一种带底部吹风的硅片烘干槽装置的制作方法

1.本实用新型属于硅片烘干技术领域，具体而言，涉及一种带底部吹风的硅片烘干槽装置。


背景技术：

2.硅片在进行制绒、水洗后，硅片表面带有液滴，无法直接进行下一工艺，因此硅片带花篮在清洗结束后，需进行干燥处理，确保硅片及花篮无水滴携带。
3.目前硅片烘干装置参见图1所示，通过风机带动空气，加热、过滤后进入槽体，在槽体左右两侧打孔或布置风管，对硅片及花篮进行吹干，然后从下方流出。但此种烘干方式，能吹干硅片及花篮主体，花篮底杆仍有水滴悬挂，进入后道工序，造成硅片污染。而且随着一次需要烘干硅片数量的增多，槽体宽度增加，这种左右两侧打孔或布置风管烘干的方式，吹出风压及风量会变小，无法有效烘干，极易造成工艺超时，影响产能。


技术实现要素：

4.为了解决现有技术存在的问题，本实用新型旨在提供一种带底部吹风的硅片烘干槽装置，以实现精准吹花篮底杆，解决花篮底杆残留水滴，并缩短烘干时间，提升烘干效率的同时克服了因花篮及硅片数量的增多，槽体宽度增加，无法有效烘干，极易造成工艺超时，影响产能的问题。
5.为达到上述技术目的及效果，本实用新型通过以下技术方案实现：
6.一种带底部吹风的硅片烘干槽装置，包括烘干槽槽体和设置在所述烘干槽槽体内用于放置硅片的花篮，所述烘干槽槽体的左右两侧的其中一侧设置有向所述烘干槽槽体内吹风的第一进风槽以及另一侧设置有所述烘干槽槽体向外排风的排风槽；位于所述花篮下方的所述烘干槽槽体内底端面上设置有向所述烘干槽槽体内吹风的吹风管，所述吹风管的一端从所述烘干槽槽体内延伸至体外，并与设置在所述烘干槽槽体外侧壁上的第二进风槽连通；所述第一进风槽和所述第二进风槽分别通过对应的送风管路与对应的过滤器、加热器和风机依次连接。
7.进一步的，所述烘干槽槽体内的左右两侧分别设置有一块吹风挡板，所述烘干槽槽体的左右内侧壁分别与对应的所述吹风挡板形成所述第一进风槽和所述排风槽；所述吹风挡板上均匀开设有通风孔。
8.进一步的，所述通风孔的横截面为长圆孔。
9.进一步的，所述吹风管的轴向上开设有3排吹风孔。
10.进一步的，所述过滤器包括有第一过滤器和第二过滤器；所述加热器包括第一加热器和第二加热器；所述风机包括第一风机和第二风机；所述第一风机、所述第一加热器、所述第一过滤器和所述第一进风槽通过对应的送风管路依次连接；所述第二风机、所述第二加热器、所述第二过滤器和所述第二进风槽通过对应的送风管路依次连接。
11.进一步的，所述排风槽通过对应的送风管路分别与所述第一风机和所述第二风机
连接。
12.进一步的，所述风机采用高压风机。
13.本实用新型的有益效果如下：
14.1、本实用新型硅片烘干槽装置采用底部吹风机构，做到精准吹花篮底杆，解决了花篮底杆残留水滴问题，并缩短了烘干时间，提升了烘干效率；且在烘干槽槽体两侧采用带孔吹风挡板，提升了出风量及覆盖面，使烘干效果更好，并结合底部吹风机构，克服了花篮及硅片增多，槽体宽度增大的情况下，花篮及硅片无法有效烘干，极易造成工艺超时，影响产能的问题，从而有效的降低了对硅片烘干槽装置的需求，减少了装置场地占用面积及节约了成本；
15.2、本实用新型在送风管路中增设过滤器，实现了对气流中杂质的去除，有效的提升了硅片的良品率。
16.上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。本实用新型的具体实施方式由以下实施例及其附图详细给出。
附图说明
17.此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本技术的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
18.图1为本实用新型现有技术结构示意图；
19.图2为本实用新型硅片烘干槽装置整体结构示意图；
20.图3为本实用新型烘干槽槽槽体结构示意图；
21.图4为本实用新型烘干槽槽槽体整体剖视图；
22.图5为本实用新型吹风挡板方向烘干结构示意图；
23.图6为本实用新型吹风管方向烘干结构示意图；
24.图7为本实用新型吹风管侧视图；
25.图8为本实用新型吹风管正视剖视图。
26.图中标号说明：1、烘干槽槽体；2、花篮；3、第一进风槽；4、排风槽；5、吹风管；6、第二进风槽；7、吹风挡板；8、第一过滤器；9、第二过滤器；10、第一加热器；11、第二加热器；12、第一风机；13、第二风机；501、吹风孔；701、通风孔。
具体实施方式
27.下面将参考附图并结合实施例，来详细说明本实用新型。
28.需要说明，本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后、上端、下端、顶部、底部
……
