晶圆装载机及立式炉的制作方法

1.本实用新型大致涉及半导体制备技术领域，尤其是一种晶圆装载机及立式炉。


背景技术：

2.半导体立式炉是半导体生产线的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。晶圆装载机是用来开启晶圆传输盒并为晶圆的传输提供方便的设备，也是半导体立式炉的重要组成部分。
3.目前，在对半导体立式炉进行保养维护时，需要将晶圆装载机移出，以方便人员进入设备内部进行相关操作，在保养维护完成后，为了将晶圆装载机装回原位，通常需要大量时间调整晶圆装载机的位置，以避免晶圆装载机的位置与原始位置不一致而导致的设备运转异常的情况。
4.背景技术部分的内容仅仅是发明人所知晓的技术，并不当然代表本领域的现有技术。


技术实现要素：

5.针对现有技术中的一个或多个缺陷，本实用新型提供一种晶圆装载机，包括：
6.晶圆装载机本体；
7.第一定位件；和
8.活动架台，连接有第二定位件；
9.其中，所述晶圆装载机本体安装于所述活动架台，所述第二定位件配置成能够通过随所述活动架台水平移动与所述第一定位件对接。
10.根据本实用新型的一个方面，所述第二定位件和所述第一定位件分别设置有互相配合的定位凸起和/或定位槽。
11.根据本实用新型的一个方面，所述定位槽包括槽底面和槽侧面，所述槽侧面配置成能够引导所述定位凸起深入定位槽完成定位。
12.根据本实用新型的一个方面，所述定位槽为梯形槽、v形槽或弧形槽。
13.根据本实用新型的一个方面，所述活动架台底部设置有行走轮。
14.根据本实用新型的一个方面，所述活动架台的底部设置有支撑脚，所述支撑脚和/或所述行走轮与所述活动架台螺纹连接。根据本实用新型的一个方面，所述晶圆装载机还包括连接件，所述连接件可拆卸的连接所述第二定位件和所述第一定位件。
15.根据本实用新型的一个方面，所述连接件为螺钉，所述第二定位件上设置有供螺钉的杆部穿过的通孔，所述第一定位件上设置有与所述螺钉配合的第二螺纹孔。
16.根据本实用新型的一个方面，所述通孔为腰形孔。
17.本实用新型还提供一种立式炉，所述立式炉包括：
18.如上所述的晶圆装载机；和
19.机架，设置有用于安置所述晶圆装载机的安置区；
20.其中，所述晶圆装载机的第一定位件安装于所述机架，当所述晶圆装载机的第二定位件与所述第一定位件对接，所述晶圆装载机被限定于所述安置区中的一预定位置。
21.与现有技术相比，本实用新型的实施例提供了一种晶圆装载机及立式炉，通过第一定位件和第二定位件的配合，方便人员将晶圆装载机安装到立式炉中的预定位置，定位精度高。通过连接件连接第一定位件和第二定位件，可以对晶圆装载机的位置进行固定，避免晶圆装载机在设备运行时发生移动。通过设置行走轮，使晶圆装载机的移动更为方便。
附图说明
22.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
23.图1示出了根据本实用新型的一个实施例的晶圆装载机的示意图；
24.图2示出了根据本实用新型的一个实施例的第一定位件与第二定位件的配合示意图；
25.图3示出了根据本实用新型的一个实施例的晶圆装载机的部分结构的爆炸示意图；
26.图4示出了根据本实用新型另一个实施例的支撑脚与底座连接结构的示意图。
27.图5示出了根据本实用新型的一个实施例的立式炉的示意图；
28.图6示出了根据本实用新型的一个实施例的立式炉的剖视图。
29.图中：100、晶圆装载机；110、晶圆装载机本体；120、第一定位件；121、定位槽；1211、槽底面；1212、槽侧面；122、第一螺纹孔；130、活动架台；131、底座；1311、第二螺纹孔；132、承载板；133、连接部件；140、第二定位件；141、定位凸起；142、通孔；150、连接件；160、行走轮；161、连接部；162、行走部；170、支撑脚；171、螺纹杆；172、支撑台座；173、定位螺母；200、立式炉；210、机架。
具体实施方式
30.在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。
31.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语"中心"、"纵向"、"横向"、"长度"、"宽度"、"厚度"、"上"、"下"、"前"、"后"、"左"、"右"、"竖直"、"水平"、"顶"、"底"、"内"、"外"、"顺时针"、"逆时针"等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语"第一"、"第二"仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有"第一"、"第二"的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本实用新型的描述中，"多个"的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
32.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语"安
装"、"相连"、"连接"应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接:可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
33.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之"上"或之"下"可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征"之上"、"上方"和"上面"包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征"之下"、"下方"和"下面"包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
