扫模板和扫模设备的制作方法

本申请涉及半导体制造技术领域，特别是涉及半导体制造技术领域中的扫模板和扫模设备。

背景技术：

如图1所示，在半导体制造过程中，对半导体芯片进行塑封的作业模具的作业面板的中间区域通常存在多个作业孔(Tip&Pot)。在进行塑封作业时，会在作业面板1的多个作业孔101之间产生塑封残渣废料。每次塑封过后均需清除产生的废料以避免影响下次塑封作业时的产品品质，因此需要对塑封残渣废料进行清除。现有的扫模板2，如图2所示，包括中间的风道20、上毛刷21和下毛刷22，中间的风道的截面为长方形，因此，通过与下毛刷22靠近的进风口吸入废料14后通过风道的两端送出，其中，虚线箭头表示风道20内的气流方向或废料传输方向。由于采用上述风道，会出现靠近风道两端的风速大，而风道中间的风速偏低，由于风道中间正对作业孔101所在的区域，因此，会导致废料清理不干净，严重影响后续塑封过程中的产品品质和生产效率。

技术实现要素：

本发明的目的之一在于提供扫模板和扫模设备，其可有效解决半导体芯片塑封过程中出现的废料清理不干净导致的产品品质差和生产效率低的问题。

本发明实施例提供了一种扫模板，所述扫模板包括：主体，其包括凹槽，所述凹槽位于所述主体的中部区域，所述凹槽包括第一出风口、第二出风口以及第一进风口，所述第一出风口与所述第二出风口相对，所述第一进风口位于所述第一出风口与所述第二出风口之间；第一挡风板，其设置于所述凹槽的所述第一进风口与所述第一出风口之间，且用于阻挡由所述第一进风口进入的气流进入所述第一挡风板上方的空间区域；第二挡风板，其设置于所述凹槽的所述第一进风口与所述第二出风口之间，且用于阻挡由所述第一进风口进入的气流进入所述第二挡风板上方的空间区域；第一挡块，其设置于所述第一挡风板的下侧且位于所述第一出风口处，所述第一挡块的上侧壁与所述第一挡风板之间形成第一进风通道；第二挡块，其设置于所述第二挡风板的下侧且位于所述第二出风口处，所述第二挡块的上侧壁与所述第二挡风板之间形成第二进风通道；其中，所述第一挡风板在靠近所述第一进风口的一端与所述第二挡风板在靠近所述第一进风口的一端接合；所述第一进风通道连通所述第一进风口与所述第一出风口，所述第二进风通道连通所述第一进风口与所述第二出风口，所述第一进风口位于所述第一挡块与所述第二挡块之间，且所述第一挡块的下侧壁与所述第二挡块的下侧壁用于阻挡气流并使气流仅通过所述第一进风口进入，且使进入的气流通过所述第一进风通道以从所述第一出风口输出以及通过所述第二进风通道以从所述第二出风口输出。

本发明实施例还提供了一种扫模设备，应用于清洁芯片塑封模具的作业板面的废料，所述扫模设备包括本发明所述的扫模板，所述扫模设备还包括配合部，所述配合部包括：安装面板，其用于覆盖凹槽的开口并将所述扫模板固定；第一出风腔，其经配置以与第一出风口密封对接并将吸入的废料送出；第二出风腔，其经配置以与第二出风口密封对接并将吸入的废料送出。

本发明实施例提供的扫模板和扫模设备相对于现有技术而言，可以有效清洁塑封模具的作业板面的废料，提高了后续制程中的产品品质和生产效率。

附图说明

图1所示是现有技术中作业模具的作业板面的结构示意图。

图2所示是现有技术的扫模板的结构示意图。

图3所示是本发明一实施例的扫模板的结构示意图。

图4所示是本发明一实施例的扫模设备的配合部的安装平面的俯视结构示意图。

图5所示是本发明一实施例的扫模设备的配合部的侧面结构示意图。

图6所示是本发明一实施例的扫模设备进行扫模动作时的示意图。

图7所示是本发明一实施例的扫模设备进行扫模动作时的另一示意图。

具体实施方式

为更好的理解本发明的精神，以下结合本发明的部分优选实施例对其作进一步说明。

图3所示是本发明一实施例的扫模板的结构示意图。扫模板3包括：主体30、第一挡风板31、第二挡风板32、第一挡块33和第二挡块34。主体30包括凹槽(图中未标识)，该凹槽位于主体30的中部区域。凹槽包括第一出风口301(虚线框标示部分)、第二出风口302(虚线框标示部分)以及第一进风口303(虚线框标示部分)，第一出风口301与第二出风口302相对，第一进风口303位于第一出风口301与第二出风口302之间。

