烘干设备和晶圆烘干方法与流程

本申请属于晶圆干燥技术领域，具体而言，涉及烘干设备和晶圆烘干方法。

背景技术：

在相关技术中的半导体清洗工艺中，晶圆干燥作为湿法清洗工艺最后的收尾动作，是非常重要的一个步骤，需要确保有效的移除晶圆表面的残余水分，并且，必须能控制设备内部的颗粒数量，保证设备及晶圆的洁净度。

现有的半导体晶圆湿法设备，主要采用异丙醇蒸汽加氮气的烘干方式，这种烘干方式，主要存在的问题有：1.烘干组件内部管路复杂，内部空间较小，不便于设备的安装及维护；2.异丙醇具有毒性，一旦在使用中出现泄漏，对操作人员的伤害较大；3.异丙醇形成的液体为易燃液体，使用中具有一定危险性；4.异丙醇使用后气体排放，需经过处理，处理成本较高。

技术实现要素：

根据本发明的实施例旨在解决或改善上述技术问题。

根据本发明的实施例的第一目的在于提供一种烘干设备。

根据本发明的实施例的第二目的在于提供一种晶圆烘干方法。

为实现根据本发明的实施例的第一目的，本发明的技术方案提供了一种烘干设备，用于对工件进行烘干，烘干设备包括：烘干区，设有抽风腔和能够打开或封闭的烘干腔，烘干腔用于放置工件，抽风腔与烘干腔相互连通；气路安装区，与烘干腔通过管路连接，气路安装区用于为烘干腔输入加热氮气；主抽风管道，与烘干区连接，主抽风管道用于排出废气；框架，用于设置烘干区、气路安装区与主抽风管道。

在该技术方案中，通过将烘干区、气路安装区和主抽风管道分别设置在框架内，实现了结构优化，提升了安装空间，更方便对工件进行烘干操作。框架主要可以为整机提供结构性支撑，并使得多个部件在框架内有序排布，布局划分更合理，以提高操作便利性。另外，框架还可以隔离烘干设备的内部与外部厂务空气，可以防止外部厂务空气对内部工件的污染。

另外，根据本发明的实施例提供的技术方案还可以具有如下附加技术特征：

上述技术方案中，烘干区包括：托槽，设有抽风口和导风板，抽风口与主抽风管道连接，导风板设于抽风口的上方；烘干槽，悬挂于托槽内；内抽风管路，一端与主抽风管道连接，另一端与抽风腔连接；其中，烘干腔与抽风腔分别设于烘干槽内。

在该技术方案中，烘干槽悬挂于托槽内，对进入托槽内空气可方便地通过抽风口排出到主抽风管道内，能够减少或避免外部空气对工件造成污染，保证了烘干区对工件进行烘干的效果。导风板设置在抽风口的上方，能够加快废气或空气通过抽风口进入主抽风管道内。

上述任一技术方案中，烘干槽包括：烘干槽体；槽盖，用于打开或封闭烘干槽体，且槽盖在封闭烘干槽体后与烘干槽体围合出烘干腔；喷淋管路，与气路安装区连接，用于向烘干腔内喷淋加热氮气；其中，抽风腔设于烘干槽体内，喷淋管路设于围合出烘干腔的槽盖和/或烘干槽体上。

即烘干槽体在槽盖封闭后形成烘干腔，喷淋管路设置在槽盖内侧，和/或槽体内侧。

在该技术方案中，槽盖扣合在烘干槽体上可与烘干槽体围合出烘干腔。打开槽盖，可向烘干腔取放工件。喷淋管路可设置一道、两道或多道。通过第二喷淋管与第一喷淋管的结合使用，可以形成由从上至下的气流、水平方向的气流和倾斜向下的气流形成的多向气流场，能够覆盖多个工件和载具的尺寸范围。

上述任一技术方案中，喷淋管路包括：第一喷淋管，设于烘干槽体内的相对两侧，第一喷淋管上设有多个喷孔；第二喷淋管，设于槽盖朝向烘干腔的一面，第二喷淋管设有多个喷孔。

在该技术方案中，第一喷淋管可从烘干腔的侧面喷出加热氮气。第二喷淋管可从烘干腔的上方从上到下喷出热氮气。通过第二喷淋管与第一喷淋管的结合使用，可以形成由从上至下的气流、水平方向的气流和倾斜向下的气流形成的多向气流场，能够覆盖多个工件和载具的尺寸范围。

上述任一技术方案中，烘干设备还包括：摇摆机构，设于框架上；其中，烘干腔内设有网板组件，网板组件用于支撑工件，网板组件转动连接于烘干槽的底部，摇摆机构伸入烘干槽内驱动网板组件摆动。

在该技术方案中，网板组件转动连接于烘干槽体的底部。通过摇摆机构可以驱动网板组件的一端升高，另一端降低，或一端降低，另一端升高，从而实现网板组件在前后方向前后摆动。

上述任一技术方案中，摇摆机构包括：动力组件，包括第一驱动部和第二驱动部；传动组件，传动组件与动力组件连接；传动组件与网板组件连接，第一驱动部用于带动传动杆沿第一方向运动；第二驱动部用于带动传动杆沿第二方向运动，以实现网板组件的摆动。

在该技术方案中，通过该摇摆结构，能够调节传动杆的运动范围，进而可以对网板组件的摆动角度进行调节。通用性高，可以按实际生产需要，调节网板组件摆动倾斜角度的变化，以满足不同场合的需求。

上述任一技术方案中，传动组件包括：第一滑动组件，第一滑动组件用于与框架连接；滑动板，滑动板与传动杆相连，且滑动板与第一滑动组件相适配，滑动板与第一滑动组件滑动连接。

在该技术方案中，第一滑动组件包括连接板和两个滑动导轨。连接板的截面与两个滑动导轨的截面组成c型结构，滑动板处于c型结构中，且滑动板能够沿c型结构的长度方向进行滑动。通过将滑动板在c型结构中滑动，c型结构可以起到导向的作用，使滑动板的运动过程更加平稳顺畅，进而能够提高传动组件在运动过程中的平稳性。

上述任一技术方案中，摇摆机构还包括：磁性开关，与第一驱动部和第二驱动部分别通讯连接，磁性开关用于检测第一驱动部的伸出位置和第二驱动部的伸出位置并控制第一驱动部和第二驱动部的动作；原点位检测组件，与磁性开关通讯连接，原点位检测组件设于动力组件上，原点位检测组件用于检测网板组件的原点位状态。

