一种扩散炉炉门装置的制作方法

本发明涉及扩散炉，尤其涉及一种扩散炉炉门装置。

背景技术：

扩散炉主要用于硅片太阳能器件制造中的扩散、氧化工艺，炉体是扩散、氧化工艺的反应腔室，炉门的结构形式非常关键。在工艺运行时，为了避免炉门与石英管的碰撞造成石英管损坏，炉门开启和关闭动作均为二步，快进-慢进和慢退-快退，即在接近石英管和远离石英管时需要缓慢动作。

扩散炉的炉门装置主要有旋转式炉门和直线式炉门两种。旋转式炉门被普遍采用，但其需要占用垂直方向空间，目前根据客户需求，一台设备普遍安装4管甚至5管炉体，导致整台设备高度较高，不便于设备的运输、安装调试和日常维护。直线式炉门可以有效降低设备的每管层高（整个设备的高度相比安装了旋转式炉门的设备低300mm~400mm），对于设备的运输及安装调试都有利。

已知的一种直线式炉门结构如附图1至图4所示，其中标号1为炉门执行机构，炉门执行机构1通过横向和纵向两组气缸推动导轨上的滑块运动；标号2为炉门支撑杆，炉门支撑杆2一端与执行机构1的滑块连接，另一端则与炉门调节块3相连，炉门调节块3与炉门固定座5用固定连接，炉门7安装于炉门固定座5上，内石英门8与炉门7连接为一体；标号4为调节环，调节坏4与炉门之间7安装了6压缩弹簧，由调节坏4调节炉门7的密封。现有的直线式炉门的不足之处在于：炉门7的受力点未在炉门7中心，炉门7远端（远离调节块3的一端）会翘起，导致炉门7调节困难或密封不严；调节环4由六个螺栓调节，六个螺栓调节均分布在炉门7中心附近，压缩炉门7时力臂短，调节能力有限；关闭时内石英门8与石英管9为刚性接触，容易损坏石英管；炉门支撑杆2类似于悬臂梁结构，在压紧炉门7时会产生弯曲变形。

技术实现要素：

本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单、调节方便、密封性好的扩散炉炉门装置。

为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

一种扩散炉炉门装置，包括炉门执行结构、炉门支撑组件、炉门及与炉门连接的内石英门，还包括调节组件，所述调节组件包括调节柱及多个沿调节柱径向布置的延伸臂，所述调节柱安装于所述炉门的中心，相邻两延伸臂之间的夹角相等，延伸臂一端与所述调节柱固定连接，另一端安装有调节件，所述调节件与所述炉门相抵，所述炉门支撑组件一端与炉门执行结构连接，另一端与所述调节柱连接。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述调节柱为工字型柱，多个延伸臂远离所述调节件的一端与一安装环一体连接，所述安装环套设于所述调节柱的中部，所述调节柱通过一组第一紧固件与所述炉门固定连接，所述调节柱通过一组第二紧固件与所述安装环固定连接，所述第一紧固件和第二紧固件均沿所述调节柱轴向布置。

所述调节件为螺杆，所述延伸臂上焊接有与所述调节件配合的螺母。

所述炉门与所述内石英门之间通过多组弹性缓冲组件连接，多组弹性缓冲组件沿圆周方向均匀布置。

所述弹性缓冲组件包括导向轴、柔性轴套、缓冲弹簧及盖帽，所述柔性轴套嵌设于所述炉门中，所述盖帽与所述炉门通过紧固件固定连接，所述导向轴穿过所述柔性轴套，导向轴一端通过第三紧固件与所述内石英门固定连接，另一端与所述盖帽之间设置所述缓冲弹簧。

所述弹性缓冲组件还包括一对T型缓冲套，所述内石英门上设有通孔，一对T型缓冲套分设于所述内石英门两侧且小径段伸入所述通孔内，所述第三紧固件穿过一对所述T型缓冲套与所述导向轴连接。

所述炉门与扩散炉石英管之间设有第一密封圈，所述盖帽与所述炉门之间设有第二密封圈。

所述炉门支撑组件包括支撑板、连接杆及一对U型耳板，所述调节柱下侧臂上设有与所述支撑板平行的切面部，一对U型耳板沿所述调节柱轴向布置且开口朝向所述调节柱，所述支撑板一端与切面部通过紧固件固定连接，另一端夹设于所述一对U型耳板中，所述连接杆与所述调节柱平行布置且一端穿过一对U型耳板中，另一端所述炉门执行结构连接。

所述支撑板与所述切面部的连接处设有腰型孔。

所述U型耳板下侧的长度比上侧长。

与现有技术相比，本发明的优点在于：本发明公开的扩散炉炉门装置，采用调节柱并将调节柱设于炉门的中心，炉门执行机构动作时炉门受力更均匀，避免炉门翘起，提高了炉门的密封性能；设置延伸臂，延伸臂一端与调节柱固定连接，另一端安装调节件，扩大了调节范围，增加了压缩炉门时的力臂，调节更加方便、可靠。

