一种IGBT材料生产用气氛炉的制作方法

一种igbt材料生产用气氛炉
技术领域
1.本发明涉及箱式气氛炉领域，具体为一种igbt材料生产用气氛炉。


背景技术：

2.igbt是绝缘栅双极型晶体管，是由bjt(双极型三极管)和mos(绝缘栅型场效应管)组成的复合全控型电压驱动式功率半导体器件，igbt是能源变换与传输的核心器件，俗称电力电子装置的“cpu”，igtb的芯片材料在生产过程中会使用到箱式气氛炉对材料进行烧结或试验。
3.现有的箱式气氛炉在使用过程中，在将坩埚放置在炉体内部后，首先需封闭二门，再将外部密封门对炉体进行密封处理，现有密封门的锁合方式为保证密封门对炉体内部空间有效的密封处理，是通过多颗螺栓和螺母将密封门与炉体锁合，锁合过程中使用者需要通过套筒对多颗螺母拧紧，整个过程耗时长，且安装拆卸较为费力，为此，我们提出了一种igbt材料生产用气氛炉。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种密封门可快速锁合且密封性能强的igbt材料生产用气氛炉，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种igbt材料生产用气氛炉，包括炉体和密封门，所述炉体的内侧设有炉口，且所述密封门的外侧开设有四组螺栓槽，所述炉体的前端嵌有密封条，且所述密封门的后端固定安装有顶块，所述炉体的外侧通过安装座活动设有四组同步杆，且每组所述同步杆的外侧均固定套接有连接座，每相邻两组所述同步杆的端头处通过锥齿轮连接，所述炉体的内侧开设有空腔，所述连接座的前端安装有螺栓，且所述螺栓的外侧螺纹套接有螺母，所述螺母的内侧开设有定位孔，所述螺栓与所述螺栓槽活动嵌合；紧锁机构，可方便使用者对所述密封门快速锁紧的所述紧锁机构安装于所述空腔的内侧，且所述紧锁机构的前端安装有可对所述紧锁机构转动的转动机构，使用者对一组螺栓进行翻转时，其他三组螺栓通过同步杆和锥齿轮的配合，可同步翻转，无需人工挨个对螺栓进行摆动。
6.优选的，所述紧锁机构包括活动安装于所述空腔内侧的主动齿轮，且所述主动齿轮的外侧啮合安装有若干组被动齿轮，所述螺栓槽的侧端安装有紧锁齿轮，且所述紧锁齿轮的啮齿部分嵌于所述螺栓槽的内侧，所述紧锁齿轮的内侧固定安装有连杆一，所述被动齿轮的内侧固定安装有连杆二，且所述连杆一和所述连杆二与所述密封门均活动嵌合，所述连杆一和所述连杆二的外侧通过传动轮一安装有传动带一，所述螺栓的外侧开设有若干组限位齿槽，且所述紧锁齿轮与所述限位齿槽活动啮合，所述连接座的内侧安装有限位件，当螺栓摆动至与螺栓槽有效嵌合时，此时的限位齿槽与紧锁齿轮相互啮合。
7.优选的，所述限位件包括开设于所述连接座内部的若干组半球槽，所述螺栓的内侧活动嵌有两组卡柱，且所述卡柱与半球槽活动嵌合，所述卡柱远离半球槽的一端设有挤
压弹簧，通过挤压弹簧对卡柱施加的压力，可防止螺栓的后端在连接座的内部随意转动。
8.优选的，所述转动机构包括固定嵌于所述密封门内侧的减速盘，且所述减速盘的输出端与所述主动齿轮为固定连接，所述减速盘的输入端固定安装有套筒，且所述套筒的内侧开设有两组滑槽，所述套筒的内侧活动套接有限位杆，且所述限位杆的前端固定安装有转动柄，所述限位杆的内侧固定安装有限位柱，且所述限位柱与所述滑槽活动嵌合，所述限位杆的后端设有弹簧四，所述转动柄与所述减速盘之间设有四组推挤件，可通过对转动柄的转动通过减速盘使主动齿轮进行转动，在刚开始转动时，通过限位柱和滑槽的嵌合，会出现小段部分空转的现象，空转发生过程中转动柄会出现后移的情况，在转动柄后移时便可触动推挤件。