34.下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本实用新型。此外，本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本实用新型提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。
35.以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
36.图1示出了根据本实用新型的一个实施例的晶圆装载机100，下面结合图1进行详细描述。
37.如图1所示，晶圆装载机100包括晶圆装载机本体110、第一定位件120、活动架台130和第二定位件140。其中，活动架台130作为承载部件，用于对其它部件提供支撑。活动架台130可以包括底座131、承载板132和连接部件133，承载板132设置在底座131上方，连接部件133连接在底座131与承载板132之间，连接部件133可以设置一个或多个，只要能将底座131与承载板132稳固的连接起来即可。连接部件133可以是杆件，在其它实施例中，连接部件133也可以是板件，还可以是其它能够起到支撑作用的板件。晶圆装载机本体110可以设置一个或多个，本实施例以晶圆装载机本体110设置两个为例，晶圆装载机本体110安装在活动架台130上。
38.如图1所示，第一定位件120用于连接立式炉200的机架210(下文描述)或者其它固定部件。第二定位件140安装在活动架台130上，第二定位件140配置成能够通过随活动架台130水平移动而与第一定位件120对接。通过第一定位件120与第二定位件140的配合，可以将晶圆装载机100准确的定位到立式炉200中的预定位置。第一定位件120和第二定位件140可以分别设置一个或多个，本实施例以第一定位件120和第二定位件140均设置为两个为例，两个第二定位件140分别安装在活动架台130的两侧，以提高定位精度。
39.图2示出了根据本实用新型的一个实施例的第一定位件120与第二定位件140的配合示意图。
40.如图2所示，可以在第一定位件120的一侧设置定位槽121，在第二定位件140的一侧设置与定位槽121形状适配的定位凸起141。其中，定位槽121包括槽底面1211和槽侧面1212，槽侧面1212配置成能够引导定位凸起141深入定位槽121完成定位，具体的，定位槽
121可以是梯形槽、v形槽或弧形槽。第一定位件120与第二定位件140通过定位槽121与定位凸起141的配合具有良好的定位精度。在其它实施例中，也可以在第一定位件120的一侧设置定位凸起141，在第二定位件140的一侧设置定位槽121；或者，可以在第一定位件120的一侧设置定位凸起141和定位槽121，在第二定位件140的一侧对应的设置定位槽121和定位凸起141。
41.根据本实用新型的一个实施例，如图2和图3所示，晶圆装载机100还可以包括连接件150，连接件150可拆卸的连接第一定位件120和第二定位件140。具体的，连接件150可以是螺钉，在第二定位件140上设置有供螺钉的杆部穿过的通孔142，在第一定位件120上设置于螺钉配合的第一螺纹孔122。通过将螺钉穿过通孔142并旋入第一螺纹孔122，可以将第一定位件120与第二定位件140固定到一起，进而可以对晶圆装载机100的位置进行固定。较佳的，通孔142可以是腰形孔，以保证通孔142与第一螺纹孔122能够对准。在其它实施例中，连接件150还可以是抱箍或锁扣等。
42.根据本实用新型的一个实施例，如图1所示，活动架台130的底部还可以设置行走轮160，行走轮160可以设置三个或三个以上，本实施例中以四个为例。通过设置行走轮160，使晶圆装载机100更加便于移动。较佳的，行走轮160可以采用万向轮。
43.根据本实用新型的一个实施例，如图1和图3所示，活动架台130的底部还可以设置支撑脚170，支撑脚170可以设置三个或三个以上，本实施例中以四个为例。支撑脚170和/或行走轮160与活动架台130螺纹连接，以在需要移动晶圆装载机100时，由行走轮160支撑活动架台130，在需要固定晶圆装载机100的位置时，由支撑脚170支撑活动架台130。
44.具体的，支撑脚170包括螺纹杆171和支撑台座172，其中螺纹杆171竖向设置，支撑台座172固定连接在螺纹杆171的下端。在活动架台130的底座131上设置有用于安装支撑脚170的第二螺纹孔1311，螺纹杆171与第二螺纹孔1311螺纹配合。行走轮160包括连接部161和行走部162，其中连接部161竖向设置在行走部162上端。在活动架台130的底座131底部设置有第三螺纹孔(图中未示出)，第三螺纹孔与连接部161螺纹配合。通常情况下，可以由支撑脚170来支撑活动架台130，以保证晶圆装载机100的位置不易被挪动。在需要移动晶圆装载机100时，可以旋转行走轮160，使支撑脚170被顶起，并由行走轮160支撑活动架台130；当晶圆装载机100移动到目标位置后，可以旋转行走轮160，使行走轮160上升，并由支撑脚170来支撑活动架台130。
45.图4示出了根据本实用新型另一个实施例的支撑脚170与底座131连接结构的示意图。
46.如图4所示，支撑脚170还可以包括定位螺母173。第二螺纹孔1311竖向贯通活动架台130的底座131，支撑脚170的螺纹杆171旋拧在第二螺纹孔1311中，且螺纹杆171的上端伸出第二螺纹孔1311。定位螺母173套设在螺纹杆171上并与螺纹杆171螺纹配合，定位螺母173位于底座131下方。可以通过定位螺母173对支撑脚170将晶圆装载机本体110顶起的高度进行限定。
47.图5示出了根据本实用新型的一个实施例的立式炉200，图6示出了根据本实用新型的一个实施例的立式炉200的剖视图，下面结合图5和图6进行详细描述。
48.如图5和图6所示，立式炉200包括机架210和上述的晶圆装载机100。机架210设置有用于安置晶圆装载机100的安置区。晶圆装载机100的第一定位件120安装于机架210，当
晶圆装载机100的第二定位件140与第一定位件120对接，晶圆装载机100被限定于安置区中的一预定位置。
49.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。