)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
29.参见图2-6所示，一种带底部吹风的硅片烘干槽装置，包括烘干槽槽体1和设置在所述烘干槽槽体1内用于放置硅片的花篮2，所述烘干槽槽体1的左右两侧的其中一侧设置有向所述烘干槽槽体1内吹风的第一进风槽3以及另一侧设置有所述烘干槽槽体1向外排风
的排风槽4；位于所述花篮2下方的所述烘干槽槽体1内底端面上设置有向所述烘干槽槽体1内吹风的吹风管5，所述吹风管5的一端从所述烘干槽槽体1内延伸至体外，并与设置在所述烘干槽槽体1外侧壁上的第二进风槽6连通；所述第一进风槽3和所述第二进风槽6分别通过对应的送风管路与对应的过滤器、加热器和风机依次连接；需要说明的是，所述过滤器用于将进入所述第一进风槽3和所述第二进风槽6内的气流进行过滤，避免吹向硅片上的风因含有杂质而损伤硅片；所述加热器用于对气流进行加热，提高硅片的烘干效率；容置在所述烘干槽槽体1的所述吹风管5的另一端部紧邻所述烘干槽槽体1的内槽壁，且密封，既，在烘干时，保证所述吹风管5的另一端不会有气流通过。
30.其中，参见图2-5所示，所述烘干槽槽体1内的左右两侧分别设置有一块吹风挡板7，所述烘干槽槽体1的左右内侧壁分别与对应的所述吹风挡板7形成所述第一进风槽3和所述排风槽4；所述吹风挡板7上均匀开设有通风孔701，所述吹风挡板7上均匀开设有通风孔701，所述第一进风槽3通过其对应的所述吹风挡板7上的所述通风孔701向所述烘干槽槽体1内吹风，并从所述烘干槽槽体1的一侧吹向另一侧，最终通过所述排风槽4对应的所述吹风挡板7上的所述通风孔701排入所述排风槽4内，从而实现对所述烘干槽槽体1内设置在所述花篮2上的硅片进行烘干。
31.此外，所述烘干槽槽体1内设置的每排所述花篮2的正下方均设置有一组所述吹风管5，继续参见图2-5所示，在本实施例中，设置有3排所述花篮2，既，共设置有3组所述吹风管5；在每组所述吹风管5的轴向上均开设有3排不同角度的吹风孔501，其中，参见图7-8所示，中间一排所述吹气孔501的开口竖直朝上，左右两排的所述吹气孔501的开口分别朝向所述花篮2的左右下方的底杆；既，在烘干时，如图2和图5中所述吹风孔501上的箭头方向，中间一排所述吹气孔501竖直向上往对应的所述花篮2上吹风，左右两排的所述吹气孔501分别向对应的所述花篮2的左右下方吹风，从而实现对所述花篮2底杆进行烘干，有效避免了因所述花篮2底杆仍有水滴，进入后道工序，造成硅片污染，还有效提升了对所述花篮2中硅片进行烘干的效率。
32.另外，参见图2和图5-6所示，所述过滤器包括有第一过滤器8和第二过滤器9；所述加热器包括第一加热器10和第二加热器11；所述风机包括第一风机12和第二风机13；所述第一风机12、所述第一加热器10、所述第一过滤器8和所述第一进风槽3通过对应的送风管路依次连接；所述第二风机13、所述第二加热器11、所述第二过滤器9和所述第二进风槽6通过对应的送风管路依次连接，其中，在本实施例中，所述风机采用高压风机。
33.继续参见图2和图5-6所示，所述排风槽4通过对应的送风管路分别与所述第一风机12和所述第二风机13连接，烘干时，实现所述烘干槽装置中的气流形成内循环，有效的缩短烘干时间，提升吹干效率。
34.其中，需要说明的是，所述通风孔701和所述吹气孔501的横截面为可以为长圆孔圆孔、椭圆孔等其他形状，只要能实现良好的进出风即可；此外，所述第一进风槽3对应的所述吹风挡板7上的所述通风孔701和所述排风槽4对应的所述吹风挡板7上的所述通风孔701可以一样，也可以不一样，根据实际需求开设即可，在本实施例中，开设开设的都是长圆孔，当大小不同。
35.本实用新型的工作原理如下：
36.烘干前，机械手将水洗后的硅片，通过花篮2搬运至烘干槽槽体1内；然后，盖板将
烘干槽槽体1的进口盖住。
37.进行烘干时，打开第一风机12和第二风机13，第一风机12带动气流通过送风管路依次经过第一加热器10和第一过滤器8后进入第一进风槽3中，并通过其对应的吹风挡板7上的通风孔701向硅片及花篮2进行吹风；同时，第二风机13带动气流通过送风管路依次经过第二加热器11和第二过滤器9后进入第二进风槽6，并经过与第二进风槽6连通的吹风管5的一端进入到吹风管5内，通过吹气孔501向硅片及花篮2进行吹风。
38.从第一进风槽3对应的吹风挡板7上的通风孔701和吹气孔501吹出的风，对硅片及花篮2进行烘干后，从排风槽4对应的吹风挡板7上的通风孔701回流进排风槽4中，并通过对应的送风管路回流到第一风机12和第二风机13内，从而形成气流循环，不断对烘干槽槽体1内的对硅片及花篮2进行吹风干燥。
39.以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。