9.优选的，所述推挤件包括固定安装于所述减速盘前端的气筒，且所述气筒的内侧活动嵌有活塞二，所述活塞二的前端固定安装有推杆，且所述推杆与所述气筒活动嵌合，所述活塞二的后端设有弹簧二，所述螺栓槽的侧端对应所述密封门的内侧开设有若干组密封腔二，且所述密封门的内侧还开设有密封腔一，所述密封腔一与相邻两组所述密封腔二相互连通，所述密封腔一的内侧活动嵌有活塞一，且所述活塞一的后端安装有弹簧一，所述密封腔二的内侧活动嵌有活塞柱，且所述活塞柱与所述密封门之间安装有弹簧三，所述密封腔一与所述气筒之间连通有气管，所述活塞柱的前端与所述定位孔活动嵌合，在活塞二被挤压时，可使活塞一对弹簧一压缩，其密封腔一内部的流体便会往密封腔二的内部输送，使得活塞柱顶出。
10.优选的，所述主动齿轮的外侧对应所述密封门的内部安装有密封机构，所述密封机构包括活动嵌于所述密封门内部的限位框，且所述限位框的后端固定安装有密封塞，所述密封门内侧活动嵌有四组螺杆，且所述螺杆螺纹贯穿于所述限位框，所述螺杆的外侧对应所述限位框的后端安装有弹簧五，所述螺杆的外侧安装有传动件，在减速盘的输出轴转动时，可通过传动件带动螺杆转动，四组螺杆的同步转动可使限位框带着密封塞向后移动，使密封塞对顶块和炉口之间的间隙进行填充封闭。
11.优选的，所述传动件包括固定安装于所述减速盘输出端外表面的齿轮一，且所述齿轮一的外侧啮合安装有四组齿轮二，所述齿轮二的前端固定安装有连杆三，且所述连杆三的前端与所述密封门活动嵌合，所述连杆三与所述螺杆之间通过传动轮二安装有传动带二，减速盘的输出端可通过齿轮一带动齿轮二转动，其齿轮二便可通过传动带二带动螺杆转动。
12.优选的，所述密封塞的后端表面与所述密封门的后端表面平齐，所述密封塞活动嵌于所述顶块和所述炉口之间，以保证密封门在刚与炉体闭合时，其密封塞不会对其两者之间的初次闭合造成影响。
13.优选的，所述限位齿槽的长度大于所述紧锁齿轮的厚度，是为了保证螺栓在移动至螺栓槽的内部时，使限位齿槽和紧锁齿轮有效的嵌合。
14.与现有技术相比，本发明的有益效果是：
15.本发明通过紧锁机构和转动机构的配合，在对密封门锁死时只需对转动柄进行转动，转动柄在出现部分空转后便可通过减速盘将主动齿轮转动，空转过程中转动柄的后移可将推挤件触动，推挤件通过定位孔对螺母进行限位，在转动柄持续转动时，紧锁齿轮带动螺栓自转，螺母不转动，其螺母便会向后移动对密封门夹紧处理，整个锁紧过程只需对转动
柄旋转一个动作，相较于现有的对多颗螺母进行锁紧处理，本发明更为省力便捷。
附图说明
16.图1为本发明整体结构示意图；
17.图2为本发明顶块结构示意图；
18.图3为本发明空腔结构示意图；
19.图4为本发明图3中a处放大图；
20.图5为本发明图3中b处放大图；
21.图6为本发明空腔内部结构示意图；
22.图7为本发明图6中c处放大图；
23.图8为本发明齿轮一和齿轮二结构示意图；
24.图9为本发明图8中d处结构放大图；
25.图10为本发明炉口结构示意图；
26.图11为本发明图10中e处结构放大图；
27.图12为本发明密封塞伸出结构示意图。
28.图中：1-炉体；2-炉口；3-密封门；4-螺栓槽；5-同步杆；6-连接座；7-螺栓；8-螺母；9-密封条；10-顶块；11-空腔；12-紧锁机构；13-转动机构；14-推挤件；15-密封机构；16-传动件；17-限位件；18-转动柄；19-减速盘；20-气筒；21-气管；22-活塞一；23-弹簧一；24-活塞二；25-弹簧二； 26-推杆；27-主动齿轮；28-被动齿轮；29-紧锁齿轮；30-传动带一；31-活塞柱；32-弹簧三；33-限位杆；34-套筒；35-限位柱；36-滑槽；37-弹簧四； 38-限位框；39-密封塞；40-齿轮一；41-齿轮二；42-螺杆；43-传动带二； 44-弹簧五；45-限位齿槽；46-定位孔；47-卡柱；48-挤压弹簧；49-密封腔一；50-密封腔二。