在该技术方案中，原点位检测组件用于检测气缸不运动时的状态，气缸不运动时网板组件处于水平状态，即为原点位状态。通过设置位置检测组件，摇摆机构能够实现自动化摆动。

上述任一技术方案中，网板组件包括：网板；转轴，设于网板上，且转轴转动连接于烘干槽的底部；其中，网板用于放置载具，载具排列有多个工件。

在该技术方案中，网板用于支撑载具，当网板前后摆动，可以抖动载具内的工件，提高工件的烘干效果。通过网板的往复前后摆动，能够加快气流在烘干腔内的流动，从而可提高对工件的烘干速度和烘干效果。

上述任一技术方案中，烘干设备还包括：净化区，设于框架的顶部，用于过滤进入框架内的空气；和/或电路安装区，设于框架内；和/或显示区，设于框架内；和/或水枪组件，设于框架的底部。

在该技术方案中，净化区设于框架的顶部，用于净化进入框架内的空气，以能够为烘干设备提供洁净空气。可以进一步起到清洁设备内部环境的作用。净化区可设置风机过滤机组过滤空气。电路安装区主要用于放置电路元件，对烘干设备进行机电控制。显示区设置在框架在前后方向的前端，用于安装部分参数显示器，还可用于安装照明灯。水枪组件，用于对烘干设备的前部进行喷淋冲洗。

为实现根据本发明的实施例的第二目的，本发明的技术方案提供了一种晶圆烘干方法，采用任一技术方案中的烘干设备，晶圆烘干方法包括：封闭烘干腔；控制多路加热氮气充入烘干腔；控制烘干腔内部的加热气体通过抽风腔进入主抽风管道；控制烘干腔外部的空气进入主抽风管道。

在该技术方案中，通过封闭烘干腔，使得多个晶圆置于密闭的空间内，能够避免外部环境对晶圆造成污染。通过向烘干腔充入加热氮气对晶圆进行烘干，在实现达到烘干指标的同时，没有危险气体存在，能够大大减少现场操作人员以及设备的安全隐患，设备尾气可以直接排放，降低了尾气处理成本。

上述任一技术方案中，晶圆烘干方法还包括：关闭多路加热氮气充入烘干腔的通路；打开烘干腔；关闭抽风腔与主抽风管道的通路；控制烘干腔内部的加热气体进入主抽风管道。

在该技术方案中，当烘干腔对晶圆烘干完毕，打开槽盖，同时关闭内抽风管路上的抽风阀门，由于关闭抽风阀门后，烘干腔的降温速度减慢，因此，可以实现开盖过程中对烘干槽的保温。烘干槽体的内部气体均经抽风口进入主抽风管道，外部气体流通过导风板汇流至主抽风管道内，可避免设备前部气体进入烘干腔内。

上述任一技术方案中，晶圆烘干方法还包括：将多个晶圆相互间隔置于载具上；将载具置于烘干腔内。控制载具摆动。

在该技术方案中，通过控制载具前低后高，或控制载具前高后低，使得载具在前后方向能够前后摆动，从而可以抖动载具上的晶圆，进一步提高了烘干效率和可靠性。载具在前后方向前后摆动的过程中，会使得载具与导风口之间的间隙发生变化，从而可以调节抽风效果，能够加快气流在烘干腔内的流动，从而可提高对晶圆的烘干速度和烘干效果。

根据本发明的实施例的附加方面和优点将在下面的描述部分中变得明显，或通过根据本发明的实施例的实践了解到。

附图说明

根据本发明的实施例的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为根据本发明的一些实施例的烘干设备的立体结构示意图之一；

图2为根据本发明的一些实施例的烘干设备的烘干区的立体结构示意图；

图3为根据本发明的一些实施例的烘干设备的流场示意图之一；

图4为根据本发明的一些实施例的烘干设备的烘干槽的流场示意图；

图5为根据本发明的一些实施例的烘干设备的流场示意图之二；

图6为根据本发明的一些实施例的烘干设备的主视剖视结构示意图之一；

图7为根据本发明的一些实施例的烘干设备的主视剖视结构示意图之二；

图8为根据本发明的一些实施例的烘干设备的立体结构示意图之二；

图9为根据本发明的一些实施例的烘干方法的流程图；

图10为根据本发明的一些实施例的烘干方法的基于图1的流程图之一；

图11为根据本发明的一些实施例的烘干方法的基于图1的流程图之二；

图12为根据本发明的一些实施例的烘干设备的烘干槽的剖视结构示意图；

图13为图12的a-a向剖视结构示意图；

图14为根据本发明的一些实施例的烘干设备的烘干槽的另一个剖视结构示意图；

图15为根据本发明的一些实施例的烘干设备的烘干槽的流场示意图之一；

图16为根据本发明的一些实施例的烘干设备的网板组件的立体结构示意图；

图17为根据本发明的一些实施例的烘干设备的摇摆机构的结构示意图；

图18为根据本发明的一些实施例的烘干设备的摇摆机构的立体结构示意图；

图19为根据本发明的一些实施例的烘干设备的摇摆机构的俯视结构示意图。

其中，图1至图19中的附图标记与部件名称之间的对应关系为：

100：烘干设备；110：烘干区；1102：烘干腔；1104：抽风腔；1106：导风口；1108：调风口；112：托槽；1122：抽风口；1124：导风板；114：烘干槽；1140：烘干槽体；1141：外槽；1142：测温组件；1143：保温件；1144：槽盖；1145：内槽；1146：喷淋管路；11462：第一喷淋管；11464：第二喷淋管；1147：第一盖体；1148：调风板；1149：第二盖体；116：内抽风管路；1162：抽风阀门；118：网板组件；1182：网板；1184：转轴；119：载具；120：气路安装区；130：主抽风管道；140：框架；150：摇摆机构；152：传动组件；1521：传动杆；1522：球头杆；1523：配合部；1524：滑动导轨；1527：滑动板；1528：第一滑动组件；1529：连接板；154：动力组件；1541：第一驱动部；1542：第二驱动部；1543：限位部；1544：阻隔板；1545：第一连接部；1546：第二连接部；1547：转接板；1548：第二滑动组件；1591：底板；1592：连接块；1593：第一部；1594：第二部；1596：盖板；1597：支撑块；172：磁性开关；174：原点位检测组件；1741：检测元件；1742：检测片；160：净化区；170：电路安装区；180：显示区；190：水枪组件；200：工件；x：前后方向；y：第一方向；z：第二方向。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解根据本发明的实施例的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对根据本发明的实施例进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

下面参照图1至图19描述根据本发明的一些实施例的烘干设备100和晶圆烘干方法。

实施例1

如图1和图4所示，本实施例提供了一种烘干设备100，用于对工件200进行烘干，烘干设备100包括：烘干区110、气路安装区120和主抽风管道130，烘干区110设有抽风腔1104和能够打开或封闭的烘干腔1102，烘干腔1102用于放置工件200，抽风腔1104与烘干腔1102相互连通。气路安装区120与烘干腔1102通过管路连接，气路安装区120用于为烘干腔1102输入加热氮气。主抽风管道130与烘干区110连接，主抽风管道130用于排出废气。框架140，用于设置烘干区110、气路安装区120与主抽风管道130。

