专利名称：一种氮气甩干机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及硅片甩干机设备领域，具体来说是一种氮气甩干机。
背景技术：
目前，市场上硅片甩干机多数使用的是空压气进行甩干，硅片在机器内甩干时分两步，第一步为低速喷水清洗，第二部为高速喷出空压气进行甩干。然而空压气内水分过多，且机器运转时有喷水的环节，造成加温速度过慢，硅片甩干周期过长，效率低，气体消耗量大等一系列问题。再者，在进行甩干的时候，一方面有低速喷水清洗的过程，另一方面空压气内含有水分，两者的水分都容易残留在硅片表面形成水印片，这种水印片需要二次返工，增大生产 的成本，达不到实用的效果。因此，特别需要一种氮气甩干机，以解决现有技术中存在的问题。
实用新型内容本实用新型的目的是为了解决现有技术中空压气内水分过多所导致加温速度慢，硅片甩干周期过长，效率低下，气体消耗量大，以及会形成水印片的问题，提供一种氮气甩干机来解决上述问题。为了实现上述目的，本实用新型的技术方案如下—种氮气甩干机，包括腔体、设置在腔体内的旋转体和硅片花篮承载器，所述硅片花篮承载器设置在旋转体内部的底部，所述腔体上设置有盖板，其特在在于，还包括氮气喷头，所述氮气喷头包含喷洒端和氮气输入端，所述氮气喷头的喷洒端通过盖板上的开口设置在腔体内。在本实用新型中，还包括氮气加热桶，所述氮气加热桶上设置有用于输入氮气的进气口和输出氮气的出气口，所述氮气的出气口通过管道连通氮气喷头的氮气输入端。在本实用新型中，所述氮气喷头与氮气加热桶相连通的管道上设置有用于过滤气体的过滤阀。在本实用新型中，所述盖板设置在腔体的上部。在本实用新型中，所述腔体底部的四个角分别设置有支撑柱。本实用新型的一种氮气甩干机，与现有技术相比，通过油加热桶首先对氮气进行加热，再通过氮气喷头均匀喷洒在工作腔内，使硅片在甩干的时候，达到加温速度快，缩短硅片的旋转周期，减少气体消耗量的效果，同时还避免了原有空压气内水分残留在硅片表面会形成水印片的问题，结构简单，十分实用，实现本实用新型的目的。
图I为本实用新型的结构示意图。图2为本实用新型旋转体位置结构示意图。
具体实施方式
为使对本实用新型的结构特征及所达成的功效有更进一步的了解与认识，用以较佳的实施例及附图配合详细的说明，说明如下参见图I，一种氮气甩干机，包括腔体100、设置在腔体100内起甩干作用的旋转体200和起支撑作用的硅片花篮承载器300，硅片花篮承载器300设置在旋转体200内部的底部，腔体100上设置有盖板400，氮气甩干机，还包括氮气喷头500，氮气喷头500包含喷洒端和氮气输入端，氮气喷头500的喷洒端通过盖板400上的开口设置在腔体100内。氮气甩干机，还包括氮气加热桶700，氮气加热桶700上设置有用于输入氮气的进气口和输出氮气的出气口，氮气的出气口通过管道600连通氮气喷头的氮气输入端。在本实用新型中，所述氮气喷头与氮气加热桶相连通的管道上设置有用于500过滤气体的过滤阀900。 盖板400设置在腔体100的上部，方便了工作时候的使用。腔体100底部的四个角分别设置有支撑柱800，工作时候达到牢固支撑的效果。在使用的时候，将硅片放入硅片花篮承载器300上，氮气输入到氮气加热桶700中，氮气加热桶700上的油加热器通过导热油对氮气进行加热，氮气再通过管道600输送到氮气喷头500处，氮气喷头500进行均匀喷洒氮气，过滤阀900对管道600起到了保护的作用，旋转体200通电开始旋转，带动硅片花篮承载器300上的硅片旋转，从而达到硅片甩干的目的。本实用新型的一种氮气甩干机，与现有技术相比，通过油加热桶700首先对氮气进行加热，再通过氮气喷头500均匀喷洒在工作腔内，使硅片在甩干的时候，达到加温速度快，缩短硅片的旋转周期，减少气体消耗量的效果，同时还避免了原有空压气内水分残留在硅片表面会形成水印片的问题，结构简单，十分实用，实现本实用新型的目的。以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型的范围内。本实用新型要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。
权利要求1.一种氮气甩干机，包括腔体、设置在腔体内的旋转体和硅片花篮承载器，所述硅片花篮承载器设置在旋转体内部的底部，所述腔体上设置有盖板，其特在在于，还包括氮气喷头，所述氮气喷头包含喷洒端和氮气输入端，所述氮气喷头的喷洒端通过盖板上的开口设置在腔体内。
2.根据权利要求I所述的一种氮气甩干机，其特征在于，还包括氮气加热桶，所述氮气加热桶上设置有用于输入氮气的进气口和输出氮气的出气口，所述氮气的出气口通过管道连通氮气喷头的氮气输入端。
3.根据权利要求2所述的一种氮气甩干机，其特征在于所述氮气喷头与氮气加热桶相连通的管道上设置有用于过滤气体的过滤阀。
4.根据权利要求I所述的一种氮气甩干机，其特征在于所述盖板设置在腔体的上部。
5.根据权利要求I所述的一种氮气甩干机，其特征在于所述腔体底部的四个角分别设置有支撑柱。
专利摘要一种氮气甩干机，包括腔体、设置在腔体内的旋转体和硅片花篮承载器，硅片花篮承载器设置在旋转体内部的底部，腔体上设置有盖板，氮气甩干机，还包括氮气喷头，氮气喷头包含喷洒端和氮气输入端，氮气喷头的喷洒端通过盖板上的开口设置在腔体内。本实用新型通过油加热桶首先对氮气进行加热，再通过氮气喷头均匀喷洒在工作腔内，使硅片在甩干的时候，达到加温速度快，缩短硅片的旋转周期，减少气体消耗量的效果，同时还避免了原有空压气内水分残留在硅片表面会形成水印片的问题，结构简单，十分实用。
文档编号F26B5/08GK202549809SQ20122013430
公开日2012年11月21日 申请日期2012年3月31日 优先权日2012年3月31日
发明者唐旭辉, 王葱葱 申请人:江苏聚能硅业有限公司