专利名称：一种立式炉体的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种炉体，特别是涉及一种立式炉体。
背景技术：
目前，在半导体等行业多用到各类炉子，特别是对于热处理设备的广泛应用，热处理设备其中一个很重要的参数是温区分布，而目前热处理生产线所用的炉体中的温区分布情况是固定不变的，对于不同的热处理炉，其温区分布是不相同的，这就要求每更换一次炉体，都要根据新的温区分布来调节相应的工艺过程及参数，这对工艺的稳定性也带来不利的影响。
发明内容
(一)要解决的技术问题 本发明要解决的技术问题是如何提供一种高度可调的热处理炉体，以保证恒温区处于理想位置。(二)技术方案为了解决上述技术问题，本发明提供的一种立式炉体，包括炉体本体，所述炉体本体的外部设有升降机构，所述升降机构用于调节所述炉体本体的高度。其中，所述升降机构设于所述炉体本体的底部。其中，所述升降机构包括固定支座、顶块和升降驱动单元；所述固定支座上设有一个或多个竖直导向槽，每个所述竖直导向槽内分别设有顶块，所述顶块与升降驱动单元连接，所述顶块的顶部抵住所述炉体本体的底部，所述升降驱动单元驱动所述顶块在所述竖直导向槽内做升降运动并带动炉体本体做升降运动进而调节炉体本体的高度。其中，所述顶块的顶部还设有升降座，所述升降座的上部与所述炉体本体底部连接，所述升降座的下部与所述固定支座相扣合。其中，所述升降座设有开口向下的第一凹槽，所述固定支座上设有与所述第一凹槽相匹配的突起，所述顶块位于所述突起上。其中，所述升降驱动单元采用液压驱动系统，所述液压驱动系统与所述固定支座一体成形，所述液压驱动系统直接驱动顶块做升降运动。其中，所述升降驱动单元包括液压驱动系统和运动转换单元，所述运动转换单元设置在所述固定支座的内部并与所述顶块连接；所述液压驱动系统设置在所述固定支座的外部，并通过与所述运动转换单元连接来间接驱动顶块做升降运动。其中，所述升降驱动单元包括电机驱动单元和运动转换单元，所述运动转换单元设置在所述固定支座的内部并与所述顶块连接；所述电机驱动单元设置在所述固定支座的外部，并通过与所述运动转换单元连接来间接驱动顶块做升降运动。其中，所述升降机构还包括定位销，所述固定支座上开有与所述定位销相匹配的第一竖直定位孔，所述升降座上与所述第一竖直定位孔相对的位置开有与所述定位销相匹配的第二竖直定位孔，所述定位销的两端分别安装在所述第一竖直定位孔和第二竖直定位孔内。其中，所述固定支座设为一个或多个。(三)有益效果上述技术方案所提供的一种立式炉体，采用升降机构实现炉体本体的高度可调，使得在炉体本体内的温区分布不变的情况下，通过调节炉体本体的高度，以保证恒温区处于理想位置，实现设备更换炉体后温区具有一致性，并能使得尽可能多的产品处于恒温区内，该炉体适应不同产品、不同工艺要求的热处理炉，热处理工艺稳定，节约了成本和资源。
图I是本发明一种立式炉体的结构示意图； 图2是本发明升降机构的结构示意图；图3是本发明升降机构的轴测图；图4是本发明的固定支座的内部结构示意图；图5是升降座的剖面图。其中，I、炉体本体；2、固定支座；21、突起；3、顶块；4、升降座；41、第一凹槽；42、
第二凹槽；5、定位销；6、进出油口 ；A、恒温区。
具体实施例方式下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式
作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。如图I和图2所示，本发明实施例提供的一种立式炉体，包括炉体本体1，该炉体本体的外部设有升降机构，该升降机构用于调节炉体本体的高度。实现了炉体本体的高度可调以保证设备更换炉体后恒温温区具有一致性，恒温区A处于理想位置，使得尽可能多的产品处于恒温区A内，该炉体可适应不同产品、不同工艺要求的热处理炉，实现热处理工艺稳定，节约了成本和资源。为了减轻升降机构的承载力，以提高设备的使用寿命，该升降机构设于炉体本体I的底部。如图4和图5所示，其中，升降机构包括固定支座2、顶块3和升降驱动单元；固定支座2的上设有一个或多个竖直导向槽,每个竖直导向槽内分别设有顶块3,可在固定支座2的长度方向上设置一个或多个竖直导向槽，优选为两个，分别位于该固定支座2的两端；采用多个内设顶块3的导向槽的设计可减轻每个顶块的负荷，降低对顶块的要求，可提高顶块的使用寿命；顶块3与升降驱动单元连接，顶块3的顶部抵住炉体本体I的底部，升降驱动单元驱动顶块3在竖直导向槽内做升降运动并带动炉体本体I做升降运动进而调节炉体本体I的高度。为了提高炉体本体I整体升降运动的平衡性，顶块3的顶部还设有升降座4，该升降座4的上部与炉体本体的底部连接，该升降座4的下部与固定支座3相扣合。固定支座2可设为一个或多个，可为对称设置在炉体本体I底部的两端。优选地，每个固定支座2上的多个顶块3的顶部与一个升降座4连接，如图3 ;升降座4的长度与固定支座2的长度一致，以使顶块3的推动力均匀分布在炉体本体底部11上。优选地，为了防止升降座4在做升降运动过程中倾斜而破环整个炉体本体I的平衡，升降座4设有开口向下的第一凹槽41，固定支座2上设有与该第一凹槽41相匹配的突起21，顶块3位于突起21上，如图2。