本实施例中，工件200可以为晶圆。烘干腔1102可以形成封闭的腔室，以对内置的晶圆进行烘干，或者烘干腔1102可以打开，用于在烘干腔1102内取出烘干后的晶圆或将待烘干的晶圆放置于烘干腔1102内。

抽风腔1104与烘干腔1102相互连通，使得流经晶圆的加热气体能够通过烘干腔1102底部的导风口1106进入抽风腔1104排走，如此，不断进入烘干腔1102内的加热气体能够持续对晶圆进行加热烘干，并及时带走烘干腔1102内的水分，最终达到烘干全部晶圆的目的。

气路安装区120内对氮气进行加热，获得加热氮气，加热氮气通过管路输入烘干腔1102对多个晶圆进行烘干。

主抽风管道130与烘干区110连接，可及时排出烘干腔1102通过抽风腔1104排出的加热气体和烘干区110内的空气，可以防止空气对晶圆造成污染。主抽风管道130外围设备管路连接，以处理排出的气体。

通过将烘干区110、气路安装区120和主抽风管道130分别设置在框架140内，实现了结构优化，提升了安装空间，更方便对晶圆进行烘干操作。框架140为立方体柜体结构，框架140内可设置多个独立空间，且每个独立空间都可以单独单开，例如，可设置对开门以打开每个独立空间。因此，框架140主要可以为整机提供结构性支撑，并使得多个部件在框架140内有序排布，布局划分更合理，以提高操作便利性。另外，框架140还可以隔离烘干设备100的内部与外部厂务空气，可以防止外部厂务空气对内部晶圆的污染。

实施例2

如图2和图4所示，本实施例提供了一种烘干设备100。除上述实施例的技术特征之外，本实施例还包括以下技术特征：

烘干区110包括：托槽112、烘干槽114和内抽风管路116，托槽112设有抽风口1122和导风板1124，抽风口1122与主抽风管道130连接，导风板1124设于抽风口1122的上方。烘干槽114悬挂于托槽112内。内抽风管路116的一端与主抽风管道130连接，内抽风管路116的另一端与抽风腔1104连接。其中，烘干腔1102与抽风腔1104分别设于烘干槽114内。

本实施例中，烘干槽114在前后方向x的相对两侧分别设有凸出部，用于连接于托槽112的侧壁上，托槽112的底部设置有支撑座，可以支撑于烘干槽114的凸出部的底部，使得烘干槽114悬挂于托槽112内。如此，对进入托槽112内空气可方便地通过抽风口1122排出到主抽风管道130内，能够减少或避免外部空气对晶圆造成污染，保证了烘干区110对晶圆进行烘干的效果。

导风板1124设置在抽风口1122的上方，能够加快废气或空气通过抽风口1122进入主抽风管道130内。

内抽风管路116可设置两个，分别设于烘干槽114的相对两侧。内抽风管路116上设有抽风阀门1162，打开抽风阀门1162，从烘干腔1102排入抽风腔1104内的加热气体可通过抽风管路116排入主抽风管道130，进一步加快了废气的排除速度，加速了烘干腔1102内加热氮气的循环。

两个内抽风管路116可对称设置在烘干槽114的相对两侧，内抽风管路116内还设有抽风压力传感器，通过抽风阀门1162和抽风压力传感器能够使两侧的抽风压力平衡、均匀。

实施例3

如图2和图4所示，本实施例提供了一种烘干设备100。除上述实施例的技术特征之外，本实施例还包括以下技术特征：

烘干槽114包括：烘干槽体1140、槽盖1144和喷淋管路1146。槽盖1144用于打开或封闭烘干槽体1140，且槽盖1144在封闭烘干槽体1140后与烘干槽体1140围合出烘干腔1102。喷淋管路1146与气路安装区120连接，用于向烘干腔1102内喷淋加热氮气。其中，抽风腔1104设于烘干槽体1140内，喷淋管路1146设于围合出烘干腔1102的槽盖1144和/或烘干槽体1140上。

本实施例中，如图12和图13所示，烘干槽体1140包括：外槽1141、槽盖1144和内槽1145，槽盖1144设于外槽1141上，内槽1145设有烘干腔1102，且内槽1145设于外槽1141内，内槽1145与外槽1141形成抽风腔1104，其中，槽盖1144用于封闭或打开烘干腔1102，第二喷淋管11464设于槽盖1144上。

具体地，外槽1141与内槽1145分别为具有一端敞口的开口槽结构。内槽1145与外槽1141之间形成有夹层，夹层既可以形成对内槽1145进一步保温的效果，且夹层还可以形成抽风腔1104，简化了结构。槽盖1144用于封闭或打开烘干腔1102，既可以实现烘干腔1102的密封，又方便打开烘干腔1102以取放晶圆。

更为具体地，如图14和图15所示，喷淋管路1146包括：第一喷淋管11462和第二喷淋管11464，第一喷淋管11462设于烘干槽体1140的相对两侧，第一喷淋管11462上设有多个喷孔。第二喷淋管11464，设于槽盖1144朝向烘干腔1102的一面，第二喷淋管11464设有多个喷孔。

第二喷淋管11464设置在槽盖1144上，使得在打开槽盖1144后，第二喷淋管11464能够随槽盖1144同步脱离烘干腔1102，不会对在烘干腔1102内取放晶圆造成干扰。另外，由于槽盖1144设置在烘干腔1102的顶部，在将槽盖1144扣合后，第二喷淋管11464可以实现从上到下向烘干腔1102充入多路加热气体。

槽盖1144包括：第一盖体1147和第二盖体1149，第一盖体1147转动连接于外槽1141的一侧。第二盖体1149转动连接于外槽1141的另一侧。其中，第一盖体1147与第二盖体1149相向翻转以封闭烘干腔1102或相背翻转以打开烘干腔1102，第一盖体1147与第二盖体1149上分别设有至少一个第二喷淋管11464。

具体地，第一盖体1147与第二盖体1149可对开，使得第一盖体1147与第二盖体1149可以从中部向两侧分别打开，进一步方便了取放晶圆。其中，第一盖体1147上设有一个第二喷淋管11464，第二盖体1149上设有一个第二喷淋管11464，能够保证从上到下覆盖多个晶圆的尺寸范围而充入加热气体。