附图说明

图1是现有的直线式扩散炉炉门装置的立体结构示意图。

图2是现有的直线式扩散炉炉门装置的俯视结构示意图。

图3是现有的直线式扩散炉炉门装置中的调节环的结构示意图。

图4是图3中A-A视图。

图5是本发明扩散炉炉门装置的立体结构示意图。

图6是本发明扩散炉炉门装置的前视结构示意图。

图7是本发明扩散炉炉门装置的俯视结构示意图。

图8是图6中的B-B视图。

图中各标号表示：1、炉门执行结构；2、炉门支撑组件；21、支撑板；22、连接杆；23、U型耳板；24、腰型孔；3、炉门调节块；4、调节环；5、炉门固定座；6、压缩弹簧；7、炉门；8、内石英门；81、通孔；9、石英管；100、调节组件；101、调节柱；102、延伸臂；103、调节件；104、安装环；105、第一紧固件；106、第二紧固件；107、切面部；200、弹性缓冲组件；201、导向轴；202、柔性轴套；203、缓冲弹簧；204、盖帽；205、第三紧固件；206、T型缓冲套；301、第一密封圈；302、第二密封圈。

具体实施方式

以下将结合说明书附图和具体实施例对本发明做进一步详细说明。

如图5至图8所示，本实施例的扩散炉炉门装置，包括炉门执行结构1、炉门支撑组件2、炉门7及与炉门7连接的内石英门8，还包括调节组件100，调节组件100包括调节柱101及多个沿调节柱101径向布置的延伸臂102，调节柱101安装于炉门7的中心，相邻两延伸臂102之间的夹角相等，延伸臂102一端与调节柱101固定连接，另一端安装有调节件103，调节件103与炉门7相抵，炉门支撑组件2一端与炉门执行结构1连接，另一端与调节柱101连接。该扩散炉炉门装置采用调节柱101并将调节柱101设于炉门7的中心，炉门执行机构1动作时炉门7受力更均匀，避免炉门7翘起，提高了炉门7的密封性能；设置延伸臂102，延伸臂102一端与调节柱101固定连接，另一端安装调节件103，扩大了调节范围，增加了压缩炉门7时的力臂，调节更加方便、可靠。

调节柱101为工字型柱，多个延伸臂102远离调节件103的一端与一安装环104一体连接，安装环104套设于调节柱101的中部，调节柱101通过一组第一紧固件105与炉门7固定连接，调节柱101通过一组第二紧固件106与安装环104固定连接，第一紧固件105和第二紧固件106均沿调节柱101轴向布置。本实施例中，延伸臂102设有三个，三个延伸臂102整体呈Y型布置，因炉门7自重较重，位于调节柱101下方的延伸臂102上增设一个调节件103；第一紧固件105和第二紧固件106均设有三个且均呈等边三角形布置，其中第一紧固件105位于调节柱101中心位置，第二紧固件106位于调节柱101边缘；调节件103为螺杆，延伸臂102上焊接有与调节件103配合的螺母。

本实施例中，炉门7与内石英门8之间通过多组弹性缓冲组件200连接，多组弹性缓冲组件200沿圆周方向均匀布置，避免关闭炉门7时损坏石英管9。

本实施例中，弹性缓冲组件200包括导向轴201、柔性轴套202、缓冲弹簧203及盖帽204，柔性轴套202嵌设于炉门7中，盖帽204与炉门7通过紧固件固定连接，导向轴201穿过柔性轴套202，导向轴201一端通过第三紧固件205与内石英门8固定连接，另一端与盖帽204之间设置缓冲弹簧203。炉门7快进时，内石英门8先与石英管9接触，此时导向轴201受力开始压缩缓冲弹簧203，实现内石英门8与石英管9的软接触；柔性轴套202可为导向轴201的伸缩运动提高导向作用，使导向轴201具有更高的运动精度。

本实施例中，弹性缓冲组件200还包括一对T型缓冲套206，内石英门8上设有通孔81，一对T型缓冲套206分设于内石英门8两侧且小径段伸入通孔81内，第三紧固件205穿过一对T型缓冲套206与导向轴201连接，使得内石英门8与第三紧固件205之间、内石英门8与导向轴201之间均为柔性接触，避免损坏内石英门8。

本实施例中，炉门7与扩散炉石英管9之间设有第一密封圈301，盖帽204与炉门7之间设有第二密封圈302，保证设备具有良好的密封性能。

本实施例中，炉门支撑组件2包括支撑板21、连接杆22及一对U型耳板23，调节柱101下侧臂上设有与支撑板21平行的切面部107，一对U型耳板23沿调节柱101轴向布置且开口朝向调节柱101，支撑板21一端与切面部107通过紧固件固定连接，另一端夹设于一对U型耳板23中，连接杆22与调节柱101平行布置且一端穿过一对U型耳板23中，另一端炉门执行结构1连接，设置一对U型耳板23大大提高了炉门支撑组件2的刚性和强度，满足自重较重的炉门7的需求。

本实施例中，支撑板21与切面部107的连接处设有腰型孔24，便于调节支撑板21的安装位置。

本实施例中，U型耳板23下侧的长度比上侧长，使得支撑板21具有更高的承重能力。

虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围的情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均应落在本发明技术方案保护的范围内。