一种用于硅晶圆片薄膜制备的退火炉的制作方法

1.本发明涉及退火炉技术领域，特别涉及一种用于硅晶圆片薄膜制备的退火炉。


背景技术：

2.退火炉使由专门为加热半导体晶片而设计的设备，退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，退火炉的作用是将材料加热到一定程度然后通过逐步退火的形式来降低温度的热处理炉，将晶粒细化，改善组织来提高工件的机械的性能。
3.现有的退火炉在对硅晶元片进行加工的时候，大多数都是将硅晶元片固定在退火炉的内部，但是该方式在拿取或者放置的时候存在一些问题，由于退火炉内部的温度过高，容易对工人的手部在成烫伤，从而会影响到退火炉对硅晶元片的加工效率，因此，本技术提供了一种用于硅晶圆片薄膜制备的退火炉来满足需求。


技术实现要素：

4.本技术的目的在于提供一种用于硅晶圆片薄膜制备的退火炉，实现了通过送料组件上的载物台对硅晶元片进行放置，然后通过动力组件带动送料组件上的螺纹杆进行转动，通过螺纹杆的转动使载物台移动到退火炉本体的内部进行加工。
5.为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于硅晶圆片薄膜制备的退火炉，包括设备箱，所述设备箱的底端固定连接有底座，所述底座的底端固定连接有支撑脚，所述设备箱的表面固定安装有控制面板，所述设备箱的表面固定安装有紧急开关，所述设备箱的顶端固定安装有加工台，所述加工台上固定安装有下箱体，所述下箱体的后侧铰接有合页，所述合页的另一侧铰接在上箱体上，所述上箱体上固定连接有把手；所述上箱体的顶端固定安装有加热设备，所述上箱体的内部固定安装有加热管，所述加热设备与加热管相互连接，所述下箱体的内部设置有退火炉本体，所述退火炉本体的一侧设置有入料口；还包括紧固组件、送料组件和动力组件，所述紧固组件用于对下箱体与上箱体之间进行安装，所述送料组件用于将物料送入到退火炉本体的内部进行加工，所述动力组件用于配合所述送料组件进行使用。
6.优选的，所述紧固组件包括固定安装在所述上箱体上的卡扣，所述卡扣的底端插设在操作盒的内部，所述操作盒固定安装在所述下箱体的表面，所述操作盒的内部转动连接有转轴，所述转轴上固定安装有凸轮轴，所述转轴的一端延伸至所述操作盒外，所述转轴的一端固定安装有调节盘。
7.优选的，所述操作盒的内部固定连接有一对滑杆，一对所述滑杆的一端固定连接有限位片，一对滑杆上滑动套设有同一个移动板，所述移动板的一侧固定连接有卡块，所述移动板的另一侧固定连接有拉杆，所述拉杆的另一端延伸至所述操作盒外，所述拉杆的另一端固定安装有控制杆。
8.优选的，所述拉杆上套设有弹簧，所述弹簧的两端分别与所述移动板的一侧与所述操作盒的内壁上固定连接。
9.优选的，所述凸轮轴上开设有卡槽，所述卡块的另一端插设在卡槽内。
10.优选的，所述送料组件包括固定安装在所述加工台上的一对导轨，一对所述导轨上滑动连接有滑块，所述加工台上固定安装有第一轴杆座，所述第一轴杆座上转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆的另一端转动连接在所述加工台的内壁上，所述螺纹杆的另一端固定安装有第一皮带轮，所述螺纹杆上套设有套块，所述套块固定安装有固定板，所述固定板的底端与所述滑块的顶端固定连接，所述固定板上固定连接有一对支撑杆，所述支撑杆的顶端插设有插销，所述滑块通过螺栓进行固定，所述螺栓固定连接在臂杆上，所述臂杆上固定连接有圆盘，所述圆盘上固定连接有一对固定柱，一对固定柱固定连接在载物台上。
11.优选的，所述套块的内部设置有内螺纹，所述套块与所述螺纹杆组成螺旋转动式结构。
12.优选的，所述支撑杆与所述固定板之间固定连接有加固筋，所述加固筋上固定连接有横杆。
13.优选的，所述动力组件包括固定安装在所述设备箱内部的伺服电机，所述伺服电机的输出端固定连接有输出杆，所述输出杆上套设有第二轴杆座，所述第二轴杆座固定安装在所述设备箱的内部，所述输出杆的另一端固定连接有第二皮带轮，所述第二皮带轮上套设有传动带，所述传动带的顶端套设在所述第一皮带轮上。
