一种排湿装置、送风管和空调机的制作方法

1.本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种排湿装置、送风管和空调机。


背景技术：

2.空调机是一种能够控制和维持进入光刻机空气湿度的设备。它是通过给加湿槽加热，产生水蒸气，然后由风机直接通入机台内部，由此控制光刻机湿度。如果出现空调机紧急停止，大量水蒸气在没有风机的作用下，聚集在加湿槽上方止步不前，一旦空调机再次开启，聚集的水蒸气一起侵入机台，导致机台内部湿气过量，严重影响透镜组的镜头、防护玻璃片等，由于透镜组镜头受到污染，导致出现大量散射光，使实际能量增强，导致cdu量测值异常。同时，防护玻璃片的劣化，会导致均匀性传感器接收能量偏小，为了达到实际曝光能量，机台接收指令后，在原有的能量基础上再次增加，这样将导致实际能量变大，cdu量测异常。而光刻机老旧机型设计时没有预留排湿口，存在设计缺陷，无法在空调机启停时实施有效除湿，容易导致透镜组镜头以及斑点的污染。
3.为了解决上述问题，现有技术中最常用的方案是使用遮挡板阻断空调机与机台内部通风，使多余湿气排放于大气之中。待温湿度安定后，取出遮挡板，让空调机直接与机台内部通风，从而减少透镜组镜头以及斑点的污染。但是该方案存在着遮挡板无法完全贴合，仍会造成较多水蒸气直接进入机台内部的缺陷。
4.因此，如何提供一种排湿装置、送风管和空调机，以克服现有技术中存在的上述缺陷，日益成为本领域技术人员亟待解决的技术问题之一。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种排湿装置、送风管和空调机，以解决现有技术存在的在空调机紧急停止后，导致大量水蒸气聚集在加湿槽上方止步不前，一旦空调机再次开启，聚集的水蒸气一起侵入机台，导致机台内部湿气过量，严重影响透镜组镜头以及斑点的污染问题。
6.为了达到上述目的，本实用新型提供了一种排湿装置，所述排湿装置连接空调机和送风管，所述排湿装置包括腔体，所述腔体上设置有进气管、出气管和排湿管；
7.其中，所述进气管连接所述空调机的湿气出口；
8.所述出气管连接所述送风管的一端管口；
9.所述出气管的管口和所述排湿管的管口分别可开合，当所述腔体内的气体湿度超过预设值，所述出气管的管口关闭，所述排湿管的管口开启；
10.当所述腔体内的气体湿度在预设值内，所述出气管的管口开启，所述排湿管的管口关闭。
11.可选的，所述进气管的管口大小与所述空调机的湿气出口大小相同，所述进气管与所述空调机的湿气出口密封连接。
12.可选的，所述出气管的管口大小与其连接的所述送风管的一端管口大小相同，所
述出气管与所述送风管的一端管口密封连接。
13.可选的，所述排湿管的管口和所述出气管的管口分别设置有阀门，当所述腔体内的水蒸气超过预设值，所述出气管的管口处的所述阀门关闭，所述排湿管的管口处的所述阀门开启；
14.当所述腔体内的水蒸气在预设值内，所述出气管的管口处的所述阀门开启，所述排湿管的管口处的所述阀门关闭。
15.可选的，所述进气管的开口方向与所述出气管的开口方向和/或排湿管的开口方向不同。
16.可选的，还包括检测单元，所述检测单元位于所述腔体内，用于检测所述排湿装置内的湿度变化。
17.本实用新型提供了一种送风管，包括上述任一项所述的排湿装置。
18.本实用新型还提供了一种空调机，包括上述的送风管。
19.可选的，还包括风机，所述风机被配置为将水蒸气吹向所述排湿装置内。
20.可选的，还包括加湿槽，所述加湿槽为所述排湿装置提供水蒸气。
21.与现有技术相比，本实用新型提供的一种排湿装置、送风管和空调机具有以下有益效果：
22.本实用新型提供的一种排湿装置，所述排湿装置连接空调机和送风管，所述排湿装置包括腔体，所述腔体上设置有进气管、出气管和排湿管；其中，所述进气管连接所述空调机的湿气出口；所述出气管连接所述送风管的一端管口；所述出气管的管口和所述排湿管的管口分别可开合，当所述腔体内的气体湿度超过预设值，所述出气管的管口关闭，所述排湿管的管口开启；当所述腔体内的气体湿度在预设值内，所述出气管的管口开启，所述排湿管的管口关闭。本实用新型提供的排湿装置，能够在所述空调机发生故障后导致大量的水蒸气聚集后，再次启动空调机时，当大量的水蒸气通过所述进气管进入所述排湿装置，可以通过控制所述出气管处于闭合状态，所述排湿管处于打开状态，使得所述排湿装置内多余的水蒸气通过所述排湿管进入到空气中，直到所述排湿装置内的气体湿度处于正常范围内，关闭所述排湿管，打开所述出气管，从而避免大量的湿气通过所述出气管进入所述送风管内。由此，使得通过所述出气管进入到所述送风管内并最终进入机台的气体湿度正常，不会影响机台内部的湿度，从而减少透镜组镜头污染以及斑点污染。