烘干腔1102沿长度方向在前端和后端可以分别放置一个载具119，也可以在前后方向x依次放置多个载具119。载具119用于放置相互间隔并依次排列多个晶圆。第二喷淋管11464在烘干腔1102内的长度可根据烘干腔1102内放置载具119的个数来确定，并使得第二喷淋管11464的长度可以覆盖多个载具119的总体长度，以保证烘干效果。

烘干槽体1140还包括：调风板1148，调风板1148设于内槽1145的侧壁上，且调风板1148位于抽风腔1104内。其中，内槽1145的侧壁设有调风口1108，调风口1108位于第二喷淋管11464的出气孔的下方，调风口1108与烘干腔1102和抽风腔1104相互连通，调风板1148用于封闭或打开调风口1108。

本实施例中，调风口1108设置为多个，并开设在内槽1145的侧壁上，且调风口1108连通抽风腔1104与烘干腔1102，调风口1108的高度低于第二喷淋管11464的出气孔的高度，可以使干燥降温之后的部分气流从调风口1108流入抽风腔1104，加速了烘干腔1102内的气流循环。调风板1148位于调风口1108处，可以打开或关闭调风口1108，以控制烘干腔1102内的风力和气压，可以用于辅助抽取沉入烘干腔1102的底部的湿气，以能够平衡烘干腔1102内的温度和湿气的排出。调风板1148位于侧面的抽风腔1104内，方便安装和拆卸调风板1148。

如图14所示，烘干槽114还包括：测温组件1142，设于烘干槽体1140上并伸入烘干腔1102内。

烘干腔1102内具有温差，因此，测温组件包括第一测温针和第二测温针，其中，第一测温针与第二测温针沿烘干槽体1140的宽度方向相互间隔设置，且分别设置在烘干腔1102的后端内。第一测温针和第二测温针分别检测载具119在烘干腔1102内沿前后方向x相对两侧的温度。第一测温针用于检测温度较低一侧的温度，而第二测温针用于检测温度较高一侧的温度。通过第一测温针检测的温度来控制烘干腔1102内的温度，并根据第一测温针检测的温度来控制烘干腔1102的温度，而通过第二测温针进行保护性测温，这样可以提高烘干腔1102内的整体温度的水平。

抽风腔1104设置在烘干槽体1140的底部和侧面，使得从烘干腔1102出来的加热气体可从底部排入侧面的抽风腔1104。槽盖1144扣合在烘干槽体1140上可与烘干槽体1140围合出烘干腔1102。打开槽盖1144，可向烘干腔1102取放晶圆。

气路安装区120设置有加热装置，加热装置设置有输入管路和输出管路，氮气经过输入管路进入加热装置，经加热装置对氮气加热后，再经由输出管路排入到烘干腔1102内的喷淋管路1146内。喷淋管路1146可设置一道、两道或多道。

具体地，在烘干槽体1140的相对两个侧壁上分别布设第一喷淋管11462，第一喷淋管11462上设有多个喷孔或喷嘴，可喷出加热氮气。另外，第一喷淋管11462可转动，以能够调节喷孔或喷嘴喷出加热氮气的方向。在槽盖1144朝向烘干腔1102的一面对称布设第二喷淋管11464，第二喷淋管11464同样可设有多个用于喷出加热氮气的喷孔或喷嘴。通过第二喷淋管11464与第一喷淋管11462的结合使用，可以形成由从上至下的气流、水平方向的气流和倾斜向下的气流形成的多向气流场，能够覆盖多个晶圆和载具119的尺寸范围。

烘干槽114还包括：保温件1143，保温件1143包覆于烘干槽体1140的外部；其中，保温件1143为保温层或加热器。

本实施例中，为了保证烘干腔1102内的温度，以提高烘干腔1102的升温效率，因此，在烘干槽体1140的外部设置保温件1143。保温件1143可以为由保温材料制成的保温层，例如，在烘干槽体1140的外侧的四面粘贴保保温棉，保温棉方便、简洁、成本低。保温件1143也可以为加热器，用于为烘干槽体1140加热。加热器可以为柔性加热器，以辅助烘干腔1102进行升温，效果比贴保温棉显著，缩短了工艺时间。

实施例4

如图8和图6所示，本实施例提供了一种烘干设备100。除上述实施例的技术特征之外，本实施例还包括以下技术特征：

烘干设备100还包括：摇摆机构150，摇摆机构150设于框架140上。其中，烘干腔1102内设有网板组件118，网板组件118用于支撑工件200，网板组件118转动连接于烘干槽114的底部，摇摆机构150伸入烘干槽114内驱动网板组件118摆动。

本实施例中，网板组件118转动连接于烘干槽体1140的底部。摇摆机构150包括气缸组件、电气控制线路、辅助部件和升降杆，升降杆从槽盖1144伸入烘干腔1102内与网板组件118连接，过电气控制升降杆的运动，升降杆的升降可以驱动网板组件118的一端升高，另一端降低，或一端降低，另一端升高，从而实现网板组件118在前后方向x前后摆动，且网板组件118用于支撑工件200，例如晶圆。

实施例5

如图17和图18所示，本实施例提供了一种烘干设备100。除上述实施例的技术特征之外，本实施例还包括以下技术特征：

摇摆机构150包括动力组件154和传动组件152，传动组件152的两端分别连接动力组件154和网板组件118，其中，动力组件154用于通过传动组件152带动网板组件118绕转轴1184摆动。

动力组件154包括第一驱动部1541和第二驱动部1542。

传动组件152包括传动杆1521、球头杆1522和配合部1523，传动杆1521的一端连接动力组件154，配合部1523设于网板组件118上，配合部1523与球头杆1522远离动力组件154的一端配合，第一驱动部1541用于带动传动杆1521沿第一方向y运动，第二驱动部1542用于带动传动杆1521沿第二方向z运动，以实现网板组件118的摆动。

具体地，传动杆1521的两端分别连接动力组件154和网板组件118。球头杆1522的一端形成有球头部，球头杆1522远离球头部的一端与传动杆1521靠近网板组件118的一端相连。配合部1523设于网板组件118上，配合部1523设有球窝，球头部与球窝配合。且球头部能够相对球窝转动，从而球头杆与网板组件118实现转动连接。传动杆1521的轴线方向始终与转轴1184的长度方向垂直且不相交。具体地，传动杆1521的轴线方向与转轴1184的长度方向不相交，可以理解为，传动杆1521仅是起到传递动力的作用，传动杆1521不会影响到网板组件118的正常摆动。另外，传动杆1521的轴线方向始终与转轴1184的长度方向垂直，可以理解为，传动杆1521的轴线与转轴1184的中心线垂直，在摇摆机构150工作时，传动杆1521仅可以沿轴向运动，即动力组件154驱动传动杆1521沿轴向运动，进而可以带动网板组件118进行往复摆动。值得说明的是，传动杆1521可以竖直设置，工作过程中传动杆1521仅在竖直方向上进行升降。当然，传动杆1521根据实际需求还可以是其它设置方式，比如：水平设置等。

