入口组件的制作方法

本发明的领域涉及入口组件、减排设备和方法。

背景技术：

1、减排设备(诸如辐射燃烧器或其它类型减排设备)是已知的，并且通常用于处理来自例如半导体或平板显示器制造工业中使用的制造加工工具的排出气流。在这种制造期间，残余全氟化合物(pfc)和其它化合物存在于从加工工具中泵出的排出气流中。pfc难以从排出气体被除去，并且不希望它们被释放到环境中，因为已知pfc具有相对高的温室效应。

2、已知的辐射燃烧器使用燃烧以从排出气流中除去pfc和其它化合物，例如ep0694735中所述的。通常，排出气流是含有pfc和其它化合物的氮气流。将该排出流输送至燃烧室中，所述燃烧室被有孔气体燃烧器的出口表面横向围绕。在一些情况下，诸如燃料气体的处理材料在进入燃烧室之前可以与排出气流混合。燃料气体和空气同时供应到有孔燃烧器以影响在出口表面处的燃烧。来自有孔燃烧器的燃烧产物与排出流混合物发生反应以燃烧排出流中的化合物。

3、尽管存在减排设备的布置结构，但是它们各自具有其自身的缺点。因此，期望提供一种用于减排设备的改进布置结构。

技术实现思路

1、根据第一方面，提供了一种用于减排设备的入口组件，所述减排设备用于处理来自半导体加工工具的排出流，所述入口组件包括：燃烧室模块，所述燃烧室模块限定气室，所述气室被构造成将燃烧剂供应到其燃烧室，所述燃烧室模块具有安装件，所述安装件被构造成与共用头部接合(interface)，所述共用头部限定至少一个廊道，所述至少一个廊道被构造成供应所述燃烧剂，所述安装件包括多个供给孔，所述多个供给孔定位成用于所述燃烧剂在所述廊道和所述气室之间的流体连通。

2、第一方面认识到，减排设备的问题在于，每个燃烧室需要被仔细地构造以适合排出流的流率和类型，以确保充分减排。这意味着需要生产各种部件，通常是定制的部件，以便提供适于在各种不同条件下操作的减排设备。例如，将排出流输送至减排室中的输送喷嘴的布置结构可根据排出流和/或其流率而变化。而且，减排室的尺寸可以变化。具有不同构造的输送喷嘴和减排室可能是有问题的，因为这可能导致需要不同构造的部件，这增加了生产和维护这种减排设备所需的部件的库存。

3、因此，提供了一种入口组件。该入口组件可用于减排设备。该减排设备可处理来自半导体加工工具的排出流。入口组件可包括燃烧室模块。燃烧室模块可限定气室。气室可被构造或布置成将燃烧剂供应到燃烧室模块的燃烧室。燃烧室模块可具有安装件。该安装件可被构造成与共用头部接合或连接到该共用头部。该共用头部可限定至少一个廊道或室。廊道可被构造或布置成供应燃烧剂。安装件可以包括多个供给孔。供给孔可定位或确定位置成提供燃烧剂在廊道和气室之间的流体连通。这样，适合于其燃烧室模块的安装件与标准或共用头部接合，这使得燃烧剂能够从共用头部的廊道经由安装件供应到燃烧室模块的气室。这使得共用头部能够用于不同的燃烧室模块，这减少了用于减排设备的组装和维护所需的部件的数量。

4、气室可围绕燃烧充量室。供给孔可以定位成位于气室上方或者与气室对准。因此，供给孔可以定位成与气室对准。

5、供给孔可以定位成围绕安装件的周边或外围延伸或定位。

6、入口组件可包括多个燃烧室模块。每个燃烧室模块可具有安装件，该安装件被构造成与共用头部的多个廊道中的对应一个接合。每个安装件可包括多个供给孔，所述多个供给孔定位成用于燃烧剂在该廊道和相应的气室之间的流体连通。因此，共用头部可设置有多个单独的廊道，每个廊道通过其安装件将燃烧剂供应到相应的燃烧室模块。这使得每个燃烧室模块能够独立于其它模块被供给。

