一种用于半导体厂房的空气湿度自动控制设备的制作方法

1.本实用新型涉及空气湿度自动控制设备技术领域，具体为一种用于半导体厂房的空气湿度自动控制设备。


背景技术：

2.随着半导体制成技术的飞速发展，相应的半导产品对生产环境的要求也越来越高，而半导体产品生产环境中存在悬浮的气态分子污染物，为了对半导体产品生产厂房的洁净室内的气态悬浮分子污染物进行控制，通常都会在洁净室内增设对空气湿度调节控制的设备，以使得生产厂房内的湿度要求能够满足半导体产品的生产，但现有的空气湿度自动控制的设备在对厂房内的空气进行加湿时，因加湿装置需要长时间流经有雾气，使得装置内壁的湿度较大，使得部分喜湿的细菌以及真菌容易在装置内滋生，并且由于装置内部的结构在使用后无法进行快速拆卸，导致滋生的细菌容易随新风系统进入洁净室内形成新的污染物；另外装置在停机后，装置内壁容易残留较多的雾气凝结后产生的水珠，而水珠也无法通过装置内部的结构进行回收循环利用，并且在水珠在装置内凝聚到极限值后，容易渗出装置外，在装置所在的地面形成积水，不利于装置的正常运行。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种用于半导体厂房的空气湿度自动控制设备，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于半导体厂房的空气湿度自动控制设备，包括箱体，所述箱体的正面活动嵌设有存水盒，所述存水盒的底端设有四个滚柱，所述存水盒的顶端设有盖板，所述存水盒的两侧壁均固定连接有保温板，所述存水盒的内壁通过固定设有的横杆固定安装有三个电加热棒，所述存水盒的内部填充有自来水，所述箱体顶端的中部贯穿有进水管，所述箱体顶端的一侧贯穿有出气管；
5.所述出气管的一端部套设有套筒，所述套筒的底端贯穿有回水管，所述套筒与回水管的交接处卡合连接有漏斗，所述出气管的底端卡合连接有卡罩，所述箱体顶端的另一侧活动穿插连接有液位计，所述箱体一侧壁的顶部活动穿插连接有抽板，所述抽板顶端的两侧活动嵌设有两个海绵垫，所述抽板顶端的中部固定安装有涡轮风扇。
6.优选的，所述存水盒与箱体正面的交接处固定连接有密封条，所述存水盒的顶端开设有开口，所述盖板通过开口与存水盒卡合连接。
7.优选的，所述存水盒内壁的顶部固定连接有卡条，所述存水盒的正面固定连接有拉手。
8.优选的，所述回水管的底端贯穿于进水管的顶端，所述回水管的内部与进水管的内部相连通。
9.优选的，所述箱体内壁的顶部固定连接有两个固定块，所述抽板通过两个固定块与箱体活动穿插连接。
10.优选的，所述盖板的顶端从左至右依次开设有三个通孔，三个所述通孔分别位于涡轮风扇和进水管以及液位计的底部。
11.优选的，四个所述滚柱位于箱体内侧的底部，四个所述滚柱与存水盒滑动连接，四个所述滚柱与箱体活动嵌设连接。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
13.1、本用于半导体厂房的空气湿度自动控制设备，通过滚柱和存水盒，使得装置内储水的结构能够在装置完成使用后，从装置的正面快速抽出，实现装置内部储水结构的拆卸，再通过盖板，可以使得存水盒的内部打开，使得存水盒内壁结痂的水垢可以被快速清理干净，通过海绵垫，可以使得残留在装置内壁的露水被及时吸附在海绵垫上，并配合抽板沿着固定块的抽出，可以将残留在装置内的大部分露水从装置内清理出来，从而减少真菌和细菌在装置内滋生的概率，避免细菌和真菌随新风系统进入洁净室内形成新的污染物。