传动组件152传动组件152与动力组件154连接，传动组件152与网板组件118连接，第一驱动部1541用于带动传动杆1521沿第一方向y运动，第二驱动部1542用于带动传动杆1521沿第二方向z运动，以实现网板组件118的摆动。

更为具体地，如图17和图19所示，传动组件152还包括：第一滑动组件1528和滑动板1527，第一滑动组件1528用于与框架140连接，滑动板1527与传动杆1521相连，且滑动板1527与第一滑动组件1528相适配，滑动板1527与第一滑动组件1528滑动连接。第一滑动组件1528包括连接板1529和两个滑动导轨1524。连接板1529的截面与两个滑动导轨1524的截面组成c型结构，滑动板1527处于c型结构中，滑动板1527开设有安装口，其大小应与限位部1543相适配，且滑动板1527能够沿c型结构的长度方向进行滑动。通过将滑动板1527在c型结构中滑动，c型结构可以起到导向的作用，使滑动板的运动过程更加平稳顺畅，进而能够提高传动组件152在运动过程中的平稳性。

更为具体地，如图18所示，动力组件154包括：驱动部，驱动部连接于传动组件152远离网板组件118的一端，用于驱动传动组件152带动网板组件118摆动。驱动部可以是气缸、液压缸或者其它形式的动力件。

更为具体地，动力组件154还包括：第二滑动组件1548，连接于传动组件152，驱动部包括第一驱动部1541和第二驱动部1542，第一驱动部1541用于带动传动组件152沿第一方向y运动，第二驱动部1542用于带动传动组件152沿第二方向z运动。

第二滑动组件1548包括导轨滑块结构以及第一连接部1545。动力组件154还包括与传动组件152远离网板组件118一端相连的限位部1543，第一连接部1545与限位部1543远离传动组件152的一端相连。限位部1543与驱动部相连，驱动部驱动限位部1543运动，进而带动传动组件152运动，进而实现网板组件118的摆动。

第一连接部1545与限位部1543的连接，第一连接部1545对限位部1543起支撑作用，第一连接部1545辅助于限位部1543的摆动。

进一步地，摇摆机构150还包括阻隔板1544，阻隔板1544与框架140相连，导轨滑块结构包括第一部1593和第二部1594，具体地，第一部1593为滑轨，第二部1594为滑块，第一部1593可通过支撑块1597设置在阻隔板1544上，第二部1594通过第一连接部1545连接于限位部1543，限位部1543运动，第一部1593与第二部1594也可发生相对位置变化，也可理解为限位部1543能够与阻隔板1544发生相对位置变化。

更进一步地，滑动板1527与限位部1543相连，滑动板1527可随着限位部1543一起运动，滑动板1527起到阻隔作用，当限位部1543运动时，滑动板1527随之运动，在半导体处理整机设备中，可实现传动组件152和动力组件154的工作区域分离，保持工作区域的洁净度。

进一步地，第一区域为工作区域，第二区域为装配区域，将摇摆机构150中的传动组件152设置在第一区域，摇摆机构150中的动力组件154设置在第二区域，由于摇摆机构150中的阻隔板1544与框架140相连，从而阻隔板1544将框架140内分隔为第一区域和第二区域，有利于提高各区域内的整洁性。

阻隔板1544上设有第一升降活动口，限位部1543与传动杆1521远离网板组件118的一端相连，且限位部1543穿设于第一升降活动口。在传动杆1521沿轴向运动的过程中，传动杆1521能够随着限位部1543的运动进行升降，限位部1543可相对第一升降活动口进行升降。通过限位部1543与第一升降活动口的配合使用，能够对传动杆1521沿轴向的活动范围进行限制，确保传动杆1521可以在合理的范围内活动。

进一步地，驱动部具体包括第一驱动部1541和第二驱动部1542。具体地，第一驱动部1541能够带动传动组件152沿第一方向y运动，第二驱动部1542能够带动传动组件152沿第二方向z运动。具体地，驱动部带动限位部1543运动，限位部1543带动传动组件152运动，即第一驱动部1541带动限位部1543进而带动传动组件152沿第一方向y运动，第二驱动部1542能够带动限位部1543进而带动传动组件152沿第二方向z运动。值得说明的是，当传动组件152中的传动杆1521竖直方向设置时，第一方向y为竖直向上，第二方向z为竖直向下，即第一方向y与第二方向z相反。换言之，第一驱动部1541与第二驱动部1542互为倒装，即安装方向相反。

在另一个实施例中，动力组件154中驱动部中的第一驱动部1541和第二驱动部1542可以理解为两个气缸，两个气缸互为反装。具体地，气缸包括缸体和伸缩杆，伸缩杆的一端设于缸体内，伸缩杆的另一端处于缸体外侧。当气缸的数量为两个时，两个气缸中的伸缩杆的运动方向相反。气缸中的伸缩杆与传动杆1521远离网板组件118的一端相连，进而气缸能够驱动传动杆1521沿轴向方向运动。

值得说明的是，通过控制气缸的伸缩杆或者选择不同型号的气缸来调整传动杆1521的运动范围，进而可以对网板组件118的摆动角度进行调节。本申请中的摇摆机构150，通用性高，可以按实际生产需要，调节网板组件118摆动倾斜角度的变化，以满足不同场合的需求。

盖板1596与限位部1543螺栓连接，盖板1596与传动杆1521螺栓连接。限位部1543与传动杆1521通过盖板1596实现可拆卸连接，方便安装与拆卸，有利于工作人员进行维护及更换。

