基板烘烤箱供排风系统的制作方法

1.本实用新型涉及液晶平板显示基板烘烤箱，尤其涉及一种对烘烤箱烘烤腔进行供风和排风的结构。


背景技术：

2.液晶显示器的ito图形刻蚀是玻璃基板制造过程中关键的工序阶段，它是在导电玻璃板上刻蚀出显示所需的ito电极图形，该工艺阶段主要是在清洁干燥的导电玻璃基板上均匀涂布光阻剂，再在一定温度下将涂有光阻剂的玻璃板烘烤一段时间，以使光阻剂中溶剂挥发，增加与玻璃表面粘附性后，再经曝光显影、坚膜、刻蚀、去膜及清洁干燥等工序而完成ito图形刻蚀阶段。
3.基板烘烤箱是完成烘烤工序的重要设备，烘烤箱包括箱体、箱顶盖和烘烤隔板，烘烤腔由箱体、烘烤隔板及箱顶盖所围成，在烘烤腔上连通有供风系统和排风系统，烘烤腔烘烤加热而产生的有害气体经排风系统排出，并通过供风系统补入腔外空气。在这样的工艺过程中烘烤箱的烘烤腔腔内温度波动较为严重，腔内区域温度梯度明显，生产效率不高，烘烤质量不稳定；烘烤时烘烤腔通过烘烤加热板使腔内温度达到规定的烘烤加热温度和烘烤时间后，烘烤基板从烘烤腔内移出，供、排风系统工作排出烘烤废气；当移出已烘烤基板并输送进另一基板时，烘烤腔内的温度又再次出现较大的起伏变化，导致腔内各区域内的温度均匀性差，使得玻璃基板上光阻剂胶膜内溶剂不能充分挥发，在烘烤不足区域溶剂未充分挥发，曝光显影时未受光部分也被溶除形成浮胶或者使图形变形，烘烤过度又导致胶膜翘曲硬化，显影时会显不出图形或者图形留有底膜；烘烤温度的不均匀还会在基板上因温度梯度引起热应力，导致基板玻璃的开裂或破碎，降低烘烤成品率。