14.综上，本发明的技术效果和优点：
15.1、本发明结构合理，当需要对螺纹杆进行转动的时候，对设备箱表面的控制面板进行操作，通过控制面板的操作对伺服电机进行控制，使得伺服电机开始进行运作，伺服电机固定安装在设备箱的内部，在伺服电机的输出端固定连接有输出杆，通过伺服电机的转动使输出杆进行转动，在输出杆的另一端固定连接有第二皮带轮，通过输出杆的转动带动第二皮带轮进行转动，在第二皮带轮上套设有传动带，传动带的顶端套设在第一皮带轮上，第二皮带轮的转动通过传动带带动第一皮带轮进行转动，从而便于送料组件上一些列的部件进行工作；
16.2、本发明中，当需要对硅晶圆片进行退火处理的时候，将硅晶圆片放置在载物台上，然后通过动力单元使螺纹杆进行转动，在螺纹杆上螺纹连接有套块，且套块固定安装在固定板上，在固定板的底端还固定连接有滑块，且滑块滑动连接在导轨上，通过螺纹杆的转动使套块进行移动，通过套块的移动带动固定板进行移动，固定板的移动使支撑杆上的插销进行移动，在插销上固定安装有臂杆，且臂杆上固定安装有圆盘,圆盘上固定连接有固定柱，且固定柱上固定安装有载物台，通过插销的移动使载物台通过入料口移动到退火炉本体的内部进行加工处理；
17.3、本发明中，当需要对上箱体进行打开的时候，首先对拉杆上的控制杆进行拉动，通过操作盒拉动使拉杆带动移动板进行移动，移动板滑动连接在滑杆上，在滑杆的一端固定连接有限位片，防止移动板整体脱离处于滑杆外，通过移动板的另一侧固定连接有卡块，卡块通过弹簧的弹力卡设在凸轮轴的卡槽内，通过移动板的移动使卡块脱离出凸轮轴上的卡槽，然后对操作盒上的调节盘进行转动，通过调节盘的转动带动转轴进行转动，在转轴上固定安装有凸轮轴，凸轮轴卡设在卡扣上的凹槽，通过转轴的转动使凸轮轴脱离出卡扣上的凹槽，然后对上箱体上的把手进行拉动，从而便于对上箱体进行打开。
附图说明
18.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本技术的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
19.图1为设备箱立体结构示意图；
20.图2为设备箱仰视立体结构示意图；
21.图3为设备箱正视立体结构示意图；
22.图4为下箱体内部立体结构示意图；
23.图5为设备箱局部剖面立体结构示意图；
24.图6为送料组件立体结构示意图；
25.图7为操作盒内部立体结构示意图。
26.图中：1、设备箱；101、底座；102、支撑脚；103、控制面板；104、紧急开关；105、加工台；106、下箱体；107、合页；108、上箱体；109、把手；110、加热设备；112、加热管；113、退火炉本体；114、入料口；2、卡扣；201、操作盒；202、转轴；203、凸轮轴；204、调节盘；205、滑杆；206、限位片；207、移动板；208、卡块；209、拉杆；210、控制杆；212、弹簧；3、导轨；301、滑块；302、第一轴杆座；303、螺纹杆；304、第一皮带轮；305、套块；306、固定板；307、支撑杆；308、加固筋；309、横杆；310、插销；312、螺栓；313、臂杆；314、圆盘；315、固定柱；316、载物台；4、伺服电机；401、输出杆；402、第二轴杆座；403、第二皮带轮；404、传动带。
具体实施方式
27.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
