二流体喷雾加湿结构的制作方法

1.本技术是关于温控机节能技术，尤指一种采用二流体形成雾状水气，以能在无需使用电热加湿技术下，对空气进行加湿的二流体喷雾加湿结构。


背景技术：

2.一直以来，环境湿度都是人们对于舒适度所重视的一项指针，对于部分制造产业(如：半导体)来说，湿度控制更是相当重要，必须控制在相应的范围内，才能确保制程产品的良率。举例而言，在半导体生产工艺中，其对于无尘室(cleanroom)的环境标准愈来愈严苛，无尘室中的温度、湿度、洁净度、室内压力、气流速度、气流分布、振动静电、磁场等参数，都必须稳定地控制在一预期范围中，尤其是，温度与湿度的控制结果更是会直接影响到半导体的成品良率。
3.承上，无尘室的室内空气大多为循环空气，再辅以部分经过处理(如：过滤、加/减温、加/除湿等)后的外界空气，而在空气较为干燥的季节(如：冬季)时，往往需要以加湿设备来增加外界空气的湿度后，再导入无尘室中，以能使无尘室的相对湿度(relative humidity，简称rh)能保持于业者预期数值，以避免室内空气的相对湿度过低而造成人体不适，或是造成加工装置与加工物易产生静电，而吸附空气中的微尘，导致成品不良率上升。
4.目前业界广泛使用的精密湿度控制方式，普遍采用电热式的加湿结构，其会以电热管(或称电热棒)将液态水转换为气态水蒸气，以使干燥的外界空气能与水蒸气混和，进而提高空气中的湿度。但是，由于电热管的工作原理是根据电流通过电阻后产生热能，且前述产生的热能还须将液态水加温到摄氏100度后，才能产生水蒸气，因此，电热式的加湿结构在空调设备或温控机中相当的耗费能源，此种情况，显然不符合企业朝向节能减碳方向发展的永续经营目标。故，如何有效解决前问题，以提供耗能较低的加湿结构，即成为本技术的一重要课题。