23.由于本实用新型提供的送风管和空调机与本实用新型提供的所述排湿装置属于同一实用新型构思，因此，至少具有相同的有益效果，在此，不再一一赘述。
附图说明
24.图1为本实用新型一实施例提供的排湿装置的立体图；
25.图2为本实用新型一实施例提供的排湿装置的正视图；
26.图3为本实用新型一实施例提供的排湿装置的俯视图；
27.图4为本实用新型一实施例提供的排湿装置、送风管和空调机的连接示意图；
28.其中，100-腔体，200-排湿管，300-出气管，400-进气管，500-送风管，600-空调机。
具体实施方式
29.下面将结合示意图对本实用新型的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。应当了解，说明书附图并不一定按比例的显示本实用新型的具体结构，并且在说明书附图中用于说明本实用新型某些原理的图示性特征也会采取略微简化的画法。本文所公开的本实用新型的具体设计特征包括例如具体尺寸、方向、位置和外形将部分地由具体所要应用和使用的环境来确定。以及，在以下说明的实施方式中，有时在不同的附图之间共同使用同一附图标记来表示相同部分或具有相同功能的部分，而省略其重复说明。在本说明书中，使用相似的标号和字母表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
30.在适当情况下，如此使用的这些术语可替换。类似的，如果本文所述的方法包括一系列任务，且本文所呈现的这些任务的顺序并非必须是可执行这些任务的唯一顺序，且一些所述的任务可被省略和/或一些本文未描述的其他任务可被添加到该方法。
31.实施例一
32.本实施例提供了一种排湿装置，参见附图1-附图4，图1-图4分别为本实施例提供的排湿装置的立体图、正视图和俯视图，图4为排湿装置、送风管和空调机的连接示意图。结合图1-图4可以明显看出，本实施例提供的排湿装置，所述排湿装置连接空调机600和送风管500，所述排湿装置包括腔体100，所述腔体100上设置有进气管400、出气管300和排湿管200；其中，所述进气管400连接所述空调机600的湿气出口；所述出气管300连接所述送风管500的一端管口；所述出气管300的管口和所述排湿管200的管口分别可开合，当所述腔体100内的气体湿度超过预设值，所述出气管300的管口关闭，所述排湿管200的管口开启；当所述腔体100内的气体湿度在预设值内，所述出气管300的管口开启，所述排湿管200的管口关闭。
33.如此设置，本实用新型提供的排湿装置，能够在所述空调机600发生故障后导致大量的水蒸气聚集后，再次启动空调机600时，当大量的水蒸气通过所述进气管400进入所述排湿装置，可以通过控制所述出气管300处于闭合状态，所述排湿管200处于打开状态，使得所述排湿装置内多余的水蒸气通过所述排湿管200进入到空气中，直到所述排湿装置内的气体湿度处于正常范围内，关闭所述排湿管200，打开所述出气管300，从而避免大量的湿气通过所述出气管300进入所述送风管500内。由此，使得通过所述出气300管进入到所述送风管500内并最终进入机台的气体湿度正常，不会影响机台内部的湿度，从而减少透镜组镜头污染以及斑点污染。
34.优选的，所述进气管400的管口大小与所述空调机600的湿气出口大小相同，所述进气管400与所述空调机600的湿气出口密封连接。由此，能够保障当气体湿度处于正常范围时，水蒸气从所述空调机600进入所述排湿装置时，不会在所述空调机600的湿气出口和所述排湿装置的进气管400的连接处产生泄漏。
35.优选的，所述出气管300的管口大小与其连接的所述送风管500的一端管口大小相同，所述出气管300与所述送风管500的一端管口密封连接。由此，能够保障当气体湿度处于正常范围时，水蒸气从所述排湿装置进入所述送风管500时，不会在所述排湿装置的进气管
400和所述送风管500的连接处产生泄漏。
36.优选的，所述排湿管200的管口和所述出气管300的管口分别设置有阀门(图中未示出)，当所述腔体100内的水蒸气超过预设值，所述出气管300的管口处的所述阀门关闭，所述排湿管200的管口处的所述阀门开启；当所述腔体100内的水蒸气在预设值内，所述出气管300的管口处的所述阀门开启，所述排湿管200的管口处的所述阀门关闭。由此，所述排湿装置可以根据实际情况自由的控制所述出气管300和所述排湿管200的开合，从而保证进入机台的水蒸气的含量正常。