14.2、本用于半导体厂房的空气湿度自动控制设备，通过保温板，可以使得存水盒内的自来水在通过电加热棒加热后可以保持较长时间的沸腾状态，减少蒸汽水遇到温差较大而凝结成露水的概率，通过卡罩，可以使得被涡轮风扇吹出的蒸汽水全部进入出气管内，缩短蒸汽水在装置内部停留的时间，从而减少装置内蒸汽水凝结成露水的概率，再通过套筒和漏斗，使得进入出气管内的蒸汽水因受到温度影响而凝结的露水被收集进回流管内，配合回流管与进水管的连通，使得装置上凝结的露水得以循环利用，降低露水渗出装置外的概率，从而避免装置所在地面形成积水对装置正常运行产生的不利影响。
附图说明
15.图1为本实用新型的整体结构示意图；
16.图2为本实用新型的盖板和保温板结构示意图；
17.图3为本实用新型的涡轮风扇和海绵垫结构示意图；
18.图4为本实用新型的漏斗和卡罩结构示意图。
19.图中：1、箱体；2、密封条；3、存水盒；4、液位计；5、进水管；6、回水管；7、出气管；8、套筒；9、抽板；10、保温板；11、电加热棒；12、卡条；13、盖板；14、涡轮风扇；15、海绵垫；16、漏斗；17、卡罩；18、固定块；19、滚柱；20、自来水。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
22.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安
装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
23.如图1至图4所示，本实施例一种用于半导体厂房的空气湿度自动控制设备，包括箱体1，箱体1作为装置的外壳可以保护装置内部的电器结构，箱体1的正面活动嵌设有存水盒3，存水盒3与装置分离形成单独的空间，方便使用者将存水盒3从装置内快速取出并清理，降低存水盒3内的水源因长时间使用而滋生细菌的概率，存水盒3的底端设有四个滚柱19，存水盒3的顶端设有盖板13，盖板13可以使得存水盒3的顶部可以打开，方便清理存水盒3内的水垢，存水盒3的两侧壁均固定连接有保温板10，保温板10可以使得沸腾的自来水20在装置内温度下降的速度变慢，使得沸腾的自来水20可以较长时间输出水蒸气，存水盒3的内壁通过固定设有的横杆固定安装有三个电加热棒11，电加热棒11可以通过对存水盒3内的自来水20加热并使其沸腾，将沸腾时产生的水蒸气输送至出气管7内形成加湿的雾气，存水盒3的内部填充有自来水20，箱体1顶端的中部贯穿有进水管5，进水管5可以方便使用者向装置内添加加湿所需要的水源，箱体1顶端的一侧贯穿有出气管7，出气管7在接入半导体厂房内的新风系统后，可以使得雾化湿气顺利进入厂房的洁净室内；
24.出气管7的一端部套设有套筒8，套筒8可以将出气管7管口凝结成的露水通过漏斗16引流至回水管6内，套筒8的底端贯穿有回水管6，回水管6可以将流入内部的露水引流至进水管5内，使得露水重新回到存水盒3内使用，套筒8与回水管6的交接处卡合连接有漏斗16，出气管7的底端卡合连接有卡罩17，卡罩17可以使得涡轮风扇14吸入的水蒸气可以快速进入出气管7内，减少水蒸气在装置内的停留，箱体1顶端的另一侧活动穿插连接有液位计4，液位计4的底部位于存水盒3内，当存水盒3内的水位低于设定值时，液位计4将通过连通的信号控制系统将信号传递至装置的控制开关，使得控制开关打开进水管5的进水阀门，使得装置实现自动加水的功能，同时该控制开关也能控制电加热棒11的通电与断电，从而实现本装置对湿度的自动调节控制，箱体1一侧壁的顶部活动穿插连接有抽板9，抽板9可以从箱体1的一侧壁抽出，使得抽板9上与水蒸气接触最多的涡轮风扇14可以从装置内快速拆除并进行清理，从而减少涡轮风扇14内滋生的细菌以及真菌，抽板9顶端的两侧活动嵌设有两个海绵垫15，海绵垫15可以将涡轮风扇14转动时甩出的露水进行吸收，减少残留在装置内的露水，抽板9顶端的中部固定安装有涡轮风扇14，涡轮风扇14在接通外接电源，可以将水蒸气快速吹向出气管7内。