其中，第一挡风板31设置于凹槽的第一进风口303与第一出风口301之间，且用于阻挡由所述第一进风口303进入的气流进入所述第一挡风板31上方的空间区域。第二挡风板32设置于凹槽的第一进风口303与第二出风口302之间，且用于阻挡由第一进风口303进入的气流进入所述第二挡风板32上方的空间区域。第一挡块33设置于第一挡风板31的下侧且位于第一出风口301处，第一挡块33的上侧壁与第一挡风板31之间形成第一进风通道3133。第二挡块34设置于第二挡风板32的下侧且位于第二出风口302处，第二挡块34的上侧壁与第二挡风板32之间形成第二进风通道3234。

此外，第一挡风板31在靠近第一进风口303的一端与第二挡风板32在靠近第一进风口303的一端接合。第一进风通道3133连通第一进风口303与第一出风口301，第二进风通道3234连通第一进风口303与第二出风口302。第一进风口303位于第一挡块33与第二挡块34之间，且第一挡块33的下侧壁与第二挡块34的下侧壁用于阻挡气流并使气流仅通过第一进风口303进入，且使进入的气流通过第一进风通道3133以从第一出风口301输出以及通过第二进风通道3234以从第二出风口302输出。

通过将扫模板3安装到扫模设备上并与抽风设备管道连通，在扫模板3的第一进风口303、第一进风通道3133、第二进风通道3234之间形成吸除废料14的通道，同时，采用上述结构的扫模板3可以有效提升位于第一进风口303所在位置的风速，当该第一进风口303对应于作业面板上的作业孔之间的区域时，可以对该区域的废料进行有效吸除，并使废料14随气流通过上述通道输送到废料收集容器中，提高了产品品质和生产效率。

在本发明一实施例中，第一进风口303可以位于第一挡块33与第二挡块34的中间位置。扫模板3还包括第一刷子35，第一刷子35固定设置于主体30的下部区域上。

在本发明一实施例中，凹槽还包括第二进风口304、第三挡风板36以及第四挡风板37。第二进风口304位于第一出风口301与第二出风口302之间且与第一进风口303相对。第三挡风板36设置于凹槽的第二进风口304与第一出风口301之间，且用于阻挡第二进风口304进入的气流进入第三挡风板36下方的空间区域。第四挡风板37设置于凹槽的第二进风口304与第二出风口302之间，且用于阻挡由第二进风口304进入的气流进入第四挡风板37下方的区域。

在本发明一实施例中，第三挡风板36在靠近第二进风口304的一端与第四挡风板37在靠近第二进风口304的一端接合，且第三挡风板36在靠近第一出风口301的一端与第一挡风板31在靠近第一出风口301的一端接合，以及第四挡风板37在靠近第二出风口302的一端与第二挡风板32在靠近第二出风口302的一端接合。需要说明的是，虽然接合的效果较佳，但是第三挡风板36与第一挡风板31在靠近第一出风口301处，以及第四挡风板37与第二挡风板32在靠近第二出风口302处也可以存有空隙而不相互接合，这里不再一一赘述。

在本发明一实施例中，扫模板3还包括第三挡块(图中未标示)和第四挡块(图中未标示)。其中，第三挡块设置于第三挡风板36的上侧且位于第一出风口301处，第三挡块的下侧壁与第三挡风板36之间形成第三进风通道3610；第四挡块设置于第四挡风板37的上侧且位于第二出风口302处，第四挡块的下侧壁与第四挡风板37之间形成第四进风通道3711；第三进风通道3610连通第二进风口304与第一出风口301，第四进风通道3711连通第二进风口304与第二出风口302，第二进风口304位于第三挡块与第四挡块之间，较佳第二进风口304位于第三挡块与第四挡块的中间位置，且第三挡块的上侧壁与第四挡块的上侧壁用于阻挡气流并使气流仅通过第二进风口304进入，且使进入的气流通过第三进风通道3610以从第一出风口301输出以及通过第四进风通道3711以从第二出风口302输出。