28.实施例：参考图1-3所示的一种用于硅晶圆片薄膜制备的退火炉，包括设备箱1，设备箱1的底端固定连接有底座101，底座101的底端固定连接有支撑脚102，设备箱1的表面固定安装有控制面板103，设备箱1的表面固定安装有紧急开关104，设备箱1的顶端固定安装有加工台105，加工台105上固定安装有下箱体106，下箱体106的后侧铰接有合页107，合页107的另一侧铰接在上箱体108上，上箱体108上固定连接有把手109；上箱体108的顶端固定安装有加热设备110，上箱体108的内部固定安装有加热管112，加热设备110与加热管112相互连接，下箱体106的内部设置有退火炉本体113，退火炉本体113的一侧设置有入料口114；还包括紧固组件、送料组件和动力组件，紧固组件用于对下箱体106与上箱体108之间进行安装，送料组件用于将物料送入到退火炉本体113的内部进行加工，动力组件用于配合送料组件进行使用。
29.具体的，在此需要说明的是，加热设备110和伺服电机4之间都是通过导线与控制面板103进行电性连接，其之间具体的工作原理都是通过现有技术进行引用，在此不做过多的赘述，通过操作控制面板103使加热设备110进行运作使加热管112对退火炉本体113整体进行加热，然后通过伺服电机4的运作使送料组件将物料送入到退火炉本体113内部进行加
热工作。
30.作为本实施例中的一种实施方式，根据附图4所示，紧固组件包括固定安装在上箱体108上的卡扣2，卡扣2的底端插设在操作盒201的内部，操作盒201固定安装在下箱体106的表面，操作盒201的内部转动连接有转轴202，转轴202上固定安装有凸轮轴203，转轴202的一端延伸至操作盒201外，转轴202的一端固定安装有调节盘204，操作盒201的内部固定连接有一对滑杆205，一对滑杆205的一端固定连接有限位片206，一对滑杆205上滑动套设有同一个移动板207，移动板207的一侧固定连接有卡块208，移动板207的另一侧固定连接有拉杆209，拉杆209的另一端延伸至操作盒201外，拉杆209的另一端固定安装有控制杆210，拉杆209上套设有弹簧212，弹簧212的两端分别与移动板207的一侧与操作盒201的内壁上固定连接，凸轮轴203上开设有卡槽，卡块208的另一端插设在卡槽内。
31.具体的，当需要对上箱体108进行打开的时候，首先对拉杆209上的控制杆210进行拉动，通过操作盒201拉动使拉杆209带动移动板207进行移动，移动板207滑动连接在滑杆205上，在滑杆205的一端固定连接有限位片206，防止移动板207整体脱离处于滑杆205外，通过移动板207的另一侧固定连接有卡块208，卡块208通过弹簧212的弹力卡设在凸轮轴203的卡槽内，通过移动板207的移动使卡块208脱离出凸轮轴203上的卡槽，然后对操作盒201上的调节盘204进行转动，通过调节盘204的转动带动转轴202进行转动，在转轴202上固定安装有凸轮轴203，凸轮轴203卡设在卡扣2上的凹槽，通过转轴202的转动使凸轮轴203脱离出卡扣2上的凹槽，然后对上箱体108上的把手109进行拉动，从而便于对上箱体108进行打开。
32.作为本实施例中的一种实施方式，根据附图5和6所示，送料组件包括固定安装在加工台105上的一对导轨3，一对导轨3上滑动连接有滑块301，加工台105上固定安装有第一轴杆座302，第一轴杆座302上转动连接有螺纹杆303，螺纹杆303的另一端转动连接在加工台105的内壁上，螺纹杆303的另一端固定安装有第一皮带轮304，螺纹杆303上套设有套块305，套块305固定安装有固定板306，固定板306的底端与滑块301的顶端固定连接，固定板306上固定连接有一对支撑杆307，支撑杆307的顶端插设有插销310，滑块301通过螺栓312进行固定，螺栓312固定连接在臂杆313上，臂杆313上固定连接有圆盘314，圆盘314上固定连接有一对固定柱315，一对固定柱315固定连接在载物台316上，套块305的内部设置有内螺纹，套块305与螺纹杆303组成螺旋转动式结构，支撑杆307与固定板306之间固定连接有加固筋308，加固筋308上固定连接有横杆309。