技术实现要素：

4.针对现有技术所存在的上述不足，本实用新型所要解决的技术问题是提供一种烘烤温度均匀稳定、烘烤成品率高的基板烘烤箱供排风系统。
5.为了解决上述问题，本实用新型的基板烘烤箱供排风系统，包括烘烤箱，该烘烤箱上连通有供风单元和排风单元，所述供风单元的净风输入口与净风单元相连通，所述净风输入口上连通有电加热器，该电加热器的热风出口并联有热风供给阀和热风排放阀，热风供给阀通向烘烤箱供风盒，烘烤箱供风盒通向烘烤箱的烘烤腔，热风排放阀则连向排风管；所述净风单元包括滤清器，该滤清器经净气控制阀连向供风单元的净风输入口；所述排风单元包括排风盒，该排风盒与烘烤箱的烘烤腔相连通，排风盒上的烘烤箱排风口经集风管连向排风口。
6.在上述的技术方案中，由于供风单元的净风输入口连通有电加热器，该电加热器的热风出口又通过热风供给阀通向烘烤箱的烘烤腔，这样提供给烘烤腔的外来空气是经过电加热器加热后的热空气，外来热空气叠加烘烤腔加热板组件的相互作用，形成了一个稳定烘烤加热温度场，避免输入冷空气对腔内温度的波动影响，保证了烘烤腔烘烤温度的均
匀性和衡定一致性，避免因烘烤腔内区域温度差异所引起的烘烤不足或烘烤过度而导致的曝光图形或显影异常；也避免了烘烤腔内温度梯度导致的玻璃基板热应力，所引起的玻璃基板开裂破碎和机械强度降低。又由于供风系统的净风输入口与净风系统相连通，这就为供风系统提供了洁净的空气源，避免空气中微小尘粒在玻璃基板积聚和沉淀。电加热器热风出口并联的热风排放阀连向排风管；当烘烤腔暂停烘烤而不更换烘烤腔高温气体时，可以关闭热风供给阀而打开热风排放阀，使电加热器的加热空气经热风排放阀和排风管排空，这样既避免了电加热器频繁关闭启动而对加热系统的冲击，更重要的是保证了供给热风温度的稳定。还由于热风供给阀是经烘烤箱供风盒通向烘烤箱的烘烤腔，以形成均匀的供给热风；同样烘烤腔中高温废气的排放也是经排风盒通向烘烤箱排风口的，又可以将烘烤腔中的高温废气以均匀的流速排出，采用供风盒向烘烤腔供风，同时又采用排风盒从烘烤腔排风，有效地保证了烘烤腔中各区域温度的一致性，有利于在烘烤腔中形成均匀稳定的温度场，降低腔内区域温度梯度，确保基板烘烤质量。
7.本实用新型的进一步实施方式，所述热风供给阀经供风总管、供风支管通向供烤箱供风盒，在烘烤箱供风盒与烘烤箱箱体之间垫有密封垫。所述烘烤箱供风盒的供风盒腔内固定设置有供风挡板，该供风挡板的位置与烘烤箱供风盒的供风口相对应。所述热风供给阀和热风排放阀为电磁阀。该结构能形成均匀的热供风，并能对供风和排风的流量、流速进行有效的调节控制。
8.本实用新型的优选实施方式，所述滤清器和净气控制阀之间连通有传感器，该传感器为流量传感器。所述净气控制阀为电动阀，所述滤清器为滤芯式空气滤清器。能够对供给净气流量的适时调控。
9.本实用新型的优选实施方式，所述净风单元的气源输入口连向空气源，在气源输入口和滤清器之间连通有手动阀。便于在维护时截断与空气源的连通。
10.本实用新型的优选实施方式，所述烘烤箱排风口依次经排风口连接短管、排风支管和集风管通向排风口。所述烘烤箱上设置有烘烤箱门，烘烤箱供风盒设置于烘烤箱门下方的箱壁上。
附图说明
11.下面结合附图和具体实施方式对本实用新型基板烘烤箱供排风系统作进一步详细说明。
12.图1是本实用新型基板烘烤箱供排风系统一种具体实施方式的立体结构示意图；
13.图2是图1另一视角方向的立体结构示意图；
14.图3是图1中供风单元和净风单元的连通结构示意图；
15.图4是图3中供风单元的正视图；
16.图5是图4的横截面结构示意图；
17.图6是图1中排风单元的立体结构示意图；
18.图7是图6中排风盒排风口方向的结构示意图。
19.图中，1—烘烤箱；2—供风单元、201—净风输入口、202—电加热器、203—热风供给阀、204—热风排放阀、205—烘烤箱供风盒、206—供风支管、207—密封垫、208—供风总管、209—排放管、210—排风总管、211—供风口、212—供风挡板、213—供风管腔；3—排风
单元、301—排风盒、302—排风口连接短管、303—排风支管、304—集风管、305—排风口、306—烘烤箱排风口、307—排风盒密封垫；4—净风单元、401—气源输入口、402—手动阀、403—滤清器、404—传感器、405—净风控制阀，406—净风输出管；5—烘烤箱门。
具体实施方式
20.如图1、图2所示的基板烘烤箱供排风系统，包括烘烤箱1，该烘烤箱1的四周烘烤箱壁和烘烤箱底板围成烘烤腔，该烘烤腔呈开口向上的矩形盒状，在烘烤腔的腔口位置设置有可平动开启的烘烤箱上盖，烘烤箱壁、烘烤箱底板和烘烤箱上盖均包括有对应的铝合金骨架和面板，以及填充于骨架和面板之间的隔热保温材料。
21.在烘烤箱1上设置有两扇烘烤箱门5，该两扇烘烤箱门5位于两相邻的箱壁上。在一烤箱门5下方的箱壁上通过烘烤箱供风盒205安装有供风单元2；在与安装有烘烤箱供风盒205相对一侧的烘烤箱1箱壁上通过排风盒301安装有排风单元3。
22.如图3、图4及图5所示，与烘烤箱1的烘烤腔连通的供风单元2与净风单元4通过供风管相互连通。来自气站的空气源经气源输入口401进入到净风单元4中，并沿输气管依次经手动阀402、滤清器403、传感器404、净风控制阀405进入到净风输出管406。手动阀402采用手动球阀，滤清器403为滤芯式空气滤清器，传感器404为流量传感器，净风控制阀405采用电动阀，以便控制系统输入空气的流量和流速。净化后的净化空气由净风输出管406经连接软管输送到供风单元2的净风输入口201和电加热器202；电加热器202采用常见的在线式电加热器，烘烤设备正常工作时，电加热器202处于连续工作状态。在电热器202热风输出口并联有热风供给阀203和热风排放阀204。热风供给阀203输出口经供风总管208通向若干并联的供风支管206，各供风支管206均通向烘烤箱供风盒205，烘烤箱供风盒205通过盒口部的密封垫207密封地安装于烘烤箱1的箱壁上，并与烘烤箱1的烘烤腔相连通，烘烤箱供风盒205采用两段结构。
23.为了保证烘烤箱供风盒205能均匀地向烘烤箱1烘烤腔均匀供风，在烘烤箱供风盒205的供风盒腔213内固定安装有供风挡板212，供风挡板212的位置与烘烤箱供风盒205的供风口211相对应。从供风支管206输入烘烤箱供风盒205的热风，在供风管腔213中受供风挡板212的作用下，热风充满盒腔并经条状的供风口211均匀散开地输入到烘烤箱1烘烤腔中。
24.热风排放阀204的输出口则连通向排风管209；排风管209联通向排风总管210。当烘烤箱进行烘烤工作时，热风供给阀203打开，热风排放阀204关闭，电加热器202加热后的热空气供向烘烤箱1的烘烤腔，电加热器202的加热温度与加热板组件的加热温度相同，以在烘烤腔中形成均匀一致的温度场。当打开箱门需要移出或送入玻璃基板时，热风供给阀203关闭，热风排放阀204打开，此时经电加热器202加热后的热空气则经排风管209汇入至排风总管210。热风供给阀203和热风排放阀204均为电磁阀。
25.如图6、图7所示，排风单元3的排风盒301安装于烘烤箱1的对应侧的箱壁上，排风盒301也采用采用两段结构。排风盒301的盒口位置通过排风盒密封垫307密封地安装于烘烤箱1的箱体壁上，并通向烘烤箱1的烘烤腔，排风盒301上设有若干烘烤箱排风口306，烘烤箱1的烘烤腔中的排出热风经烘烤箱排风口306、排风口连接短管304的排风口305将排出热风送至净化装置作净化处理后排放。在排风口305位置还设有调节闸板，以控制排放流量和
流速。