25.具体的，存水盒3与箱体1正面的交接处固定连接有密封条2，密封条2可以减少装置结构连接处的缝隙，从而减少外界空气中的细菌和真菌进入装置内繁衍，存水盒3的顶端开设有开口，盖板13通过开口与存水盒3卡合连接，盖板13揭开后，可以使得存水盒3顶端的开口被打开，使得存水盒3的内部露出，方便使用者清理存水盒3内壁上的水垢。
26.进一步的，存水盒3内壁的顶部固定连接有卡条12，卡条12可以使得盖板13卡合在存水盒3顶部的开口内，存水盒3的正面固定连接有拉手，拉手可以方便使用者将使用后的存水盒3从装置的正面抽出，实现存水盒3的快速拆分。
27.进一步的，回水管6的底端贯穿于进水管5的顶端，回水管6的内部与进水管5的内部相连通，回水管6可以将出气管7管口凝结的露水引流至进水管5内，进行重复利用，避免
遇冷凝结的露水积聚在装置的地面。
28.进一步的，箱体1内壁的顶部固定连接有两个固定块18，抽板9通过两个固定块18与箱体1活动穿插连接，固定块18可以对插入箱体1一侧壁抽板9的滑动范围进行限定，使得抽板9可以停留在箱体1的内部。
29.进一步的，盖板13的顶端从左至右依次开设有三个通孔，三个通孔分别位于涡轮风扇14和进水管5以及液位计4的底部，盖板13上的通孔可以分别实现水蒸气、自来水20和液位计4从存水盒3的内部析出或者进入存水盒3的内部，保证装置的正常运转。
30.进一步的，四个滚柱19位于箱体1内侧的底部，四个滚柱19与存水盒3滑动连接，四个滚柱19与箱体1活动嵌设连接，滚柱19可以减少存水盒3在抽出箱体1时，底部与箱体1的摩擦力，使得存水盒3更容易从箱体1内抽出，从而方便使用者拆卸存水盒3，使得存水盒3内滋生的细菌和真菌被快速抽离箱体1的内部，从而减少箱体1内部滋生的细菌和真菌。
31.本实施例的使用方法为：在使用本装置前，需要先将本装置上的进水管5与市政供水系统连接，同时将出气管7的管口与半导体厂房洁净室内的新风系统的出风管道对接，使得出气管7的内部与新风系统的内部连通，接着将液位计4以及进水管5的阀门和装置上的控制开关连接同一个局域网，使得控制开关可以对液位计4以及阀门进行信号传输，使得装置可以实现自动控制，再将本装置接通外接电源，此时进水管5的阀门将打开，而自来水20将通过进水管5穿过盖板13顶部的通孔进入到存水盒3的内，当存水盒3内的液面高度与液位计4设定的最大值相同时，进水管5的阀门将被关闭，此时接通电加热棒11的电源，使得电加热棒11开始对存水盒3内的自来水20加热，直到自来水20沸腾后，存水盒3两侧的保温板10将使得水温下降速度变慢，使得水沸腾产生的水蒸气将源源不断通过盖板13顶部一侧的圆孔被同样接通电源而转动的涡轮风扇14吸入，此时水蒸气与涡轮风扇14接触，使得少部分水蒸气遇到温度较低的物体，将液化成露水，被涡轮风扇14转动产生的离心力甩向海绵垫15上，被海绵垫15吸收，接着大部分水蒸气将被吹入出气管7内，并从出气管7进入半导体厂房的新风管道内，当经过套筒8的高温水蒸气遇到低温时，将在套筒8的内壁凝结成露水，并沿着套筒8的内壁流向底部的漏斗16内，接着沿着漏斗16进入到回水管6内，最后流入与回水管6连通的进水管5内，然后重新进入存水盒3内，在完成装置的使用后，可以将液位计4从箱体1的顶部抽出，接着向外拉动拉手，使得存水盒3沿着箱体1内侧底部的滚柱19滑出箱体1外，接着可以揭开盖板13，对存水盒3内的水垢进行处理，然后可以将抽板9抽出，将抽板9上的海绵垫15拆分，并将海绵垫15吸收的水分挤干，最后将存水盒3和抽板9恢复原位。
32.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。