7、至少一个燃烧室模块的安装件可被构造或布置成与共用头部的多个廊道接合或连接。安装件可以包括多个供给孔，所述多个供给孔定位或确定位置成用于燃烧剂在那些廊道和其气室之间的流体连通。因此，在共用头部内的多于一个的廊道可供给燃烧室模块。这可使得燃烧室模块能够被供应增加量的燃烧剂。

8、每个燃烧室模块可被构造或布置成接收可从共用头部延伸的至少一个排出流喷嘴，或在其中定位有所述至少一个排出流喷嘴。供给孔可以定位成避开每个排出流喷嘴的位置。因此，排出流喷嘴可延伸穿过共用头部并且穿过安装件，其中供给孔定位成远离排出流喷嘴的位置。

9、安装件可限定至少一个排出流喷嘴孔。排出流喷嘴孔可以定位或确定位置成接收相应的排出流喷嘴。因此，排出流喷嘴可从共用头部延伸并穿过安装件到达燃烧室。

10、安装件可以包括至少一个排出流喷嘴密封件，所述至少一个排出流喷嘴密封件定位成围绕每个相应的排出流喷嘴。

11、每个排出流喷嘴密封件可被构造成将相应的排出流喷嘴与燃烧剂流体地隔离。

12、燃烧室模块可包括至少一个排出流喷嘴密封件槽，其被构造成接收相应的排出流喷嘴密封件。

13、供给孔可以定位或确定位置成避开每个排出流喷嘴密封件。

14、安装件可包括周边密封件，该周边密封件可被构造成容纳燃烧剂。

15、共用头部可被构造成可移除地提供用于增强燃烧室模块的至少一个附加的排出流喷嘴。该喷嘴可以从共用头部延伸。因此，当需要时，共用头部可以提供附加的排出流喷嘴，但是当不需要时，可以移除那些附加的排出流喷嘴。这使得共用头部能够支持不同类型的燃烧室模块。

16、燃烧室模块可以是增强燃烧模块。安装件可被构造成接收从共用头部延伸的至少一个附加的排出流喷嘴。供给孔可以定位成避开每个附加的排出流喷嘴的位置。因此，供给孔定位成离开可从共用头部延伸的任何排出流喷嘴的位置。

17、增强燃烧室模块的安装件可被构造或布置成接收从共用头部延伸的多个排出流喷嘴。

18、增强燃烧室模块的安装件可被构造或布置成与共用头部的多个廊道接合。

19、燃烧室模块可以是除了增强燃烧室模块之外的。当是这种情况时，周边密封件可定位成偏离以避开至少一个附加的流喷嘴的位置。

20、除了增强燃烧室模块之外的燃烧室模块的安装件可被构造或布置成接收从共用头部延伸的单个排出流喷嘴。

21、除了增强燃烧室模块之外的燃烧室模块的安装件可被构造成与共用头部的单个廊道接合。

22、每个周边密封件可以遵循摇摆或非线性路径以避开至少一个附加的排出流喷嘴。

23、供给孔可以定位成避开周边密封件。

24、供给孔可以定位成遵循围绕所述安装件的周边延伸的偏离路径(deviatingpath)。

25、入口组件可包括具有入口的共用头部，该入口被构造成将燃烧剂排出流供给到廊道。

26、入口组件可包括共用头部，以具有多个入口，该多个入口被构造成将排出流供给到相应的多个廊道。

27、入口组件可包括燃烧室模块。

28、入口组件可包括排出流喷嘴。

29、燃烧室模块可包括有孔套筒，该有孔套筒被构造或布置成限定燃烧室。

30、根据第二方面，提供了一种包括第一方面的入口组件的减排设备。

31、减排设备可包括上面所述的入口组件的特征。

32、根据第三方面，提供了一种方法，所述方法包括：提供燃烧室模块和安装件，所述燃烧室模块限定气室，所述气室被构造成将燃烧剂供应到其燃烧室，所述安装件被构造成与共用头部接合，所述共用头部至少一个廊道，所述至少一个廊道被构造成供应所述燃烧剂；以及给所述安装件设置多个供给孔，所述多个供给孔定位成用于所述燃烧剂在所述廊道和所述气室之间的流体连通。

