一种半导体材料结晶炉的制作方法

1.本实用新型涉及结晶炉技术领域，具体为一种半导体材料结晶炉。


背景技术：

2.多晶硅具有半导体性质，是极为重要的优良半导体材料，广泛应用于电子、太阳能光伏行业、航天、航空、信息、交通、通讯等领域，市场需求将越来越大。现有的多晶硅提纯多半采用熔融结晶法，熔融结晶是一种新型的化工分离技术，广泛应用于化工中间体、医药中间体、生化制品的精制提纯。但现有的结晶炉提纯时间长，效率低下，不能满足生产需要。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种半导体材料结晶炉，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体材料结晶炉，包括箱体，所述箱体的内腔固定连接有挡板，所述挡板将箱体分为加热腔与冷却腔，所述加热腔的侧壁固定连接有进料台，所述挡板的上壁固定连接有分隔层，所述分隔层的侧壁固定连接有加热筒，所述加热腔的内侧壁固定连接有支板，所述支板贯穿分隔层与加热筒，所述加热腔的侧壁固定连接有移料机构，所述加热筒与外部电源电连接，所述箱体的下壁固定连接有支脚，所述支脚的侧壁固定连接有卸料机构。
5.优选的，所述移料机构包括手轮、丝杠、轴承套与推板，所述加热腔的侧壁固定连接有轴承套，所述轴承套的一端固定连接有手轮，所述轴承套的另一端固定连接有丝杠，所述丝杠的外侧壁套接有推板，所述推板与支板滑动连接。
6.优选的，所述冷却腔的侧壁开设有通风口，所述冷却腔的侧壁固定连接有换气扇，所述换气扇与外部电源电连接。
7.优选的，所述卸料机构包括固定轴、转筒、液压机与坩埚，所述支脚的侧壁固定连接有固定轴，所述固定轴的外侧壁套接有转筒，所述转筒的侧壁固定连接有液压机，所述液压机的输出端固定连接有坩埚，所述液压机与外部电源电连接。
8.优选的，所述加热腔与冷却腔的下壁开设有通孔。
9.优选的，所述液压机的侧壁固定连接有支柱。
10.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本装置的加热腔内设置了分隔层，分隔层的侧壁连接有加热筒，加热筒会在给坩埚加热的同时，一部分热量会传递到分隔层的另一面，为刚投入的物料进行初步加热，经过初步加热的物料会通过移料机构推入坩埚内，然后进行提纯，通过预热使对物料的提纯更加充分，从而增加了其结晶炉的提纯效率，提纯完毕后，通过液压机带动坩埚进入冷却腔进行冷却，避免在卸料时烫伤工作人员。
附图说明
11.图1为本实用新型结构示意图。
12.图2为图1中a处结构示意图。
13.图3为本实用新型卸料机构结构示意图。
14.图中：1箱体、2挡板、3加热腔、4冷却腔、5移料机构、51手轮、52丝杠、53轴承套、54推板、6卸料机构、61固定轴、62转筒、63液压机、64坩埚、7加热筒、8支板、9进料台、10支脚、11分隔层、12通风口、13换气扇、 14通孔、15支柱。
具体实施方式
15.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
16.请参阅图1
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3，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体材料结晶炉，包括箱体1，箱体1的内腔固定连接有挡板2，挡板2将箱体1分为加热腔3与冷却腔4，加热腔3的侧壁固定连接有进料台9，挡板2的上壁固定连接有分隔层 11，分隔层11的侧壁固定连接有加热筒7，加热腔3的内侧壁固定连接有支板 8，支板8贯穿分隔层11与加热筒7，加热腔3的侧壁固定连接有移料机构5，加热筒7与外部电源电连接，箱体1的下壁固定连接有支脚10，支脚10的侧壁固定连接有卸料机构6，挡板2为隔热材质，分隔层11的侧壁连接有加热筒7，加热筒7会在给坩埚64加热的同时，一部分热量会传递到分隔层11的另一面，为刚投入的物料进行初步加热，大大增加了结晶炉的效率。
17.具体而言，移料机构5包括手轮51、丝杠52、轴承套53与推板54，加热腔3的侧壁固定连接有轴承套53，轴承套53的一端固定连接有手轮51，轴承套53的另一端固定连接有丝杠52，丝杠52的外侧壁套接有推板54，推板54 与支板8滑动连接，顺时针转动手轮51，丝杠52进行旋转，套接在丝杠52外侧壁的推板54会向前移动，推动预加热的物料进入坩埚64内，进行进一步提纯，逆时针转动手轮51，推板54回归原位。
18.具体而言，冷却腔4的侧壁开设有通风口12，冷却腔4的侧壁固定连接有换气扇13，换气扇13与外部电源电连接，换气扇13与通风口12为坩埚64进行降温，防止在卸料时烫伤工作人员。
19.具体而言，卸料机构6包括固定轴61、转筒62、液压机63与坩埚64，支脚10的侧壁固定连接有固定轴61，固定轴61的外侧壁套接有转筒62，转筒62 的侧壁固定连接有液压机63，液压机63的输出端固定连接有坩埚64，液压机 63与外部电源电连接，通过液压机63可使其坩埚64在加热腔3与冷却腔4内移动，设置固定轴61与转筒62，使其卸料更加方便。
20.具体而言，加热腔3与冷却腔4的下壁开设有通孔14，通孔14的尺寸与坩埚64的外尺寸相同，方便坩埚64的上下移动。
21.具体而言，液压机63的侧壁固定连接有支柱15，使其液压机63通过转筒 62旋转卸料时，支柱15可支地为液压机63提供支撑力，避免工作人员直接接触坩埚64，防止烫伤。
22.工作原理：将物料通过进料台9放入加热腔3内，并转动手轮51使其带动丝杠52旋转，推板54向前移动，使物料进入坩埚64中，加热筒7通电加热，使其坩埚64内物料提纯，与此同时继续将物料通过进料台9放入加热腔3内，使其物料进行预加热，坩埚64内的物料提纯结束后，通过液压机63带动坩埚 64进入冷却腔4，进行冷却，稳定其物料内部结构和防止
在卸料时烫伤工作人员，冷却完毕后，转动转筒62，使其支柱15支在地面上，方便卸料，卸料完毕后转筒62复位，液压机63将坩埚64顶入加热腔3重复上述操作。
23.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
24.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。


