一种多晶硅片清洗制绒机烘干装置的制作方法

[0001]
本发明涉及半导体材料加工技术领域，具体为一种多晶硅片清洗制绒机烘干装置。


背景技术：

[0002]
目前，硅材料大量用于日常生活之中，硅片的生产量也日趋增大，硅片在经过一系列的加工程序之后需要进行清洗制绒，清洗的目的是消除吸附在硅片表面的各类污染物，制绒是在其表面制作绒面结构减少太阳光发射，清洗洁净程度直接影响成品率。硅片清洗机往往配置大量槽位，不易清洗，污染物又会对传动机构造成腐蚀，槽位水分难以烘干，都是目前清洗机烘干存在的问题。
[0003]
综上所述，现有技术存在的问题是：目前多晶硅片清洗制绒机的烘干方式需要消耗大量的氮气，不仅设备造价昂贵，而且企业生产成本高，难以获取利益，以往干燥方法往往不能彻底干燥，造成水分残留。


技术实现要素：

[0004]
本发明的目的在于提供一种多晶硅片清洗制绒机烘干装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
[0005]
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种多晶硅片清洗制绒机烘干装置，包括箱体，所述箱体上安装有箱门，所述箱体的顶部开设有出风口，所述箱体的内腔设置有隔板，所述隔板将箱体的内腔分隔为两层，且隔板的边沿均固定连接箱体的内腔壁，所述隔板的下方设置有加热装置，且隔板的上方设置有挂载装置，所述隔板的下方还设置金属管，所述金属管的一端贯穿箱体的侧壁延伸到箱体外部，且金属管延伸到箱体外部的一端固定连接有气泵的输出端，所述金属管远离气泵的一端贯穿隔板延伸到隔板上方，且金属管远离气泵的一端套接有软管；
[0006]
所述挂载装置包括底板，所述底板上开设有若干个通孔，且底板的顶部固定连接有若干立管，所述立管呈矩阵状排列，所述立管的上方设置有顶板，且立管的顶部与顶板固定连接，所述顶板的内部中空，且其与立管连通，所述顶板上固定连接有与其内腔连通的接头，所述接头与软管配合，所述立管的管壁上均匀开设有若干出气孔，所述顶板的顶部中心固定连接有挂环且顶板的上方设置有挂钩，所述挂钩固定连接在箱体的内腔顶部中心，且挂钩与挂环配合。
[0007]
优选的，所述加热装置为电热丝或火炉。
[0008]
优选的，所述隔板为金属导热板。
[0009]
优选的，所述出风口内安装有排风扇。
[0010]
优选的，所述箱门位于隔板的上方，且箱门的大小不小于挂载装置的单侧面面积。
[0011]
与现有技术相比，本发明的有益效果是：该多晶硅片清洗制绒机烘干装置单次处理量大，节省成本，增大企业效益；同时可以做到多角度烘干，节省时间，同时装置本身在10
万级无尘车间中使用，保重了控干不存在污染。装置结构简单，方便操作者学习，满足了企业的需求。
附图说明
[0012]
图1为本发明结构示意图；
[0013]
图2为图1的a处放大图。
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图中标号：1箱体、2箱门、3出风口、4隔板、5加热装置、6挂载装置、61底板、62立管、63顶板、64接头、65挂环、66挂钩、7金属管、8气泵、9软管。
具体实施方式
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下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0016]
请参阅图1-2，本发明提供一种技术方案：一种多晶硅片清洗制绒机烘干装置，包括箱体1，所述箱体1上安装有箱门2，所述箱体1的顶部开设有出风口3，所述出风口3内安装有排风扇，所述箱体1的内腔设置有隔板4，所述隔板4为金属导热板，所述隔板4将箱体1的内腔分隔为两层，且隔板4的边沿均固定连接箱体1的内腔壁，所述隔板4的下方设置有加热装置5，所述加热装置5为电热丝或火炉，且隔板4的上方设置有挂载装置6，所述隔板4的下方还设置金属管7，所述金属管7的一端贯穿箱体1的侧壁延伸到箱体1外部，且金属管7延伸到箱体1外部的一端固定连接有气泵8的输出端，所述金属管7远离气泵8的一端贯穿隔板4延伸到隔板4上方，且金属管7远离气泵8的一端套接有软管9；
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所述挂载装置6包括底板61，所述底板61上开设有若干个通孔，且底板61的顶部固定连接有若干立管62，所述立管62呈矩阵状排列，所述立管62的上方设置有顶板63，且立管62的顶部与顶板63固定连接，所述顶板63的内部中空，且其与立管62连通，所述顶板63上固定连接有与其内腔连通的接头64，所述接头64与软管9配合，所述立管62的管壁上均匀开设有若干出气孔，所述顶板63的顶部中心固定连接有挂环65且顶板63的上方设置有挂钩66，所述挂钩66固定连接在箱体1的内腔顶部中心，且挂钩66与挂环65配合。
[0018]
所述箱门2位于隔板4的上方，且箱门2的大小不小于挂载装置6的单侧面面积。
[0019]
该多晶硅片清洗制绒机烘干装置单次处理量大，节省成本，增大企业效益；同时可以做到多角度烘干，节省时间，同时装置本身在10万级无尘车间中使用，保重了控干不存在污染。装置结构简单，方便操作者学习，满足了企业的需求。
[0020]
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。