具体实施方式
29.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
30.实施例1
31.请参阅图1-图3，图示中的一种igbt材料生产用气氛炉，包括炉体1和密封门3，炉体1的内侧设有炉口2，且密封门3的外侧开设有四组螺栓槽4，炉体1的前端嵌有密封条9，且密封门3的后端固定安装有顶块10，炉体1 的外侧通过安装座活动设有四组同步杆5，且每组同步杆5的外侧均固定套接有连接座6，每相邻两组同步杆5的端头处通过锥齿轮连接，炉体1的内侧开设有空腔11，连接座6的前端安装有螺栓7，且螺栓7的外侧螺纹套接有螺母8，螺母8的内侧开设有定位孔46，螺栓7与螺栓槽4活动嵌合；紧锁机构12，可方便使用者对密封门3快速锁紧的紧锁机构12安装于空腔11的内侧，且紧锁机构12的前端安装有可对紧锁机构12转动的转动机构13，使用者对一组螺栓7进行翻转时，其他三组螺栓7通过同步杆5和锥齿轮的配合，可同步翻转，无需人工挨个对螺栓7进行摆动。
32.请参阅图3、图5、图10和图11，图示中紧锁机构12包括活动安装于空腔11内侧的主
动齿轮27，且主动齿轮27的外侧啮合安装有若干组被动齿轮 28，螺栓槽4的侧端安装有紧锁齿轮29，且紧锁齿轮29的啮齿部分嵌于螺栓槽4的内侧，紧锁齿轮29的内侧固定安装有连杆一，被动齿轮28的内侧固定安装有连杆二，且连杆一和连杆二与密封门3均活动嵌合，连杆一和连杆二的外侧通过传动轮一安装有传动带一30，螺栓7的外侧开设有若干组限位齿槽45，且紧锁齿轮29与限位齿槽45活动啮合，连接座6的内侧安装有限位件17，当螺栓7摆动至与螺栓槽4有效嵌合时，此时的限位齿槽45与紧锁齿轮29相互啮合。
33.请参阅图10和图11，图示中限位件17包括开设于连接座6内部的若干组半球槽，螺栓7的内侧活动嵌有两组卡柱47，且卡柱47与半球槽活动嵌合，卡柱47远离半球槽的一端设有挤压弹簧48，通过挤压弹簧48对卡柱47施加的压力，可防止螺栓7的后端在连接座6的内部随意转动。
34.请参阅图6和图7，图示中转动机构13包括固定嵌于密封门3内侧的减速盘19，且减速盘19的输出端与主动齿轮27为固定连接，减速盘19的输入端固定安装有套筒34，且套筒34的内侧开设有两组滑槽36，套筒34的内侧活动套接有限位杆33，且限位杆33的前端固定安装有转动柄18，限位杆33 的内侧固定安装有限位柱35，且限位柱35与滑槽36活动嵌合，限位杆33的后端设有弹簧四37，转动柄18与减速盘19之间设有四组推挤件14，可通过对转动柄18的转动通过减速盘19使主动齿轮27进行转动，在刚开始转动时，通过限位柱35和滑槽36的嵌合，会出现小段部分空转的现象，空转发生过程中转动柄18会出现后移的情况，在转动柄18后移时便可触动推挤件14。
35.请参阅图3-图5，图示中推挤件14包括固定安装于减速盘19前端的气筒20，且气筒20的内侧活动嵌有活塞二24，活塞二24的前端固定安装有推杆26，且推杆26与气筒20活动嵌合，活塞二24的后端设有弹簧二25，螺栓槽4的侧端对应密封门3的内侧开设有若干组密封腔二50，且密封门3的内侧还开设有密封腔一49，密封腔一49与相邻两组密封腔二50相互连通，密封腔一49的内侧活动嵌有活塞一22，且活塞一22的后端安装有弹簧一23，密封腔二50的内侧活动嵌有活塞柱31，且活塞柱31与密封门3之间安装有弹簧三32，密封腔一49与气筒20之间连通有气管21，活塞柱31的前端与定位孔46活动嵌合，在活塞二24被挤压时，可使活塞一22对弹簧一23压缩，其密封腔一49内部的流体便会往密封腔二50的内部输送，使得活塞柱31顶出。
