一种连退机组退火炉内炉辊防结瘤控制装置的制作方法

1.本实用新型涉及炉辊防结瘤技术领域，具体为一种连退机组退火炉内炉辊防结瘤控制装置。


背景技术：

2.退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。
3.经检索，专利公告号为cn215832450u公开了一种窑炉辊棒限位装置，设置于辊棒上方的限位件，所述限位件的底部开设有与所述辊棒相适配的限位槽，所述限位槽在辊棒爬升时限位辊棒移动，以使辊棒保持初始位置旋转。本实用新型所提供的窑炉辊棒限位装置通过在辊棒上方设置限位件，所述限位件的底部开设有与所述辊棒相适配的限位槽，所述限位槽在辊棒爬升时限位辊棒移动，以使辊棒保持初始位置，避免辊棒窜动，保证辊棒能够在初始位置处稳定转动，从而稳定地带动物料移动。
4.现有的连退机组退火炉内炉辊防结瘤控制装置存在的缺陷是：
5.1、目前的连退机组退火炉内炉辊防结瘤控制装置没有较好的固定机构，无法快速对内炉辊进行限位，影响后期实际清理；
6.2、一般连退机组退火炉内炉辊防结瘤控制装置没有较好的清洗和烘干机构，无法快速进行清洗后烘干，影响后期实际清理效率。


