6.根据权利要求5所述的一种片篮提升装置，其特征在于：所述放置架(8)的侧壁上固设有多个侧板(12)，多个所述侧板(12)与框架(4)之间形成放置槽。

7.根据权利要求6所述的一种片篮提升装置，其特征在于：所述侧板(12)的上端向远离放置槽的方向弯折形成导向板。

8.根据权利要求5所述的一种片篮提升装置，其特征在于：所述限位板(13)包括依次连接的连接部(1301)、工作部(1302)，所述工作部(1302)与连接部(1301)垂直设置，所述连接部(1301)上开有条形通孔(1304)，所述条形通孔(1304)的长度方向与铰接轴(14)的轴线垂直设置，所述框架(4)上开有与条形通孔(1304)相对应的螺纹孔，所述条形通孔(1304)内设有安装螺栓，所述安装螺栓贯穿条形通孔(1304)与框架(4)螺纹连接；

9.根据权利要求8所述的一种片篮提升装置，其特征在于：所述工作部(1302)临近竖杆(3)的端面上固设有垫片(1303)，所述垫片(1303)为聚四氟乙烯材质的结构件。

技术总结
本技术提供了一种片篮提升装置，包括设备支架、升降架、两个丝杠，升降架两端固设有与丝杠相匹配的螺母，两个丝杠分别与两个螺母配合安装；其中一个丝杠对应设有转动组件，转动组件的壳体与设备支架固定连接，转动组件的输出轴通过同步皮带与其中一个丝杠同步转动，两个丝杠通过同步皮带进行同步转动；升降架上设有放置架，放置架上开有用于放置片篮的放置槽。本技术有益效果：将片篮放置在放置架的放置槽内，电机转动带动升降架向下移动至清洗水箱内，清洗完毕后电机转动带动放置架向上移动，两个丝杠同步转动可以防止升降架晃动。

技术研发人员：靳立辉,杨骅,任志高,王欢,姚长娟,赵晓光
受保护的技术使用者：天津环博科技有限责任公司
技术研发日：20230809
技术公布日：2024/3/11