一种制备磷化铟晶片腐蚀液的控温加热设备的制作方法

1.本实用新型涉及磷化铟晶片技术领域，具体为一种制备磷化铟晶片腐蚀液的控温加热设备。


背景技术：

2.磷化铟单晶是周期系第ⅲ、v族化合物半导体，化学分子式为inp。共价键结合，有一定的离子键成分。属闪锌矿型结构，为复式晶格，晶格常数是0.58688nm，inp已经成为非常重要的半导体材料之一，主要应用于光电子技术和微波技术领域，而另一大有发展前途的应用领域是太阳能动力技术。
3.经检索，专利公告号为cn212648204u公开了一种磷化铟晶片退火装置，包括柱状罐体、密封盖和晶片台；柱状罐体、密封盖和晶片台所用材质均为石英；柱状罐体的顶部由密封盖密封；柱状罐体内侧壁上设有沿周边设置的支撑凸块，晶片台周边设有支撑耳，晶片台通过支撑耳水平放置在柱状罐体内的支撑凸块上；晶片台上表面设有一个以上的弧形凹坑，每个弧形凹坑均沿周边设有环形支撑台阶，环形支撑台阶上设有沿宽度方向设置的通槽。
4.现有的制备磷化铟晶片腐蚀液的控温加热设备存在的缺陷是：
5.1、现有的制备磷化铟晶片腐蚀液的控温加热设备，当装置进行使用时，装置内部腐蚀液无法进行均匀加热，导致内部腐蚀液易出现温差，降低了装置使用效果；
6.2、现有的制备磷化铟晶片腐蚀液的控温加热设备，当装置进行使用时，装置内部出料时，易与异物一起出料，不仅降低了装置的筛选难度，同时降低了装置的出料品质。