在另一个实施例中，如图18和图19所示，摇摆机构150包括往复运动机构。具体地，往复运动机构包括阻隔板1544和底板1591，阻隔板1544与底板1591垂直连接，底板1591上设置有第二连接部1546。进一步地，往复运动机构还包括：第二滑动组件1548和驱动部。具体地，第二滑动组件1548包括第一部1593、第二部1594以及第一连接部1545。驱动部包括第一驱动部1541和第二驱动部1542，第二连接部1546的两个侧面分别与第一驱动部1541以及连接块1592相连，第二驱动部1542设置在底板1591上，第一驱动部1541可以为第一气缸，第二驱动部1542可以为第二气缸，气缸包括伸缩杆，第一气缸和第二气缸互为反装，换言之，第二气缸伸缩杆连接连接块1592，当第二气缸的伸缩杆运动时，带动连接块1592进行同步运动，进而带动第一驱动部1541同步运动；第一气缸的伸缩杆固定连接限位部1543，优选地，设置转接板1547，即第一气缸的伸缩杆固定连接转接板1547，转接板1547再与限位部1543连接，可依据实际气缸的伸缩距离来确定转接板1547的高度大小；当第一气缸的伸缩杆运动时，限位部1543随之同步运动，或当第一驱动部1541不运动时，第二气缸的伸缩杆运动，同样能带动限位部1543同步运动，因为第二气缸的伸缩杆固定连接于连接块1592，连接块1592固定连接在第二连接部1546上，第一驱动部1541固定设置在第二连接部1546上，第一驱动部1541固定连接限位部1543，进而实现同步运动。通过设置两个伸缩方向相反的气缸，能够对传动杆1521的运动方向进行精确控制，进而传动杆1521能够带动网板组件118进行摆动。另外，两个气缸还可以增大行程，一种方式是改变两个气缸的相对位置，可以对两个气缸的整体行程进行调节，进而能够调控网板组件118的摆动幅度；另一种方式是更换两个气缸的规格，采用行程更大的气缸，以能够调控网板组件118的摆动幅度。

采用双气缸相互配合的方式间接带动网板组件的摆动，相比与常规的电机方式驱动，具有置容空间小、操作便捷的优点，摇摆机构150设置在晶圆烘干设备内，晶圆烘干设备包括多个区域，各区域空间受限制，为在有限空间内实现烘干槽内晶圆的摆动，采用双气缸相互配合的方式一方面可以实现烘干槽内晶圆的摆动，另一方面合理利用了设备空间。此外，采用双气缸驱动的方式可以更容易控制网板组件的平衡点，即当两个气缸均处于不运动状态时，网板处于平衡状态。处于平衡状态时，便于人工或搬运装置(例如机械手)的取放，特别是机械化控制时，网板组件处于平衡状态，即水平状态，放置晶圆的晶圆盒处于水平状态，便于搬运装置同步准确的抓取晶圆盒或放置晶圆盒。若采用单个气缸间接驱动网板组件的摆动，实现3个位置的切换，则当需要网板组件处于水平状态时，由于气缸时采用的是将压缩空气的压力转换为机械能的原理，不能准确实现水平状态的控制，进而影响网板上晶圆的取放。

具体地，摇摆机构150还包括：位置检测组件，包括：磁性开关172和原点位检测组件174，磁性开关172设于动力组件154上；原点位检测组件174设于动力组件154上。磁性开关172与第一驱动部1541和第二驱动部1542分别通讯连接，磁性开关172用于检测第一驱动部1541的伸出位置和第二驱动部1542的伸出位置并控制第一驱动部1541和第二驱动部1542的动作。原点位检测组件174与磁性开关172通讯连接，原点位检测组件174设于动力组件154上，原点位检测组件174用于检测网板组件118的原点位状态。

可以理解为第一驱动部1541为第一气缸，第二驱动部1542为第二气缸，磁性开关172设于气缸上，用于检测气缸的伸出位置。

进一步地，原点位检测组件174包括检测元件1741和检测片1742。具体地，检测元件1741设于阻隔板1544或者与阻隔板1544相连的支撑块1597上，检测片1742设于与驱动部相连的连接部上，原点位检测组件174用于检测气缸不运动时的状态，气缸不运动时网板组件118处于水平状态，即为原点位状态。通过设置位置检测组件，摇摆机构150能够实现自动化摆动。

具体地，动力组件154包括两个气缸，通过两个气缸的配合使用，使传动杆1521进行升降，进而带动网板组件118进行摆动。

网板组件118保持水平状态时，即为原点位状态，两个气缸均无动作。

原点位状态下，若将网板组件118摆动向上时，即网板组件118沿第一方向y运动，具体操作为：第二气缸不动作，第一气缸的伸缩杆伸出，带动传动组件152进而带动网板组件118向上抬升，到预设位置后，根据工艺参数设置，状态保持或反向动作复位至原点位状态；

原点位状态下，若将网板组件118摆动向下时，即网板组件118沿第二方向z运动，具体操作为：第一气缸不动作，第二气缸的伸缩杆伸出，带动传动组件152进而带动网板组件118向下降落，到预设位置后，根据工艺参数设置，状态保持或反向动作复位至原点位状态；

原点位状态为基础状态，其他两个动作，即网板组件118摆动向上或向下运动，都在此基础上完成，例如：从摆动向下到摆动向上时，必须要经过原点位状态。在原点位状态下，磁性开关172检测气缸的伸缩杆的位置，并与原点位检测组件174检测结果互相判断：

判断无异常，即原点位检测组件174中的光电开关能检测到感应片，同时磁性开关172可以检测各自气缸伸缩杆的位置，摇摆机构150进入下一步动作；

判断异常，即原点位检测组件174中的光电开关不能检测到感应片，或者磁性开关172不能检测各自气缸伸缩杆位置时，报警，且摇摆机构150停机，等待异常处理完后复位。

与自动化配合时，在原点位状态下：若判断无异常，机构进入下一步动作，自动化机械手过来抓取晶圆盒；若判断异常，报警，摇摆机构150停机，需要人工排除异常并确认复位后，自动化机械手过来抓取晶圆盒。

实施例6

如图6和图7所示，本实施例提供了一种烘干设备100。除上述实施例的技术特征之外，本实施例还包括以下技术特征：

网板组件118包括：网板1182和转轴1184，转轴1184设于网板1182上，且转轴1184转动连接于烘干槽114的底部。其中，网板1182用于放置载具119，载具119排列有多个工件200。

本实施例中，如图16所示，烘干槽114的底部在宽度方向上相互间隔设有底座，用于支撑网板1182。如此，网板1182与烘干槽114的底部之间形成有间隙，能够加快烘干腔1102内气体的流动。转轴1184设置在网板1182的底部，两个底座之间设有凸台，凸台也设于烘干槽114的底部上，转轴1184转动连接于凸台上，从而使得网板1182能够随转轴1184的转动而摆动。网板1182上设置有载具支撑座和驱动机构安装座，载具支撑座用于支撑载具119，驱动机构安装座用于连接摇摆机构150。驱动机构安装座可设置于网板1182在前后方向x的任意一端。其中，摇摆机构150可以包括气缸，通过气缸的气缸杆的伸缩驱动网板1182前后摆动。摇摆机构150可设置在网板1182在前后方向x的任意一端。

如图6和图7所示，当网板1182前后摆动，可以抖动载具119内的晶圆，提高晶圆的烘干效果。载具119可以为晶圆盒。另外，如图6所示，当网板1182向前摆动，即网板前低后高时，网板下前导风口与网板1182之间的间隙缩小，因此风力比较集中，使得该侧的抽风效果更好。如图7所示，当网板1182向后摆动，即网板前高后低时，网板下后导风口与网板1182之间的间隙缩小，同样使得该区域的风力比较集中，该侧的抽风效果更好。通过网板1182的往复前后摆动，能够加快气流在烘干腔1102内的流动，从而可提高对晶圆的烘干速度和烘干效果。