33.具体的，当需要对硅晶圆片进行退火处理的时候，将硅晶圆片放置在载物台316上，然后通过动力单元使螺纹杆303进行转动，在螺纹杆303上螺纹连接有套块305，且套块305固定安装在固定板306上，在固定板306的底端还固定连接有滑块301，且滑块301滑动连接在导轨3上，通过螺纹杆303的转动使套块305进行移动，通过套块305的移动带动固定板306进行移动，固定板306的移动使支撑杆307上的插销310进行移动，在插销310上固定安装有臂杆313，且臂杆313上固定安装有圆盘314,圆盘314上固定连接有固定柱315，且固定柱315上固定安装有载物台316，通过插销310的移动使载物台316通过入料口114移动到退火炉本体113的内部进行加工处理。
34.作为本实施例中的一种实施方式，根据附图7所示，动力组件包括固定安装在设备箱1内部的伺服电机4，伺服电机4的输出端固定连接有输出杆401，输出杆401上套设有第二
轴杆座402，第二轴杆座402固定安装在设备箱1的内部，输出杆401的另一端固定连接有第二皮带轮403，第二皮带轮403上套设有传动带404，传动带404的顶端套设在第一皮带轮304上。
35.具体的，当需要对螺纹杆303进行转动的时候，对设备箱1表面的控制面板103进行操作，通过控制面板103的操作对伺服电机4进行控制，使得伺服电机4开始进行运作，伺服电机4固定安装在设备箱1的内部，在伺服电机4的输出端固定连接有输出杆401，通过伺服电机4的转动使输出杆401进行转动，在输出杆401的另一端固定连接有第二皮带轮403，通过输出杆401的转动带动第二皮带轮403进行转动，在第二皮带轮403上套设有传动带404，传动带404的顶端套设在第一皮带轮304上，第二皮带轮403的转动通过传动带404带动第一皮带轮304进行转动，从而便于送料组件上一些列的部件进行工作。
36.本发明工作原理：当需要对螺纹杆303进行转动的时候，对设备箱1表面的控制面板103进行操作，通过控制面板103的操作对伺服电机4进行控制，使得伺服电机4开始进行运作，伺服电机4固定安装在设备箱1的内部，在伺服电机4的输出端固定连接有输出杆401，通过伺服电机4的转动使输出杆401进行转动，在输出杆401的另一端固定连接有第二皮带轮403，通过输出杆401的转动带动第二皮带轮403进行转动，在第二皮带轮403上套设有传动带404，传动带404的顶端套设在第一皮带轮304上，第二皮带轮403的转动通过传动带404带动第一皮带轮304进行转动，从而便于送料组件上一些列的部件进行工作；
37.当需要对硅晶圆片进行退火处理的时候，将硅晶圆片放置在载物台316上，然后通过动力单元使螺纹杆303进行转动，在螺纹杆303上螺纹连接有套块305，且套块305固定安装在固定板306上，在固定板306的底端还固定连接有滑块301，且滑块301滑动连接在导轨3上，通过螺纹杆303的转动使套块305进行移动，通过套块305的移动带动固定板306进行移动，固定板306的移动使支撑杆307上的插销310进行移动，在插销310上固定安装有臂杆313，且臂杆313上固定安装有圆盘314,圆盘314上固定连接有固定柱315，且固定柱315上固定安装有载物台316，通过插销310的移动使载物台316通过入料口114移动到退火炉本体113的内部进行加工处理；
38.当需要对上箱体108进行打开的时候，首先对拉杆209上的控制杆210进行拉动，通过操作盒201拉动使拉杆209带动移动板207进行移动，移动板207滑动连接在滑杆205上，在滑杆205的一端固定连接有限位片206，防止移动板207整体脱离处于滑杆205外，通过移动板207的另一侧固定连接有卡块208，卡块208通过弹簧212的弹力卡设在凸轮轴203的卡槽内，通过移动板207的移动使卡块208脱离出凸轮轴203上的卡槽，然后对操作盒201上的调节盘204进行转动，通过调节盘204的转动带动转轴202进行转动，在转轴202上固定安装有凸轮轴203，凸轮轴203卡设在卡扣2上的凹槽，通过转轴202的转动使凸轮轴203脱离出卡扣2上的凹槽，然后对上箱体108上的把手109进行拉动，从而便于对上箱体108进行打开。
39.最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。