技术实现要素：

7.本实用新型的目的在于提供一种制备磷化铟晶片腐蚀液的控温加热设备，以解决上述背景技术中提出的问题。
8.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种制备磷化铟晶片腐蚀液的控温加热设备，包括加热箱、电机和隔板，所述加热箱一侧安装有侧板，所述侧板一侧安装有机箱，所述加热箱另一侧安装有舱门，所述机箱内部安装有电机，所述电机另一侧的加热箱内部安装有传动杆，所述传动杆外围安装有搅拌扇叶，所述加热箱内部安装有隔板，所述隔板内部两端设置有滑轨，所述滑轨内部滑动安装有滑块，所述滑块之间安装有过滤板，所述过滤板内部安装有过滤网，所述过滤板顶部安装有把手，所述把手外围安装有防滑垫。
9.本实用新型提供一种制备磷化铟晶片腐蚀液的控温加热设备，通过在加热箱一侧安装有侧板，当装置内部进行加热时，工作人员可通过启动电机带动传动杆外围的搅拌扇叶在加热箱内部对腐蚀液进行搅拌，使加热箱内部腐蚀液进行整体均匀加热，防止内部出现温度差，降低了装置的使用效果，增加了装置使用的局限性，当装置进行出料时，内部腐蚀液经过过滤网时，可对腐蚀液内部杂物进行过滤，提升了装置的出料效果，同时工作人员可通过握住防滑垫拉动把手带动过滤板两侧安装的滑块在滑轨内部进行滑动，对过滤网表
面异物进行清理，提升了装置使用的便捷性。
10.优选的，所述机箱一侧安装有散热窗，散热窗一侧安装有散热网。当装置长时间进行使用时，装置可通过散热窗与散热网对内部进行散热，提升了装置使用的安全性。
11.优选的，所述加热箱底部安装有支撑板，支撑板底部安装有底板。当装置进行试用时，可通过支撑板与底板使装置保持稳定，提升了装置使用的稳定性。
12.优选的，所述加热箱一端安装有操作台，操作台一端安装有显示屏，显示屏另一侧的操作台一端安装有操作按钮。当装置进行使用时，可通过显示屏与操作按钮对装置内部温度进行观测与调试，提升了装置使用的便捷性。
13.优选的，所述舱门另一侧安装有拉把，拉把外围安装有防护垫。当工作人员拉动拉把时可通过握住防护垫增加手部与装置之间的摩擦，防止手滑，提升了装置使用的安全性。
14.优选的，所述加热箱另一端安装有观察窗，观察窗另一端安装有玻璃窗。当装置进行使用时，可通过观察窗与玻璃窗对内部腐蚀情况进行观测，提升了装置使用的便捷性。
15.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
16.1、通过在加热箱一侧安装有侧板，当装置内部进行加热时，工作人员可通过启动电机带动传动杆外围的搅拌扇叶在加热箱内部对腐蚀液进行搅拌，使加热箱内部腐蚀液进行整体均匀加热，防止内部出现温度差，降低了装置的使用效果，增加了装置使用的局限性。
17.2、通过在加热箱内部安装有隔板，当装置进行出料时，内部腐蚀液经过过滤网时，可对腐蚀液内部杂物进行过滤，提升了装置的出料效果，同时工作人员可通过握住防滑垫拉动把手带动过滤板两侧安装的滑块在滑轨内部进行滑动，对过滤网表面异物进行清理，提升了装置使用的便捷性。
附图说明
18.图1为本实用新型的立体图；
19.图2为本实用新型的背视图；
20.图3为本实用新型的传动杆局部结构示意图；
21.图4为本实用新型的过滤板局部结构示意图。
22.图中：1、加热箱；101、侧板；102、机箱；103、散热窗；104、散热网；105、支撑板；106、底板；107、显示屏；108、操作按钮；109、防护垫；110、拉把；111、舱门；112、操作台；113、观察窗；114、玻璃窗；2、电机；201、搅拌扇叶；202、传动杆；3、隔板；301、滑轨；302、滑块；303、过滤板；304、过滤网；305、防滑垫；306、把手。
具体实施方式
23.下文结合附图和具体实施例对本实用新型的技术方案做进一步说明。
24.实施例一
25.如图2-4所示，本实用新型提出的一种制备磷化铟晶片腐蚀液的控温加热设备，包括底板1、油烟板2和检测器3，底板1顶部安装有顶板侧板101，顶板侧板101底部安装有吸烟板机箱102，吸烟板机箱102底部安装有油烟板2，油烟板2内部安装有过滤网搅拌扇叶201，油烟板2内部安装有螺纹块203，螺纹块203内部螺纹安装有安装丝杆205，安装丝杆205外围
的螺纹块203底部安装有垫片204，吸烟板机箱102内部设置有螺纹槽206，底板1一端安装有检测器3，检测器3一端安装有显示屏滑轨301，显示屏滑轨301底部的检测器3外围安全安装有检测按钮滑块302，检测按钮滑块302底部的检测器3一端安装有进气网过滤板303。
26.基于实施例1的制备磷化铟晶片腐蚀液的控温加热设备工作原理是：当装置内部进行加热时，工作人员可通过启动电机2带动传动杆202外围的搅拌扇叶201在加热箱1内部对腐蚀液进行搅拌，使加热箱1内部腐蚀液进行整体均匀加热，防止内部出现温度差，降低了装置的使用效果，增加了装置使用的局限性，当装置进行出料时，内部腐蚀液经过过滤网304时，可对腐蚀液内部杂物进行过滤，提升了装置的出料效果，同时工作人员可通过握住防滑垫305拉动把手306带动过滤板303两侧安装的滑块302在滑轨301内部进行滑动，对过滤网304表面异物进行清理，提升了装置使用的便捷性。
27.实施例二
28.如图1-4所示，本实用新型提出的一种制备磷化铟晶片腐蚀液的控温加热设备，相较于实施例一，本实施例还包括：机箱102一侧安装有散热窗103，散热窗103一侧安装有散热网104，加热箱1底部安装有支撑板105，支撑板105底部安装有底板106，加热箱1一端安装有操作台112，操作台112一端安装有显示屏107，显示屏107另一侧的操作台112一端安装有操作按钮108，舱门111另一侧安装有拉把110，拉把110外围安装有防护垫109，加热箱1另一端安装有观察窗113，观察窗113另一端安装有玻璃窗114。
29.本实施例中，当装置长时间进行使用时，装置可通过散热窗103与散热网104对内部进行散热，提升了装置使用的安全性，当装置进行试用时，可通过支撑板105与底板106使装置保持稳定，提升了装置使用的稳定性，当装置进行使用时，可通过显示屏107与操作按钮108对装置内部温度进行观测与调试，提升了装置使用的便捷性，当工作人员拉动拉把110时可通过握住防护垫109增加手部与装置之间的摩擦，防止手滑，提升了装置使用的安全性，当装置进行使用时，可通过观察窗113与玻璃窗114对内部腐蚀情况进行观测，提升了装置使用的便捷性。
30.上述具体实施例仅仅是本实用新型的几种优选的实施例，基于本实用新型的技术方案和上述实施例的相关启示，本领域技术人员可以对上述具体实施例做出多种替代性的改进和组合。