此外，由于在常规烘干槽中，晶圆和晶圆盒放置在烘干槽内，一般不会产生相对运动，导致晶圆的正面贴近晶圆盒或与晶圆盒的间距较小，气体很难通过，这也是晶圆烘干槽难以烘干的区域之一。通过摇摆机构150摆动网板1182，还会甩落晶圆和晶圆盒上的水珠，提高烘干效果。摆动网板1182还会使晶圆的侧面与晶圆盒的距离变化。例如，当网板1182前高后低时，晶圆朝向晶圆盒的后方倾斜，晶圆的正面与晶圆盒的前面的间距变大，有利于气体通过晶圆的正面与晶圆盒的前面的间距，进行烘干。

实施例7

如图8所示，本实施例提供了一种烘干设备100。除上述实施例的技术特征之外，本实施例还包括以下技术特征：

烘干设备100还包括：净化区160，设于框架140的顶部，用于过滤进入框架140内的空气；和/或电路安装区170，设于框架140内；和/或显示区180，设于框架140内；和/或水枪组件190，设于框架140的底部。

本实施例中，净化区160设于框架140的顶部，用于净化进入框架140内的空气，以能够为烘干设备100提供洁净空气。可以进一步起到清洁设备内部环境的作用。净化区160可设置风机过滤机组过滤空气。

电路安装区170主要用于放置电路元件，对烘干设备100进行机电控制。

显示区180设置在框架140在前后方向x的前端，用于安装部分参数显示器，还可用于安装照明灯。

水枪组件190，用于对烘干设备100的前部进行喷淋冲洗。

实施例8

如图9和图3所示，本实施例提供了一种晶圆烘干方法，采用任一实施例中的烘干设备100，晶圆烘干方法包括：

步骤s102：封闭烘干腔；

步骤s104：控制多路加热氮气充入烘干腔；

步骤s106：控制烘干腔内部的加热气体通过抽风腔进入主抽风管道；

步骤s108：控制烘干腔外部的空气进入主抽风管道。

本实施例中，通过封闭烘干腔1102，使得多个晶圆置于密闭的空间内，能够避免外部环境对晶圆造成污染。通过向烘干腔1102充入加热氮气对晶圆进行烘干，在实现达到烘干指标的同时，没有危险气体存在，能够大大减少现场操作人员以及设备的安全隐患，设备尾气可以直接排放，降低了尾气处理成本。

在烘干过程中，将烘干腔1102内部的加热气体通过抽风腔1104排入主抽风管道130内，能够加快烘干腔1102内的加热氮气的循环，提高了烘干效果。将烘干腔1102外部的空气及时排入主抽风管道130，能够避免烘干腔1102外部的空气进入烘干腔1102内污染晶圆。

实施例9

如图10和图5所示，本实施例提供了一种晶圆烘干方法。除上述实施例的技术特征之外，本实施例还包括以下技术特征：

晶圆烘干方法还包括：

步骤s202：关闭多路加热氮气充入烘干腔的通路；

步骤s204：打开烘干腔；

步骤s206：关闭抽风腔与主抽风管道的通路；

步骤s208：控制烘干腔内部的加热气体进入主抽风管道。

本实施例中，当烘干腔1102对晶圆烘干完毕，则关闭加热氮气充入烘干腔1102的通路，此时，烘干腔1102内不再通入加热氮气。打开槽盖1144，同时关闭内抽风管路116上的抽风阀门1162，由于关闭抽风阀门1162后，烘干腔1102的降温速度减慢，因此，可以实现开盖过程中对烘干槽114的保温。烘干槽体1140的内部气体均经抽风口1122进入主抽风管道130，外部气体流通过导风板1124汇流至主抽风管道130内，可避免设备前部气体进入烘干腔1102内。

实施例10

如图11和图7所示，本实施例提供了一种晶圆烘干方法。除上述实施例的技术特征之外，本实施例还包括以下技术特征：

晶圆烘干方法还包括：

步骤s302：将多个晶圆相互间隔置于载具上；

步骤s304：将载具置于烘干腔内；

步骤s306：控制载具摆动。

本实施例中，如图6所示，烘干腔1102沿长度方向在前端和后端可以分别放置一个载具119，也可以在前后方向x依次放置多个载具119。载具119用于放置相互间隔并依次排列多个晶圆。第二喷淋管11464在烘干腔1102内的长度可根据烘干腔1102内放置载具119的个数来确定，并使得第二喷淋管11464的长度可以覆盖多个载具119的总体长度，以保证烘干效果。

更为具体地，由于载具119是放置于网板1182上的，载具119无底，载具119的侧部和底部镂空。载具119两侧分别设有用于卡放晶圆的卡槽，如此，相邻的两个卡槽之间有间歇，使相邻的两个晶圆之间也留有间隙，适于部分气流穿过，能够保证提高对晶圆的烘干效果。部分气流从间隙流过后再从网板1182上的网孔穿过，继而从导风口1106流入抽风腔1104内。

更为具体地址，通过控制载具119前低后高，或控制载具119前高后低，使得载具119在前后方向能够前后摆动，从而可以抖动载具119上的晶圆，进一步提高了烘干效率和可靠性。载具119在前后方向前后摆动的过程中，会使得载具119与导风口1106之间的间隙发生变化，从而可以调节抽风效果，能够加快气流在烘干腔内的流动，从而可提高对晶圆的烘干速度和烘干效果。

实施例11

如图8和图10所示，本实施例提供了一种烘干设备100，烘干设备100为晶圆烘干设备的新型结构。烘干设备100包括框架140、晶圆烘干区、前部显示区、机顶风机过滤机组(fanfilterunite，简称ffu)、电路安装区170、摇摆机构150、主抽风道、气路元件安装区、前部水枪。其中，晶圆烘干区为烘干区110，前部显示区为显示区180，机顶风机过滤机组为净化区160，主抽风道为主抽风管道130，气路元件安装区为气路安装区120，前部水枪为水枪组件190。

