一种连续退火炉用下料机构的制作方法

1.本实用新型涉及连续退火炉技术领域，尤其涉及一种连续退火炉用下料机构。


背景技术：

2.退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60％。
3.现有技术中，连续退火炉在下料时，需要人工将盛满的落料桶进行移动更换，由于落料桶盛满时，重量较重，使得更换速度较慢，从而需要将下料口关闭进行移动，从而导致落料口内的物料堆积，容易造成堵塞，且物料蜂拥流出时，容易落在落料桶的外侧，从而使得现有的下料机构的实用性较差。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在连续退火炉在下料时，需要人工将盛满的落料桶进行移动更换，由于落料桶盛满时，重量较重，使得更换速度较慢，从而需要将下料口关闭进行移动，从而导致落料口内的物料堆积，容易造成堵塞，且物料蜂拥流出时，容易落在落料桶的外侧，从而使得现有的下料机构的实用性较差的问题，而提出的一种连续退火炉用下料机构。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种连续退火炉用下料机构，包括下料结构，所述下料结构包括连续退火炉本体，所述连续退火炉本体的一侧固定连接有下料口，所述连续退火炉本体的一侧设置有支撑端架，所述支撑端架内环面的两侧均开设有滑动内槽，所述滑动内槽的内部设置有移动结构，所述移动结构包括滑动卡块，所述滑动卡块的后侧滑动卡接在滑动内槽的内部，所述滑动内槽内设置滑动卡块的数量为两个，两个所述滑动内槽之间固定连接有连接中杆，所述支撑端架的一侧开设有伸缩杆安装槽，所述伸缩杆安装槽的内部固定连接有单向液压缸，所述单向液压缸的输出端与滑动卡块的一侧固定连接，相对两个所述滑动卡块之间设置有落料桶，所述落料桶的两侧均设置有支撑侧耳，所述支撑侧耳放置在滑动卡块的上端。
6.优选的，所述支撑侧耳的一侧设置有固定螺栓，所述支撑侧耳通过固定螺栓与落料桶固定连接。
7.优选的，所述支撑侧耳的中部两侧均固定连接有一号加强筋。
8.优选的，所述支撑端架的下端固定连接有支撑脚，所述支撑脚的侧面固定连接有稳定连杆。
9.优选的，所述滑动卡块的两侧均固定连接有二号加强筋。
10.优选的，所述滑动卡块的一侧开设有卡接端槽，所述卡接端槽的内部卡接固定有压力检测器，所述压力检测器的上端固定连接有防护橡胶片。
11.与现有技术相比，本实用新型的优点和积极效果在于，
12.1、本实用新型中，通过单向液压缸与滑动卡块的设置，在使用时，通过单向液压缸的伸缩，可推动与拉动滑动卡块移动，通过滑动卡块的移动，带动落料桶的移动，从而使得两个落料桶轮流对物料进行盛放，从而无需人工将落料桶进行移动更换，无需将下料口关闭即可使用，从而增加下料的效率，同时避免出现物料堵塞的情况。
13.2、本实用新型中，通过二号加强筋与一号加强筋的设置，分别用于增加滑动卡块和支撑侧耳的强度，同时二号加强筋可起到对支撑侧耳限位的作用，以使得落料桶跟随滑动卡块的移动而移动，通过压力检测器的设置，用于对落料桶的重量进行检测，在落料桶盛放物料快满时，将信息传递，以进行提示，对落料桶进行更换。
附图说明
14.图1为本实用新型提出一种连续退火炉用下料机构的立体结构示意图；
15.图2为本实用新型提出一种连续退火炉用下料机构中落料桶的立体结构示意图；
16.图3为本实用新型提出一种连续退火炉用下料机构中滑动卡块的立体结构示意图；
17.图4为本实用新型提出一种连续退火炉用下料机构中支撑端架的立体结构示意图。
18.图例说明：
19.1、下料结构；11、连续退火炉本体；12、下料口；13、支撑端架；14、支撑脚；15、稳定连杆；16、落料桶；17、支撑侧耳；18、一号加强筋；19、固定螺栓；110、滑动内槽；111、伸缩杆安装槽；
20.2、移动结构；21、滑动卡块；22、二号加强筋；23、连接中杆；24、防护橡胶片；25、压力检测器；26、卡接端槽；27、单向液压缸。
具体实施方式
21.为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
22.在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。
23.实施例1，如图1-4所示，本实用新型提供了一种连续退火炉用下料机构，包括下料结构1，下料结构1包括连续退火炉本体11，连续退火炉本体11的一侧固定连接有下料口12，连续退火炉本体11的一侧设置有支撑端架13，支撑端架13内环面的两侧均开设有滑动内槽110，滑动内槽110的内部设置有移动结构2，移动结构2包括滑动卡块21，滑动卡块21的后侧滑动卡接在滑动内槽110的内部，滑动内槽110内设置滑动卡块21的数量为两个，两个滑动
内槽110之间固定连接有连接中杆23，支撑端架13的一侧开设有伸缩杆安装槽111，伸缩杆安装槽111的内部固定连接有单向液压缸27，单向液压缸27的输出端与滑动卡块21的一侧固定连接，相对两个滑动卡块21之间设置有落料桶16，落料桶16的两侧均设置有支撑侧耳17，支撑侧耳17放置在滑动卡块21的上端。
24.下面具体说一下其下料结构1与移动结构2的具体设置和作用，通过单向液压缸27与滑动卡块21的设置，在使用时，通过单向液压缸27的伸缩，可推动与拉动滑动卡块21移动，通过滑动卡块21的移动，带动落料桶16的移动，从而使得两个落料桶16轮流对物料进行盛放，从而无需人工将落料桶16进行移动更换，无需将下料口12关闭即可使用，从而增加下料的效率，同时避免出现物料堵塞的情况。
25.如图1-4所示，支撑侧耳17的一侧设置有固定螺栓19，支撑侧耳17通过固定螺栓19与落料桶16固定连接，支撑侧耳17的中部两侧均固定连接有一号加强筋18，支撑端架13的下端固定连接有支撑脚14，支撑脚14的侧面固定连接有稳定连杆15，滑动卡块21的两侧均固定连接有二号加强筋22，滑动卡块21的一侧开设有卡接端槽26，卡接端槽26的内部卡接固定有压力检测器25，压力检测器25的上端固定连接有防护橡胶片24。
26.其整个下料结构1与移动结构2达到的效果为，通过二号加强筋22与一号加强筋18的设置，分别用于增加滑动卡块21和支撑侧耳17的强度，同时二号加强筋22可起到对支撑侧耳17限位的作用，以使得落料桶16跟随滑动卡块21的移动而移动，通过压力检测器25的设置，用于对落料桶16的重量进行检测，在落料桶16盛放物料快满时，将信息传递，以进行提示，对落料桶16进行更换。
27.工作原理：在使用时，将落料桶16放在支撑端架13内，使得落料桶16两侧的支撑侧耳17卡接在滑动卡块21上，随后将连续退火炉本体11启动，下料口12排出物料，物料流入其中一个落料桶16内，通过压力检测器25对落料桶16的重量进行检测，通过防护橡胶片24对压力检测器25进行防护，在物料盛放块满时，信息传递至总控台，发出提示，随后人工操控单向液压缸27伸出或收缩，推动滑动卡块21移动，将落料桶16进行更换。
28.本技术方案中，压力检测器25与单向液压缸27均为现有技术，在此不做过多阐述。
29.以上，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非是对本实用新型作其它形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例应用于其它领域，但是凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型，仍属于本实用新型技术方案的保护范围。