在本发明一实施例中，挡块可以实心的形式存在，或是由复数个挡风板的形式存在。如图3所示，第三挡块可经配置以形成第五挡风板38和第七挡风板310，第四挡块可经配置以形成第六挡风板39与第八挡风板311。其中，第五挡风板38设置于第三挡风板36的上侧以用于阻挡气流并使气流仅通过第二进风口304进入凹槽内，第六挡风板39设置于第四挡风板37的上侧以用于阻挡气流并使气流仅通过第二进风口304进入凹槽内。第二进风口304位于第五挡风板38和第六挡风板39之间。第七挡风板310设置于第三挡风板36的上侧和第五挡风板38的下侧且位于第二进风口304与第一出风口301之间。第七挡风板310靠近第二进风口304的一端与第五挡风板38靠近第二进风口304的一端接合，第七挡风板310与第三挡风板36之间形成第三进风通道3610。第八挡风板311设置于第四挡风板37的上侧和第六挡风板39的下侧且位于第二进风口304与第二出风口302之间。第八挡风板311靠近第二进风口304的一端与第六挡风板39靠近第二进风口304的一端接合，第八挡风板311与第四挡风板37之间形成第四进风通道3711。需要说明的是，虽然图3中第一挡块33及第二挡块34呈现实心的形式，然而第一挡块33及第二挡块34也可以如上所述经配置以形成两片于一端接合的挡风板，这里不再一一赘述。

在本发明一实施例中，第一挡风板31、第二挡风板32、第三挡风板36和第四挡风板37接合后的截面形状可以为菱形或椭圆形。第一挡风板31、第二挡风板32、第三挡风板36和第四挡风板37接合所围成的区域可以为实心也可以为空心。当所围成的区域为空心时，扫模板3还包括第一定位柱312和第二定位柱313。第一定位柱312位于第一挡风板31与第三挡风板36之间，第二定位柱313位于第二挡风板32与第四挡风板37之间，第一定位柱312和第二定位柱313对应设置在凹槽内，即设置于所述所围成的区域内。第一定位柱312和第二定位柱313上设有通孔，并用于扫模板3的定位和固定安装。

在本发明一实施例中，扫模板3还包括第二刷子314，第二刷子314固定设置于主体30的上部区域上。

需要说明的是，上文中所指的“接合”方式，可以为焊接。也可以采用非“接合”的方式，如一体成型。比如，第一挡风板31、第二挡风板32、第三挡风板36和第四挡风板37接合后的组件可以通过一体成型方式形成，这里不再一一赘述。

在本发明一实施例中，扫模板包括上下两个进风口，并同时可以提升上下进风口所在的位置的风速，可以进一步提升上下两个方向上的清扫效果。

在本发明一实施例中，第三挡块通过镂空形成第五挡风板38和第七挡风板310，第四挡块通过镂空形成第六挡风板39和第八挡风板311。同样地，第一挡块33和第二挡块34也可以通过镂空形成上述挡风板的结构。这里不再一一赘述。

在本发明一实施例中，第一进风通道3133、第二进风通道3234、第三进风通道3610和第四进风通道3711并不限于图3中所示的结构，其还可以为圆弧形的管道结构，比如，构成第一进风通道3133的第一挡风板31与第一挡块33的上侧壁可以均为曲面结构，并不限定于此。

本发明实施例还提供了一种扫模设备，应用于清洁芯片塑封磨具的作业板面的废料14。该扫模设备包括上述任一实施例所述的扫模板以及配合部4。如图4和图5所示，配合部4包括安装面板41、第一出风腔42和第二出风腔43。其中，安装面板41用于覆盖凹槽的开口并将扫模板3固定。第一出风腔42设置于安装面板41的一端部，经配置以与第一出风口301密封对接并将吸入的废料14送出。第二出风腔43设置于安装面板41的与第一出风腔42相对的另一端部，经配置以与第二出风口302密封对接并将吸入的废料14送出。

具体地，第一出风腔42的一端与第一出风口301对接，第一出风腔42的另一端包括第一连接通孔(图中未示出)，通过该第一连接通孔与抽风设备(图中未示出)的废料输送管道密封连通。同样地，第二出风腔43的一端包括第二连接通孔431，并通过该第二连接通孔431与抽风设备的另一废料输送管道密封连通。