技术实现要素：

5.由于现有技术电热式的加湿结构，需要消耗庞大的能源，因此，创作人基于永续发展的环境议题，且秉持着精益求精的研究精神，在经过长久的努力研究与实验后，终于研发出本技术的一种二流体喷雾加湿结构，以在无需使用电热式结构(如：电热管)的情况下，仍然能够达到精密控制空气的相对湿度的效果，并能有效减少设备耗能。
6.本技术的一目的，提供一种二流体喷雾加湿结构，包括一本体、至少一固定座与至少一二流体喷嘴，其中，该本体设有至少一入风口与至少一出风口，其内设有一空气流道，该入风口与该出风口通过该空气流道而相连通；该固定座能处于该空气流道中；该二流体喷嘴能设置于该固定座上，其能喷洒出雾状水气，以使经由该入风口流入的干燥空气，能够在该空气流道中混和前述雾状水气，以形成加湿空气，前述加湿空气则能经由该出风口流出该本体外，如此，本技术的二流体喷雾加湿结构相较于电热式加湿结构而言，两者在具有相同湿度控制范围的情况下，该二流体喷雾加湿结构能够更为节能，以满足业者规划节能
减碳的企业策略。
7.可选地，该本体内设有一分隔板，该分隔板使该空气流道划分为一入风区域、一连通区域与一加湿区域，该入风区域能分别连通该入风口与该连通区域，该加湿区域能分别连通该出风口与该连通区域，且各该二流体喷嘴处于该加湿区域中。
8.可选地，该本体的一第一侧面与一第二侧面彼此相对，且该分隔板处于该第一侧面与该第二侧面之间，该本体的该第一侧面设有该入风口，且其与该分隔板的一侧面间相隔一第一距离，以形成该入风区域；该本体的该第二侧面与该分隔板的另一侧面间相隔一第二距离，以形成该加湿区域，且各该二流体喷嘴与该本体的该第二侧面间的间隔距离，实质上相同于各该二流体喷嘴与该分隔板的另一侧面间的间隔距离；该本体的远离该出风口的一第三侧面与该分隔板的自由端相隔一第三距离，以形成该连通区域。
9.可选地，该第二距离大于该第一距离。
10.可选地，该第一距离为75毫米至125毫米间；该第二距离为175毫米至225毫米间。
11.可选地，干燥空气流入加湿区域的流速为每秒2米至3.5米间。
12.可选地，该二流体喷雾加湿结构能具有多个二流体喷嘴与多个固定座，其中，相邻的二个固定座的中心处，彼此相隔一第四距离，该第四距离为200毫米至300毫米间。
13.可选地，该本体包括一箱主体与一外部盖板，其中，该箱主体的一侧设有各该入风口，该箱主体相对于该入风口的另一侧开设有一组装口，且该箱主体相邻于该入风口的又一侧则设有各该出风口，该箱主体内还设有该空气流道与该分隔板；该外部盖板能组装至该箱主体对应该组装口的位置，以遮蔽住该组装口。
14.可选地，该本体内还设有一延伸件，该延伸件靠近该本体的一第四侧面，且该第四侧面设有各该出风口，该分隔板的一端能连接至该延伸件，且该延伸件对流入该入风区域的干燥空气产生阻挡作用，使得前述干燥空气仅能朝该连通区域的方向流动。
15.有关本技术的其它功效及实施例的详细内容，配合图式说明如下。
附图说明
16.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
17.图1是本技术的二流体喷雾加湿结构的爆炸图；
18.图2是本技术的二流体喷雾加湿结构的立体图；
19.图3是本技术的二流体喷雾加湿结构的剖面侧视图；
20.图4是本技术的二流体喷雾加湿结构去除外部盖板的示意图；
21.图5a是本技术的二流体的一设置例示意图；及
22.图5b是本技术的二流体的另一设置例示意图。
23.符号说明
24.1：本体
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1a：第一侧面
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1b：第二侧面
25.1c：第三侧面
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1d：第四侧面
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10：空气流道
26.101：入风区域
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102：连通区域
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103：加湿区域
27.11：入风口
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12：出风口
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13：箱主体
28.14：外部盖板
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15：组装口
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16：延伸件
29.2：固定座
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3：二流体喷嘴
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4：分隔板
30.s：二流体喷雾加湿结构
31.h1：第一距离h2：第二距离h3：第三距离
32.h4：第四距离
具体实施方式
33.为使本技术的目的、技术内容与优点更加清楚明白，以下结合具体实施方式，并参照附图，对本技术所公开的实施方式进一步详细说明。本领域的技艺人士可由本说明书所公开的内容了解本技术的优点与效果，且本技术尚可通过其他不同的具体实施例加以施行或应用，本说明书中的各项细节也可基于不同观点与应用，在不悖离本技术的构思下进行各种修改与变更。另，需特别声明者，乃本技术的附图仅为简单示意说明，而非依实际尺寸进行描绘。此外，除非上下文有明确指出或定义，否则本技术的“一”、“该”的含义包括多个。又，以下实施方式将进一步详细说明本技术的相关技术内容，但所公开的内容并非用以限制本技术的保护范围。
34.本文所使用的术语具有本领域的普通含义，在有冲突的情况下，应以本文所给出的任何定义作为理解的依据。由于同一件事可以用多种方式表达，替代词语与同义词可用于本文所讨论或叙述的任何术语，且在本文是否阐述或讨论术语方面没有特殊限定，一个或多个同义词的使用并不能排除其他同义词。在本技术的说明书中任何地方所使用的实施例，包括任何术语的使用，都仅是说明性，绝不限制本技术或任何术语的范围与含义。同样地，本技术并不局限于说明书所公开的各种实施例。虽然本文中可能使用术语第一、第二或第三等来描述各种组件，但各该组件不应受前述术语的限制，前述术语主要是用以区分一组件与另一组件，而不应对任何组件施加任何实质性限制，且不应限制各个组件在实际应用上的组装或设置顺序。另，实施例中提到的方向用语，例如“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等，均仅是参考附图的方向。因此，使用的方向用语是用来说明并非用来限制本技术的保护范围。