33、该方法可包括：用气室围绕燃烧室，并将供给孔定位成位于气室上方。

34、该方法可包括：将供给孔定位成围绕安装件的周边延伸。

35、该方法可包括：提供多个燃烧室模块；将每个安装件构造成与共用头部的多个廊道中的对应一个接合；以及定位每个安装件的多个供给孔，用于燃烧剂在廊道和相应的气室之间的流体连通。

36、该方法可包括：将至少一个燃烧室模块的安装件构造成与共用头部的多个廊道接合，并且将定位在安装件上的多个供给孔定位成用于燃烧剂在那些廊道和其气室之间的流体连通。

37、该方法可包括：将每个燃烧室模块构造成接收从共用头部延伸的至少一个排出流喷嘴，以及将供给孔定位成避开每个排出流喷嘴的位置。

38、该方法可包括：利用安装件来限定至少一个排出流喷嘴孔，以及将该至少一个排出流喷嘴孔定位成接收相应的排出流喷嘴。

39、该方法可包括：给安装件提供至少一个排出流喷嘴密封件，以及将该至少一个排出流喷嘴密封件定位成围绕每个相应的排出流喷嘴。

40、该方法可包括：将每个排出流喷嘴密封件构造成使相应的排出流喷嘴与燃烧剂流体地隔离。

41、该方法可包括：在相应的至少一个排出流喷嘴密封件槽中接收排出流喷嘴密封件。

42、该方法可包括：将供给孔定位成避开每个排出流喷嘴密封件。

43、该方法可包括：给安装件提供周边密封件，以及将周边密封件构造成容纳燃烧剂。

44、该方法可包括：将共用头部构造成可移除地提供从共用头部延伸的至少一个附加的排出流喷嘴，以用于增强流动燃烧室模块。

45、该方法可包括：提供燃烧室模块作为增强燃烧室模块，将安装件构造成接收从共用头部延伸的至少一个附加的排出流喷嘴，以及将供给孔定位成避开每个附加的排出流喷嘴的位置。

46、该方法可包括：将增强燃烧室模块的安装件构造成接收从共用头部延伸的多个排出流喷嘴。

47、该方法可包括：将增强燃烧室模块的安装件构造成与共用头部的多个廊道接合。

48、该方法可包括：当燃烧室模块是除了增强燃烧室模块之外的时，使周边密封件偏离以避开至少一个附加的排出流喷嘴的位置。

49、该方法可包括：将除了增强燃烧室模块之外的燃烧室模块的安装件构造成接收从共用头部延伸的单个排出流喷嘴。

50、该方法可包括：将除了增强燃烧室模块之外的燃烧室模块的安装件构造成与共用头部的单个廊道接合。

51、该方法可包括：使每个周边密封遵循摇摆路径以避开至少一个附加的排出流喷嘴。

52、该方法可包括：将供给孔定位成避开周边密封件。

53、该方法可包括：将供给孔定位成遵循围绕安装件的周边延伸的偏离路径。

54、该方法可包括：提供具有入口的共用头部，该入口被构造成将燃烧剂供给到廊道。

55、该方法可包括：提供具有多个入口的共用头部，该多个入口被构造成将燃烧剂供给到相应的多个廊道。

56、该方法可包括：提供燃烧室模块。

57、该方法可包括：提供排出流喷嘴。

58、该方法可包括：提供包括有孔套筒的燃烧室模块，有孔套筒被构造成限定燃烧室。

59、在所附独立权利要求和从属权利要求中阐述了进一步的特定和优选方面。从属权利要求的特征可以与独立权利要求的特征适当地组合，并且可以与除了在权利要求中明确阐述的那些组合之外的组合进行组合。

60、在设备特征被描述为可操作以提供功能的情况下，将理解，这包括提供该功能或者被适配或构造成提供该功能的设备特征。