技术特征：
1.一种半导体材料结晶炉，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的内腔固定连接有挡板(2)，所述挡板(2)将箱体(1)分为加热腔(3)与冷却腔(4)，所述加热腔(3)的侧壁固定连接有进料台(9)，所述挡板(2)的上壁固定连接有分隔层(11)，所述分隔层(11)的侧壁固定连接有加热筒(7)，所述加热腔(3)的内侧壁固定连接有支板(8)，所述支板(8)贯穿分隔层(11)与加热筒(7)，所述加热腔(3)的侧壁固定连接有移料机构(5)，所述加热筒(7)与外部电源电连接，所述箱体(1)的下壁固定连接有支脚(10)，所述支脚(10)的侧壁固定连接有卸料机构(6)。2.根据权利要求1所述的一种半导体材料结晶炉，其特征在于：所述移料机构(5)包括手轮(51)、丝杠(52)、轴承套(53)与推板(54)，所述加热腔(3)的侧壁固定连接有轴承套(53)，所述轴承套(53)的一端固定连接有手轮(51)，所述轴承套(53)的另一端固定连接有丝杠(52)，所述丝杠(52)的外侧壁套接有推板(54)，所述推板(54)与支板(8)滑动连接。3.根据权利要求1所述的一种半导体材料结晶炉，其特征在于：所述冷却腔(4)的侧壁开设有通风口(12)，所述冷却腔(4)的侧壁固定连接有换气扇(13)，所述换气扇(13)与外部电源电连接。4.根据权利要求1所述的一种半导体材料结晶炉，其特征在于：所述卸料机构(6)包括固定轴(61)、转筒(62)、液压机(63)与坩埚(64)，所述支脚(10)的侧壁固定连接有固定轴(61)，所述固定轴(61)的外侧壁套接有转筒(62)，所述转筒(62)的侧壁固定连接有液压机(63)，所述液压机(63)的输出端固定连接有坩埚(64)，所述液压机(63)与外部电源电连接。5.根据权利要求1所述的一种半导体材料结晶炉，其特征在于：所述加热腔(3)与冷却腔(4)的下壁开设有通孔(14)。6.根据权利要求4所述的一种半导体材料结晶炉，其特征在于：所述液压机(63)的侧壁固定连接有支柱(15)。

技术总结
本实用新型公开了一种半导体材料结晶炉，包括箱体，箱体的内腔固定连接有挡板，挡板将箱体分为加热腔与冷却腔，加热腔的侧壁固定连接有进料台，挡板的上壁固定连接有分隔层，分隔层的侧壁固定连接有加热筒，加热腔的内侧壁固定连接有支板，支板贯穿分隔层与加热筒，加热腔的侧壁固定连接有移料机构，加热筒与外部电源电连接，箱体的下壁固定连接有支脚，所述支脚的侧壁固定连接有卸料机构，本装置通过设置分隔层实现物料预加热，经过初步加热的物料会通过移料机构推入坩埚内，然后进行提纯，通过预热使对物料的提纯更加充分，从而增加了其结晶炉的提纯效率，设置卸料机构使其防止人员烫伤。烫伤。烫伤。


技术研发人员：ꢀ(74)专利代理机构
受保护的技术使用者：常州岚玥新材料科技有限公司
技术研发日：2020.09.21
技术公布日：2021/9/6