36.对密封门3快速锁合的工作原理：使用者将密封门3与炉体1闭合后，对其中一个螺栓7进行摆动，将螺栓7与螺栓槽4进行啮合，通过同步杆5 和锥齿轮的作用使其他三组螺栓7可同步翻转，在螺栓7有效的与螺栓槽4 接触后，其紧锁齿轮29可与限位齿槽45进行啮合，使用者此时便可对转动柄18进行转动，在刚开始转动时，通过限位柱35和滑槽36的嵌合，会出现小段部分空转的现象，空转发生过程中转动柄18会出现后移的情况，在转动柄18后移时便可对四组推杆26进行推挤，使的活塞二24将气筒20内部的流体输送至密封腔一49的内部，并对弹簧一23挤压，弹簧一23受到压力后便可将活塞柱31顶出，在活塞柱31伸出密封门3后便可与定位孔46嵌合，对螺母8进行限位处理，在转动柄18持续转动时，便可通过减速盘19使主动齿轮27进行转动，主动齿轮27的转动便可通过被动齿轮28和传动带一30 使紧锁齿轮29转动，紧锁齿轮29便可通过限位齿槽45带动螺栓7自转，由于螺母8受到活塞柱31的限位，使得螺母8只能向后移动，使螺母8对密封门3紧锁处理，只通过一个转动柄18转动的动作，实现密封门3的快速锁紧，相较于现有的锁合方式更为便捷。
37.实施例2
38.请参阅图2、图6和图7，本实施方式对于实施例1进一步说明，主动齿轮27的外侧对应密封门3的内部安装有密封机构15，密封机构15包括活动嵌于密封门3内部的限位框38，且限位框38的后端固定安装有密封塞39，密封门3内侧活动嵌有四组螺杆42，且螺杆42螺纹贯穿于限位框38，螺杆 42的外侧对应限位框38的后端安装有弹簧五44，螺杆42的外侧安装有传动件16。
39.请参阅图8、图9，图示中传动件16包括固定安装于减速盘19输出端外表面的齿轮一40，且齿轮一40的外侧啮合安装有四组齿轮二41，齿轮二41 的前端固定安装有连杆三，且连杆三的前端与密封门3活动嵌合，连杆三与螺杆42之间通过传动轮二安装有传动带二43。
40.密封性能强的工作原理：在减速盘19的输出轴转动时，可通过齿轮一40 带动齿轮二41转动，其齿轮二41便可通过传动带二43带动螺杆42转动，四组螺杆42的同步转动可使限位框38带着密封塞39向后移动，使密封塞39 对顶块10和炉口2之间的间隙进行填充封闭，对密封门3与炉口2之间进行初次密封处理，在密封门3完全锁合后对密封条9的挤压，为二次密封处理，通过两种密封结构以保证炉体1在运行过程中，其内部的气氛不会出现泄露的情况。
41.实施例3
42.请参阅图2和图12，实施方式对于其它实施例进一步说明，密封塞39的后端表面与密封门3的后端表面平齐，密封塞39活动嵌于顶块10和炉口2 之间。
43.请参阅图5和图11，图示中限位齿槽45的长度大于紧锁齿轮29的厚度，是为了保证螺栓7在移动至螺栓槽4的内部时，使限位齿槽45和紧锁齿轮29 有效的嵌合。
44.本实施例中：密封塞39在初始状态下，其后端面与密封门3的后端面平齐，是为了保证密封门3在刚与炉体1闭合时，其密封塞39不会对其两者之间的初次闭合造成影响，其中限位齿槽45的长度大于紧锁齿轮29的厚度是为了使螺栓7摆动至螺栓槽4的内部后，使紧锁齿轮29的啮齿能充分有效的嵌入限位齿槽45的内部。
45.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
46.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。