一种密闭式熔融机水冷熔融室的制作方法

1.本发明涉及半导体设备领域，具体涉及一种密闭式熔融机熔融室。


背景技术：

2.以前熔融机为开放式设计，空气中的粉尘会对制作的坩埚造成污染，且开放式设计的熔融机，在起弧的过程中，噪音无法控制，产生的大量的热量，对周围的设备造成损害。


技术实现要素：

3.针对现有技术存在的问题，本发明提供一种密闭式熔融机熔融室，以解决上述至少一种技术问题。
4.本发明的技术方案是：一种密闭式熔融机熔融室，包括熔融室主体，其特征在于，所述熔融室主体包括四周侧板、顶板、两块前门、左右两块侧门、底部支架和底板盖板，所述顶板和所述四周侧板是由多个水冷板拼接构成的板体，所述水冷板内部均设有进出水口和水道结构，所述水冷板包括第一水冷板、多个第二水冷板和多个第三水冷板；
5.所述第一水冷板的上层开设有腰型孔，所述第二水冷板的上层开设有视窗，所述顶板是由第一水冷板、第二水冷板和第三水冷板通过螺栓拼接而成的板体，所述四周侧板是由第二水冷板和第三水冷板通过螺栓拼接构成的板体；
6.所述两块前门包括左前门和右前门，所述两块前门位于四周侧板的前侧板上，且所述左前门和所述右前门分别通过销轴与水冷板连接，所述底部支架上设有两个相对设置的气缸支座，所述气缸支座通过支撑座固定有气缸，所述气缸的固定端与支撑座连接，气缸的移动端分别与左前门和右前门连接。
7.本发明通过不锈钢水冷墙体设计，吸收热量，通过密封的墙体设计配合排风系统，清除环境中的粉尘，降低环境噪音。并且水冷板内部都有水道，方便水流按照设定的方向在流动，从而保证了在起弧石英坩埚时，水冷小熔融室起到的作用是，1)提供稳定的熔融环境，2) 保证熔融室的热量不会散发出熔融室外，保证了熔融时温度稳定，升温较好，生产石英坩埚品质稳定性和一致性较好，3)隔绝起弧时的噪声，从而提供操作人员安全环境，4)整个水冷小熔融室，前门是气缸自动打开控制，保证模具进出安全性，不会产生误操作，而产生碰撞。
8.进一步优选，所述左前门和所述右前门上分别安装有连接座，所述连接座上固定有与气缸移动端连接的销轴。
9.进一步优选，所述左前门与水冷板的连接处和所述右前门与水冷板的连接处均设有轴承。便于开合。
10.进一步优选，所述左右两块侧门分别安装在所述四周侧板的左侧板、右侧板上，且所述左右两块侧门分别通过销轴与所述左侧板、所述右侧板连接。
11.本发明通过增加两个侧门能够实现更多的功能。
12.进一步优选，所述四周侧板的后侧板开设有通气接口。对起弧时产生产灰尘进行
吹扫，从而保证灰尘不会悼入坩埚内，而产生缺陷。
13.进一步优选，所述第一水冷板上开设有六个腰型孔，所述六个腰型孔沿着第一水冷板的中心点成周向排布。
14.为水流通畅，起弧做石英坩埚，使热量不会向外散发，另外也有防止外部灰尘进行熔融环境，影响生产坩埚质量，熔融环境稳定。
15.进一步优选，所述顶板是由一块第一水冷板、两块第二水冷板和两块第三水冷板块拼接而成，所述第一水冷板位于中央，两块第二水冷版和两块第三水冷板分别围绕在第一水冷板的外侧。
16.本发明优化了顶板的结构能够更好的提供稳定的熔融环境。
17.进一步优选，所述底部支架围绕所述底板盖板的外侧排布，且所述底部支架包括向外延伸的伸出端，所述气缸支座设置在所述伸出端上。
18.本发明通过增加了伸出端能够更好的对熔融室起到防护效果。
19.进一步优选，所述伸出端的头部安装有矩形片状的防护板，且所述防护板的外围套设有硅胶垫。
20.不仅能够防止伸出端的碰撞还能增加摩擦力。
21.进一步优选，所述四周侧板的其中相对的两块侧板上分别安装有支撑板，所述支撑板通过螺栓与水冷板固定，且所述支撑板靠近底部支架。
22.本发明通过增加了支撑板能够起到限位效果。
附图说明
23.图1是本发明熔融室主体的结构示意图；
24.图2是本发明气缸支座的放大图；