此外，扫模板3通过第一定位柱312与第二定位柱313定位于安装面板41并通过第一定位柱312和第二定位柱313上的通孔与安装面板41采用螺栓安装固定。

图6所示是本发明一实施例的扫模设备进行扫模动作时的示意图。其中A为扫模设备的扫模方向，该扫模方向为平行于作业模具的作业板面1的方向。如图1所示，作业板面包括作业孔布置区11、第一芯片布置区12和第二芯片布置区13，作业孔布置区11位于第一芯片布置区12与第二芯片布置区13之间，作业孔布置区11上包括纵向间隔设置的多个作业孔101。当扫模设备在进行扫模动作以清扫该作业板面1时，扫模板3的第一进风口303位于作业孔布置区11上方，以使第一进风口303与作业孔布置区11对应。其中，A方向与作业孔101的设置方向平行。

扫模设备清扫作业板面1上的废料14的过程如下：

扫模设备上的扫模板3在向A方向运动并清扫作业面板1时，第一刷子35清扫作业面板1上的废料14，通过第一刷子35松动作业面板1上的废料14，同时，被清扫松动的废料14通过第一进风口303吸入，且通过第一进风通道3133从第一出风口301进入第一出风腔42以及通过第二进风通道3234从第二出风口302进入第二出风腔43。进入到第一出风腔42的废料14通过第一通孔送出到废料14输送管道中，进入到第二出风腔43的废料14则通过第二通孔431送出到废料输送管道中。从而实现对位于扫模板下方的作业板面的清扫。具体，可见如图3中的虚线箭头，虚线箭头表示气流方向或废料14的传输方向。

此外，在吸取废料14时，由于第一挡风板31和第二挡风板32的阻挡，并且限制了废料14只能通过设置的第一进风通道3133和第二进风通道3234，因此极大提高了位于第一进风口303处的风速，提高了对废料14的吸力。进一步地，将该第一进风口303对应设置在作业孔布置区11的上方，可以有效吸除位于作业孔101之间的废料14，从而达到有效清扫废料14的目的，这样极大提高了产品品质和生产效率。

在本发明实施例中，第一进风口303的长度不小于作业孔101的直径。

图7所示为是本发明另一实施例的扫模设备进行扫模动作时的示意图。扫模设备中的扫模板还可以清扫位于扫模设备上方的作业板面1的下板面，其中，扫模设备上方的作业板面1为已经清扫处理过并通过机械手放置于上面准备待用的，但为了进一步保证位于扫模设备上方的作业面板1中存在的未被清扫过的残留的废料14被有效清除以进一步避免其掉落到位于扫模板下方的已被清扫过作业面板区域中，因此，配置了第二刷子314和第二进风口304以作进一步清扫。具体工作过程与清扫扫模设备下方的作业板面1的过程相似，具体为：

扫模设备的扫模板3的第二刷子314用于清扫位于扫模设备上方的作业板面1的下板面上的废料14，第二刷子314用于松动可能粘附在扫模设备上方的作业板面1的下板面的废料14，同时，被清扫的废料14通过第二进风口304吸入，且通过第三进风通道3610从第一出风口301进入第一出风腔42以及通过第四进风通道3711从第二出风口302进入第二出风腔43。相同地，进入到第一出风腔42的废料14通过第一通孔送出到废料输送管道中，进入到第二出风腔43的废料14则通过第二通孔431送出到废料输送管道中。具体，可见如图3中的虚线箭头，虚线箭头表示气流方向或废料14的传输方向。从而实现对位于扫模板上方的作业板面1的下板面进行清扫。这样进一步提高了对废料14进行有效清除的目的，进一步提高了产品品质和生产效率。

需要说明的是，图中的虚线箭头仅仅作为气流方向或废料14的传输方向的一般表示，其可以根据扫模板中的进风通道的结构而发生具体变化，这里仅用于说明目的，本发明实施例的其他替换及修饰不受此限制。

此外，除非另外规定，否则诸如“上方”、“下方”、“向上”、“左边”、“右边”、“向下”、“顶部”、“底部”、“垂直”、“水平”、“侧”、“较高”、“下部”、“上部”、“上方”、“下面”等空间描述涉及图中所展示的定向加以指示。应理解，本文中所使用的空间描述仅出于说明的目的，且本文中所描述的结构的实际实施方案可以任何定向或方式在空间上配置，其限制条件为本发明实施例的优点不因此配置而有偏差。

本发明的技术内容及技术特点已揭示如上，然而熟悉本领域的技术人员仍可能基于本发明的教示及揭示而作种种不背离本发明精神的替换及修饰。因此，本发明的保护范围应不限于实施例所揭示的内容，而应包括各种不背离本发明的替换及修饰，并为本专利申请权利要求书所涵盖。