框架140，主要为整机提供结构性支撑、部件布局划分以及隔离烘干设备内部与外部厂务空气，使各部件在设备内有序排布，并且防止外部厂务空气对内部晶圆的污染。

晶圆烘干区，用于支撑烘干槽体并隔离烘干槽体与设备后部电路、气路区域，同时连接设备主抽风道，将设备前部的烘干废气排放至设备外部。

前部显示区，用于安装部分参数显示器。此项为优选项。优选的，可用于安装照明灯。

机顶ffu，用于过滤外部厂务空气，为设备前部提供洁净空气。

电路安装区170，主要放置电路元件，对设备进行机电控制。

摇摆机构150，与烘干槽体内晶圆支撑板连接，通过电气控制机构运动，使烘干槽体内晶圆支撑板进行前后摆动。

主抽风道，一端用于连接晶圆烘干外腔1.2与外部厂务抽风管道，为设备抽风；另一端连接外围设备管路。

气路元件安装区，主要放置气路元件，为晶圆烘干提供氮气。

具体地，气路元件安装区设置有加热装置，加热装置设置有输入管路和输出管路，氮气经过输入管路进入加热装置，经加热后，经由输出管路排入到烘干槽内喷淋管路中；喷淋管路可设置一道、两道或多道，优选地，在槽盖上对称布设喷淋管路，和/或在槽侧壁上布设喷淋管路，喷淋管路朝向晶圆一侧设置气孔或喷嘴，喷淋管路可调节，热氮气经过气孔或喷嘴进入到槽体内。

前部水枪，用于对设备前部进行喷淋冲洗。

如图2所示为晶圆烘干区内部部件布局。包括托槽112、烘干槽体1140、烘干槽体抽风道、槽盖1144和烘干槽体抽风道阀门，烘干槽体抽风道为内抽风管路116，烘干槽体抽风道阀门为抽风阀门1162。

烘干槽体托槽，用于支撑烘干槽体1140及槽盖1144，并且连接设备前部区域与主抽风道，达到前部区域抽风的目的。

烘干槽体1140，用于放置晶圆，负责晶圆的烘干。

烘干槽体抽风道，连接烘干槽体1140与主抽风道，负责烘干槽体1140的废气排放。

槽盖1144，用于在烘干过程中，隔绝槽体外部气体以及对槽体内部进行保温。

烘干槽体抽风道阀门，用于控制烘干槽体1140与主抽风道的连接的打开与关闭。

优选的，可在烘干槽体1140外部增加保温材料，为槽体在运行过程中保温。保温材料制成保温层。

优选的，可在烘干槽体1140外部增加加热装置，为槽体在运行过程中保温。加热装置可以为加热器。

如图3所示，为槽盖1144关闭时，设备内部气体流场示意图。槽盖1144关闭，烘干槽体1140内部气体一部分经烘干槽体抽风道进入主抽风道，一部分设备前部气体实现烘干过程中烘干槽内外的气体的隔离。

此外，外部气体流一部分通过导风板1124汇流至主抽风管道130内，一部分通过网孔板进入烘干槽体托槽内，再经由经烘干槽体托槽后部的抽风口1122进入主抽风道，此部分气流主要起到清洁设备内部环境的作用。

控制打开或关闭槽盖1144的驱动可设置在托槽112内侧壁板上。

如图5所示为槽盖1144打开时，设备内部气体流场示意图。当烘干槽114内完成烘干时，槽体内不再通入热氮气，槽盖1144打开，同时关闭烘干槽体抽风道阀门，把抽风阀门1162关闭后，降温速度减慢。烘干槽体1140内部气体均经烘干槽体托槽后部的抽风口1122进入主抽风道，外部气体流通过导风板1124汇流至主抽风管道130，具体地，经烘干槽体托槽后部的抽风口1122进入主抽风道，实现开盖过程中烘干槽的保温，同时避免设备前部气体进入槽体内。

如图4所示，为烘干槽体1140内部的热氮气流场示意图。在烘干槽体1140中，有晶圆上方若干喷淋管和槽体侧方若干喷淋管对槽体进行热氮气的喷淋，喷淋后的气体经晶圆底部抽风口进入烘干槽体内部抽风道，最终经烘干槽体抽风道进入主抽风道。优选地，内部抽风道靠近槽体侧壁布设。内部抽风道为内抽风管路116。晶圆底部抽风口为导风口1106。槽体侧方若干喷淋管为第一喷淋管11462，晶圆上方若干喷淋管为第二喷淋管11464。

如图6和图7所示，为摇摆机构150与烘干槽体1140的装配关系。包括摇摆机构150、晶圆支撑板、晶圆支撑板转轴。晶圆支撑板为网板1182，晶圆支撑板转轴为转轴1184。晶圆支撑板，用于支撑晶圆。晶圆支撑板转轴，用于支撑晶圆支撑板，使其能在摇摆机构150的运行带动下前后倾斜。

如图6所示，当摇摆机构150抬升时，带动晶圆支撑板在前后方向x向设备前部倾斜，如图7所示，当摇摆机构150下降时，带动晶圆支撑板向设备后部倾斜。通过前后倾斜的动作，使晶圆能在晶圆架中轻微晃动，避免了晶圆与晶圆架之间的烘干死角，更有利于晶圆的烘干。

晶圆烘干设备，可以作为独立烘干设备，晶圆放置在载具119上，采用人工区取放的方式，通过门体进行取放件，同时，也可以作为晶圆清洗设备中的烘干机构，与其他清洗机构等集成为一体，此时，上述晶圆烘干设置中的门体和机顶ffu可拆除，此区域用于搬运机构来实现晶圆的搬运，以便于实现自动化批量生产，ffu拆除后，可设置统一的补风机构，主抽风道与其配合，实现设备内部的洁净，搬运机构可以是自动化机械手或其他可实现搬运晶圆。

综上，根据发明的实施例的有益效果为：

1.通过将烘干区110、气路安装区120和主抽风管道130分别设置在框架140内，实现了结构优化，提升了安装空间，更方便对晶圆进行烘干操作。框架140主要可以为整机提供结构性支撑，并使得多个部件在框架140内有序排布，布局划分更合理，以提高操作便利性。另外，框架140还可以隔离烘干设备的内部与外部厂务空气，可以防止外部厂务空气对内部晶圆的污染。

2.通过向烘干腔1102充入加热氮气对晶圆进行烘干，在实现达到烘干指标的同时，没有危险气体存在，能够大大减少现场操作人员以及设备的安全隐患，设备尾气可以直接排放，降低了尾气处理成本。

在根据本发明的实施例中，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定。术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；“相连”可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在根据本发明的实施例中的具体含义。

根据本发明的实施例的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述根据本发明的实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或单元必须具有特定的方向、以特定的方位构造和操作，因此，不能理解为对根据本发明的实施例的限制。

在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于根据本发明的实施例的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上仅为根据本发明的实施例的优选实施例而已，并不用于限制根据本发明的实施例，对于本领域的技术人员来说，根据本发明的实施例可以有各种更改和变化。凡在根据本发明的实施例的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在根据本发明的实施例的保护范围之内。