25.图3为本发明前门与水冷板的连接处放大示意图；
26.图4为本发明熔融室主体的后侧示意图；
27.图5为本发明熔融室主体的侧面示意图；
28.图6为第一水冷板的结构示意图；
29.图7为第二水冷板的结构示意图；
30.图8为第三水冷板的结构示意图。
31.图中：1、第一水冷板；2、第二水冷板；3、第三水冷板；4、侧门；5、左前门；6、右前门；7、气缸支座；8、气缸；9、伸出端；10、底部支架；11、支撑座；12、连接座；13、轴承；14、销轴；15、侧板；16、腰型孔；17、视窗。
具体实施方式
32.下面结合附图对本发明做进一步的说明。
33.参照图1-图4所示，一种密闭式熔融机熔融室，包括熔融室主体，熔融室主体包括四周侧板15、顶板、两块前门、左右两块侧门4、底部支架10和底板盖板，顶板和四周侧板是由多个水冷板拼接构成的板体，水冷板内部均设有进出水口和水道结构，水冷板包括第一水冷板1、多个第二水冷板2和多个第三水冷板3；第一水冷板的上层开设有腰型孔16，第二水冷板的上层开设有视窗17，顶板是由第一水冷板、第二水冷板和第三水冷板通过螺栓拼
接而成的板体，四周侧板是由第二水冷板和第三水冷板通过螺栓拼接构成的板体；两块前门包括左前门5和右前门6，两块前门位于四周侧板的前侧板上，且左前门和右前门分别通过销轴 14与水冷板连接，底部支架上设有两个相对设置的气缸支座7，气缸支座通过支撑座11固定有气缸8，气缸的固定端与支撑座连接，气缸的移动端分别与左前门和右前门连接。
34.本发明通过不锈钢水冷墙体设计，吸收热量，通过密封的墙体设计配合排风系统，清除环境中的粉尘，降低环境噪音。并且水冷板内部都有水道，方便水流按照设定的方向在流动，从而保证了在起弧石英坩埚时，水冷小熔融室起到的作用是，1)提供稳定的熔融环境，2) 保证熔融室的热量不会散发出熔融室外，保证了熔融时温度稳定，升温较好，生产石英坩埚品质稳定性和一致性较好，3)隔绝起弧时的噪声，从而提供操作人员安全环境，4)整个水冷小熔融室，前门是气缸自动打开控制，保证模具进出安全性，不会产生误操作，而产生碰撞。
35.进一步优选，左前门和右前门上分别安装有连接座12，连接座上固定有与气缸移动端连接的销轴。
36.进一步优选，左前门与水冷板的连接处和右前门与水冷板的连接处均设有轴承13。便于开合。
37.进一步优选，左右两块侧门分别安装在四周侧板的左侧板、右侧板上，且左右两块侧门分别通过销轴与左侧板、右侧板连接。本发明通过增加两个侧门能够实现更多的功能。
38.进一步优选，四周侧板的后侧板开设有通气接口。对起弧时产生产灰尘进行吹扫，从而保证灰尘不会悼入坩埚内，而产生缺陷。
39.进一步优选，第一水冷板上开设有六个腰型孔16，六个腰型孔沿着第一水冷板的中心点成周向排布。为水流通畅，起弧做石英坩埚，使热量不会向外散发，另外也有防止外部灰尘进行熔融环境，影响生产坩埚质量，熔融环境稳定。
40.进一步优选，顶板是由一块第一水冷板、两块第二水冷板和两块第三水冷板块拼接而成，第一水冷板位于中央，两块第二水冷版和两块第三水冷板分别围绕在第一水冷板的外侧。本发明优化了顶板的结构能够更好的提供稳定的熔融环境。
41.进一步优选，底部支架围绕底板盖板的外侧排布，且底部支架包括向外延伸的伸出端9，气缸支座设置在伸出端上。本发明通过增加了伸出端能够更好的对熔融室起到防护效果。
42.进一步优选，伸出端的头部安装有矩形片状的防护板，且防护板的外围套设有硅胶垫。不仅能够防止伸出端的碰撞还能增加摩擦力。
43.进一步优选，四周侧板的其中相对的两块侧板上分别安装有支撑板，支撑板通过螺栓与水冷板固定，且支撑板靠近底部支架。本发明通过增加了支撑板能够起到限位效果。
44.以上仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。