技术实现要素：

7.本实用新型的目的在于提供一种连退机组退火炉内炉辊防结瘤控制装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
8.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种连退机组退火炉内炉辊防结瘤控制装置，包括外壳、箱体和连接板，所述外壳的内壁底端面安装有箱体，且外壳的两端均嵌入固定有进气管，所述外壳的内壁焊接有隔板，且隔板的内壁固定有第一液压杆，所述第一液压杆的底端面安装有连接板，且连接板的底端面焊接有限位件，所述限位件内滑动套接有炉辊本体，所述连接板的底端面固定安装有连接架，所述连接架的侧端面安装有第二液压杆，且第二液压杆的侧端面通过限位架安装有连接杆。
9.优选的，所述进气管的内壁两端均贴合安装有陶瓷加热管，且进气管内固定有风机。通过进气管内固定有风机，使炉辊本体进行清洗后打开风机进行进气，进气时人员外接电源打开陶瓷加热管对气体进行加热，使加热后的气体可对炉辊本体进行烘干。
10.优选的，所述外壳的顶端面嵌入固定有出气管，且出气管与外壳气体连通。通过出气管与外壳气体连通，使气体可进行快速排出。
11.优选的，所述外壳的底端面焊接有支撑块，支撑块共设有四个，且四个支撑块相对外壳呈矩形阵列分布。通过支撑块对外壳进行支撑和限位。
12.优选的，所述箱体的内壁底端面安装有转轴，且转轴上安装有刷毛。通过箱体的内
壁底端面安装有转轴，使炉辊本体进入箱体内后，人员外接电源打开动力装置带动转轴进行转动，转轴转动时带动刷毛对炉辊本体进行清洗。
13.优选的，所述连接杆的侧端面安装有固定架，且固定架滑动套接在限位件内对炉辊本体进行限位。通过固定架滑动套接在限位件内对炉辊本体进行限位，方便打开第二液压杆推动固定架对炉辊本体进行夹持。
14.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
15.1、本实用新型通过设置限位件，人员在对炉辊本体进行防结瘤时，人员对炉辊本体进行拆卸，拆卸后人员将炉辊本体滑动插接在限位件内，插接后通过固定架滑动套接在限位件内对炉辊本体进行限位，方便打开第二液压杆推动固定架对炉辊本体进行夹持，使炉辊本体固定更加便捷，固定后人员打开第一液压杆推动炉辊本体进入箱体内进行清洗，使实用性更高，清洗时固定更加便捷，清洗后打开第二液压杆带动固定架即可对炉辊本体进行松开，方便后期进行拿取。
16.2、本实用新型通过设置外壳，第一液压杆推动炉辊本体进入箱体内进行清洗时，人员对箱体内注入清洗水体，注入后通过箱体的内壁底端面安装有转轴，使炉辊本体进入箱体内后，人员外接电源打开动力装置带动转轴进行转动，转轴转动时带动刷毛对炉辊本体进行清洗，清洗后通过进气管内固定有风机，使炉辊本体进行清洗后打开风机进行进气，进气时人员外接电源打开陶瓷加热管对气体进行加热，使加热后的气体可对炉辊本体进行烘干，使实用性更高，清洗后烘干更加便捷，可快速对炉辊本体进行防结瘤。
附图说明
17.图1为本实用新型的主视结构示意图；
18.图2为本实用新型的图1中a的放大结构示意图；
19.图3为本实用新型的连接板仰视结构示意图。
20.图中：1、支撑块；2、转轴；3、外壳；4、刷毛；5、箱体；6、进气管；7、隔板；8、第一液压杆；9、出气管；10、陶瓷加热管；11、风机；12、第二液压杆；13、连接架；14、连接杆；15、炉辊本体；16、限位架；17、连接板；18、限位件；19、固定架。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
23.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连
接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
24.实施例一
25.如图1-3所示，本实用新型提出的一种连退机组退火炉内炉辊防结瘤控制装置，包括外壳3、箱体5和连接板17，外壳3的内壁底端面安装有箱体5，且外壳3的两端均嵌入固定有进气管6，外壳3的底端面焊接有支撑块1，支撑块1共设有四个，且四个支撑块1相对外壳3呈矩形阵列分布，外壳3的内壁焊接有隔板7，且隔板7的内壁固定有第一液压杆8，第一液压杆8的底端面安装有连接板17，且连接板17的底端面焊接有限位件18，限位件18内滑动套接有炉辊本体15，连接板17的底端面固定安装有连接架13，箱体5的内壁底端面安装有转轴2，且转轴2上安装有刷毛4，连接架13的侧端面安装有第二液压杆12，且第二液压杆12的侧端面通过限位架16安装有连接杆14，连接杆14的侧端面安装有固定架19，且固定架19滑动套接在限位件18内对炉辊本体15进行限位。
26.基于实施例1的一种连退机组退火炉内炉辊防结瘤控制装置工作原理是：人员在对炉辊本体15进行防结瘤时，人员对炉辊本体15进行拆卸，拆卸后人员将炉辊本体15滑动插接在限位件18内，插接后通过固定架19滑动套接在限位件18内对炉辊本体15进行限位，方便打开第二液压杆12推动固定架19对炉辊本体15进行夹持，使炉辊本体15固定更加便捷，固定后人员打开第一液压杆8推动炉辊本体15进入箱体5内进行清洗，使实用性更高，清洗时固定更加便捷，清洗后打开第二液压杆12带动固定架19即可对炉辊本体15进行松开，方便后期进行拿取。
27.实施例二
28.如图1-3所示，本实用新型提出的一种连退机组退火炉内炉辊防结瘤控制装置，相较于实施例一，本实施例还包括：外壳3、箱体5和连接板17，外壳3的内壁底端面安装有箱体5，且外壳3的两端均嵌入固定有进气管6，外壳3的顶端面嵌入固定有出气管9，且出气管9与外壳3气体连通，进气管6的内壁两端均贴合安装有陶瓷加热管10，且进气管6内固定有风机11，外壳3的内壁焊接有隔板7，且隔板7的内壁固定有第一液压杆8，第一液压杆8的底端面安装有连接板17，且连接板17的底端面焊接有限位件18，限位件18内滑动套接有炉辊本体15，连接板17的底端面固定安装有连接架13，连接架13的侧端面安装有第二液压杆12，且第二液压杆12的侧端面通过限位架16安装有连接杆14，转轴2需要提供动力装置以使得其正常工作，并且正如本领域技术人员所熟知的，所述动力的提供司空见惯，其均属于常规手段或者公知常识，在此就不再赘述，本领域技术人员可以根据其需要或者便利进行任意的选配。动力装置带动转轴2发生转动。
29.本实施例中，第一液压杆8推动炉辊本体15进入箱体5内进行清洗时，人员对箱体5内注入清洗水体，注入后通过箱体5的内壁底端面安装有转轴2，使炉辊本体15进入箱体5内后，人员外接电源打开动力装置带动转轴2进行转动，转轴2转动时带动刷毛4对炉辊本体15进行清洗，清洗后通过进气管6内固定有风机11，使炉辊本体15进行清洗后打开风机11进行进气，进气时人员外接电源打开陶瓷加热管10对气体进行加热，使加热后的气体可对炉辊本体15进行烘干，使清洗后烘干更加便捷，可快速对炉辊本体15进行防结瘤。
30.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而
且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。