其中，升降座4的第一凹槽41与顶块3的连接处设有与该顶块3相匹配的第二凹槽42，顶块3抵住该第二凹槽42，如图5。进一步地，为了保证升降座4沿竖直方向做升降运动，而不会产生水平方向的位移，如图2和图4，本实施例的升降机构还包括定位销5，固定支座3上开有与定位销5相匹配的第一竖直定位孔，升降座4上与该第一竖直定位孔相对的位置开有与定位销相匹配的第二竖直定位孔，定位销5的两端分别安装在第一竖直定位孔和第二竖直定位孔内。定位销5可设置为一根或多根。优选地，升降驱动装置采用与固定支座2 —体成形的液压驱动系统，该液压驱动系统设于固定支座2的内部，将固定支座2的局部作为液压驱动系统的油缸使用，其合理利用了空间，节省资源。该液压驱动系统与顶块3连接，直接驱动顶块3做升降运动。其中，液压驱动系统的进出油口 6设置在固定支座2的侧面。
优选地，升降驱动装置包括液压驱动系统和运动转换单元，运动转换单元设置在固定支座2的内部并与顶块3连接；液压驱动系统设置在固定支座2的外部，并通过与运动转换单元连接来间接驱动顶块3做升降运动。优选地，升降驱动单元包括电机驱动单元和运动转换单元，运动转换单元设置在固定支座2的内部并与顶块3连接；电机驱动单元设置在固定支座2的外部，并通过与运动转换单元连接来间接驱动顶块3做升降运动。上述运动转换单元将电机驱动单元或液压驱动系统的动力转换成驱动顶块3做升降运动的动力，其可以为适用于该动力转换的运动转换装置。采用上述技术方案所提供的立式炉体实现了炉体本体的高度可调，在炉体本体I内的温区分布不变的情况下，采用升降驱动单元控制驱动顶块3做升降运动，顶块3推动升降座4带动炉体本体I做升降运动，在固定支座2和定位销6的限制下，升降座4只能沿竖直方向运动，确保了高度调节运动的稳固和平衡，实现设备更换炉体后容易获得温区的一致性，并能够保证恒温区处于理想位置，使得尽可能多的产品处于恒温区A内，该炉体适应不同产品、不同工艺要求的热处理炉，节约成本和资源。以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本发明的保护范围。
权利要求
1.一种立式炉体，其特征在于，包括炉体本体，所述炉体本体的外部设有升降机构，所述升降机构用于调节所述炉体本体的高度。
2.如权利要求I所述的立式炉体，其特征在于，所述升降机构设于所述炉体本体的底部。
3.如权利要求2所述的立式炉体，其特征在于，所述升降机构包括固定支座、顶块和升降驱动单元；所述固定支座上设有一个或多个竖直导向槽，每个所述竖直导向槽内分别设有顶块，所述顶块与升降驱动单元连接，所述顶块的顶部抵住所述炉体本体的底部，所述升降驱动单元驱动所述顶块在所述竖直导向槽内做升降运动并带动炉体本体做升降运动进而调节炉体本体的高度。
4.如权利要求3所述的立式炉体，其特征在于，所述顶块的顶部还设有升降座，所述升降座的上部与所述炉体本体底部连接，所述升降座的下部与所述固定支座相扣合。
5.如权利要求4所述的立式炉体，其特征在于，所述升降座设有开口向下的第一凹槽，所述固定支座上设有与所述第一凹槽相匹配的突起，所述顶块位于所述突起上。
6.如权利要求3所述的立式炉体，其特征在于，所述升降驱动单元采用液压驱动系统，所述液压驱动系统与所述固定支座一体成形，所述液压驱动系统直接驱动顶块做升降运动。
7.如权利要求3所述的立式炉体，其特征在于，所述升降驱动单元包括液压驱动系统和运动转换单元，所述运动转换单元设置在所述固定支座的内部并与所述顶块连接；所述液压驱动系统设置在所述固定支座的外部，并通过与所述运动转换单元连接来间接驱动顶块做升降运动。
8.如权利要求3所述的立式炉体，其特征在于，所述升降驱动单元包括电机驱动单元和运动转换单元，所述运动转换单元设置在所述固定支座的内部并与所述顶块连接；所述电机驱动单元设置在所述固定支座的外部，并通过与所述运动转换单元连接来间接驱动顶块做升降运动。
9.如权利要求4所述的立式炉体，其特征在于，所述升降机构还包括定位销，所述固定支座上开有与所述定位销相匹配的第一竖直定位孔，所述升降座上与所述第一竖直定位孔相对的位置开有与所述定位销相匹配的第二竖直定位孔，所述定位销的两端分别安装在所述第一竖直定位孔和第二竖直定位孔内。
10.如权利要求3所述的立式炉体，其特征在于，所述固定支座设为一个或多个。
全文摘要
本发明涉及一种炉体，公开了一种立式炉体，该立式炉体包括炉体本体，所述炉体本体的底部设有升降机构，所述升降机构包括固定支座、顶块和升降驱动单元；所述固定支座上设有一个或多个竖直导向槽，每个所述竖直导向槽内分别设有顶块，所述顶块与升降驱动单元连接，所述升降驱动单元驱动所述顶块在所述竖直导向槽内做升降运动并带动炉体本体做升降运动进而调节炉体本体的高度。本发明采用升降机构实现炉体本体的高度可调，使得在炉体本体内的温区分布不变的情况下，通过调节炉体本体的高度，以保证恒温区处于理想位置，实现设备更换炉体后温区具有一致性，并能使得尽可能多的产品处于恒温区内，该炉体适应不同产品、不同工艺要求的热处理炉。
文档编号F27B1/10GK102889779SQ201210365870
公开日2013年1月23日 申请日期2012年9月27日 优先权日2012年9月27日
发明者赵燕平, 孙少东 申请人:北京七星华创电子股份有限公司