37.优选的，所述进气管400的开口方向与所述出气管300的开口方向和/或排湿管200的开口方向不同。较佳的，在其中一种优选实施方式中，所述进气管400的方向与所述出气管300的开口方向和所述排湿管200的开口方向均不相同。在另外一种优选实施方式中，所述进气管400的开口方向、所述出气管300的开口方向和所述排湿管200的开口方向彼此两两垂直。需要进一步说明的是，无论所述进气管400的开口方向、所述出气管300的开口方向和排湿管200的开口方向处于那种情况，本实用新型提供的排湿装置都能够方便的与所述空调机600和所送风管500连接，并且避免安装时，所述出气管300与所述空调机600之间，或所述排湿管200与所述空调机600之间发生干涉，导致安装失败。
38.优选的，所述排湿装置还包括检测单元(图中未示出)，所述检测单元位于所述腔体100内，用于检测所述排湿装置内的湿度变化。由此，可以根据所述检测单元判断水蒸气的含量，合理控制所述出气管300和所述排湿管200的开合。
39.实施例二
40.本实用新型还提供了一种送风管500，包括上述任一项所述的排湿装置，能够在所述空调机600发生故障后导致大量的水蒸气聚集后，再次启动空调机600时，当大量的水蒸气通过所述进气管400进入所述排湿装置，可以通过控制所述出气管300处于闭合状态，所述排湿管200处于打开状态，使得所述排湿装置内多余的水蒸气通过所述排湿管200进入到空气中，直到所述排湿装置内的气体湿度处于正常范围内，关闭所述排湿管200，打开所述出气管300，从而避免大量的湿气通过所述出气管300进入所述送风管500内。由此，使得通过所述出气300管进入到所述送风管500内并最终进入机台的气体湿度正常，不会影响机台内部的湿度，从而减少透镜组镜头污染以及斑点污染。
41.实施例三
42.本实用新型还提供了一种空调机600，由于本实用新型提供的空调机600与本实用新型提供的所述排湿装置以及上述的送风管500属于同一实用新型构思，因此，至少具有相同的有益效果，在此，不再一一赘述。
43.优选的，在其中一种示范性实施方式中，所述空调机600还包括风机，所述风机被配置为将水蒸气吹向所述排湿装置内，由此，可以加快所述水蒸气经由所述排湿装置流向送风管500或排湿管200的速度，提高流通效率。
44.优选的，在其中一种示范性实施方式中，所述空调机600还包括加湿槽，所述加湿槽为所述排湿装置提供水蒸气，由此，通过加湿槽的设置，能够使得所述空调机600向所述送风管排出的空气具有一定的湿度。
45.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特
征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
46.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。
47.综上，在本实用新型提供的一种排湿装置，所述排湿装置连接空调机600和送风管500，所述排湿装置包括腔体100，所述腔体100上设置有进气管400、出气管300和排湿管200；其中，所述进气管400连接所述空调机600的湿气出口；所述出气管300连接所述送风管500的一端管口；所述出气管300的管口和所述排湿管200的管口分别可开合，当所述腔体100内的气体湿度超过预设值，所述出气管300的管口关闭，所述排湿管200的管口开启；当所述腔体100内的气体湿度在预设值内，所述出气管300的管口开启，所述排湿管200的管口关闭。本实用新型提供的排湿装置，能够在所述空调机600发生故障后导致大量的水蒸气聚集后，再次启动空调机600时，当大量的水蒸气通过所述进气管400进入所述排湿装置，可以通过控制所述出气管300处于闭合状态，所述排湿管200处于打开状态，使得所述排湿装置内多余的水蒸气通过所述排湿管200进入到空气中，直到所述排湿装置内的气体湿度处于正常范围内，关闭所述排湿管200，打开所述出气管300，从而避免大量的湿气通过所述出气管300进入所述送风管500内。由此，使得通过所述出气300管进入到所述送风管500内并最终进入机台的气体湿度正常，不会影响机台内部的湿度，从而减少透镜组镜头污染以及斑点污染。
48.由于本实用新型提供的送风管和空调机与本实用新型提供的所述排湿装置属于同一实用新型构思，因此，至少具有相同的有益效果，在此，不再一一赘述。
49.上述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不对本实用新型起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本实用新型的技术方案的范围内，对本实用新型揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本实用新型的技术方案的内容，仍属于本实用新型的保护范围之内。