35.此外，本文中所使用的术语“或”，应视实际情况可能包括相关联的列出项目中的任一个或者多个的组合。再者，本文中所使用的“实质上(substantially)”或“近似(approximately)”等用语，可以指一可为本领域技艺人士所承认或决定的对于某特定值的偏差范围中的数值或多个数值的平均值，包括考虑到受到测量系统或设备的限制，而对该特定值进行测量时的可能产生的一定特定的误差，例如：实质上(substantially)所述及的数值，能够包括该特定值的
±
5％、
±
3％、
±
1％、
±
0.5％、
±
0.1％或一个或多个标准偏差范围。
36.本技术一种二流体喷雾加湿结构，其至少能作为空调设备或温控机的一部分，在一实施例中，请参阅图1至图2所示，该二流体喷雾加湿结构s包括一本体1、至少一固定座2与至少一二流体喷嘴3，其中，该本体1设有至少一入风口11与至少一出风口12，其内设有一空气流道10，该入风口11与该出风口12能通过该空气流道10而相连通，换言之，外界空气能够经由该入风口11流入该本体1中，并依循空气流道10流动后，再经由该出风口12流出该本
体1外。在该实施例中，该本体1至少能由一箱主体13与一外部盖板14所组成，该箱主体13内设有该空气流道10，其一侧设有该入风口11，其相对于该入风口11的另一侧则设有一组装口15，其相邻于该入风口11的又一侧(如图2的上方位置)设有该出风口12。又，该外部盖板14能为不锈钢材质，其能够组装至该箱主体13的另一侧，且遮蔽住该组装口15。然而，在本技术的其它实施例中，该本体1能够根据实际需求，而更改其组成组件、材质与形状，非仅限于图1与图2所表示的结构特征。
37.另外，请参阅图1至图3所示，在该实施例中，该本体1内设有一分隔板4，该分隔板4能将该空气流道10划分为一入风区域101、一连通区域102与一加湿区域103，其中，该入风区域101能分别连通该入风口11与该连通区域102，该加湿区域103能分别连通该出风口12与该连通区域102，因此，经由该入风口11流入的空气，将会依序流过该入风区域101、连通区域102与加湿区域103，再经由该出风口12流出。更进一步来说，请参阅图3所示，在该实施例中，该本体1的第一侧面1a(相当于该箱主体13的一侧)与第二侧面1b(相当于该箱主体13的另一侧，即组装有外部盖板14的位置)彼此相对，且该分隔板4处于该第一侧面1a与该第二侧面1b之间，其自由端(如图3所示的下方位置)不会接触到该本体1远离该出风口12的第三侧面1c。
38.承上，请参阅图1至图3所示，该本体1的第一侧面1a设有该入风口11，且其与该分隔板4的一侧面间相隔一第一距离h1，前述第一距离h1的区域能够形成该入风区域101；该本体1的第二侧面1b与该分隔板4的另一侧面间相隔一第二距离h2，前述第二距离h2能形成该加湿区域103。在该实施例中，该第一距离h1为75毫米至125毫米间，该第二距离h2为175毫米至225毫米间，换言之，该第二距离h2会大于该第一距离h1，使得该加湿区域103的整体体积能大于该入风区域101的整体体积。又，该本体1的第三侧面1c与该分隔板4的自由端相隔一第三距离h3，以形成该连通区域102，该本体1的第四侧面1d则设有该出风口12，且该本体1内还设有一延伸件16，该延伸件16能靠近该本体1的第四侧面1d，且该分隔板4的一端能连接至该延伸件16，其中，该延伸件16能对流入该入风区域101的空气产生阻挡作用，使得前述空气仅能朝该连通区域102的方向流动，但不以此为限。在本技术的其它实施例中，能够根据实际需求，而调整分隔板4与延伸件16的例与位置，例如，使分隔板4连接至该本体1的第三侧面1c，且在该分隔板4上开孔而形成连通区域102，或者甚至能够不设有分隔板4与延伸件16。
39.再者，请参阅图1至图3所示，该固定座2能处于该空气流道10中，在该实施例中，该二流体喷雾加湿结构s能具有两个固定座2，该二固定座2能连接至该分隔板4的自由端(但不以此为限)，并处于该加湿区域103中，且相邻的该二固定座2的中心处，彼此相隔一第四距离h4(如图4所示)，该第四距离h2能为200毫米至300毫米间。又，该二固定座2分别设有一个二流体喷嘴3，且该二流体喷嘴3与该本体的该第二侧面1b间的间隔距离，实质上相同于该二流体喷嘴3与该分隔板4的另一侧面间的间隔距离，换言之，该二流体喷嘴3是处于该加湿区域103中，且会处于该第二距离h2的中间位置。
40.承上，请参阅图1至图4所示，该二流体喷嘴3能喷洒出雾状水气，兹简单说明二流体喷嘴3的工作原理，该二流体喷嘴3内同时设有气体信道与液体信道，且该气体信道中的高速空气能够在二流体喷嘴3内或邻近喷嘴口处的外部位置，击碎来自该液体通道中的液体，使得液体粒径变得更小后而形成雾状水气。另，通过相邻固定座2间所相隔的第四距离
h4，能够使所述多个二流体喷嘴3所喷洒出的雾状水气，完全或尽量完全地涵盖该加湿区域103。然而，在本技术的其它实施例中，根据使用上的需求，该二固定座2的位置亦可以设置于该分隔板4的一端(即，远离自由端的方向)或任意位置，且该二固定座2上能分别设有二流体喷嘴3(如图5a所示)，前述二流体喷嘴3所喷洒的雾状水气的方向能朝向该本体1的第三侧面1c的方向；或者，该二固定座2能够分别设置于该分隔板4的一端与自由端，且其上分别设有二流体喷嘴3，如图5b所示，各该二流体喷嘴3能够彼此交错设置(但不以此为限)；或者，该二流体喷雾加湿结构s能具有四个固定座2，且该分隔板4的一端与自由端的位置分别设有二个固定座2，各该固定座2上则分别设有二流体喷嘴3。
41.如此，请参阅图1至图3所示，经由该入风口11流入的干燥空气，能够在该空气流道10(或加湿区域103)中混和前述雾状水气，以形成预定湿度的加湿空气，之后，该加湿空气能经由该出风口12流出该本体1外，在此特别一提者，前述所称的干燥空气乃是指相对湿度高于加湿空气的空气，而非限制特定相对湿度的空气。又，在该实施例中，干燥空气流入加湿区域103的流速为每秒2米至3.5米间，前述干燥空气流速(2m/s～3.5m/s)能有效提高干燥空气与雾状水气彼此间混和均匀性，以形成预期的加湿空气。故，本技术的二流体喷雾加湿结构s即可在无电热结构以及不采用电热加湿技术的情况下，调整该二流体喷嘴3所喷洒的雾状水气的数量、次数、持续时间等，而达到精准的湿度控制，且其湿度控制的精度约为
±
0.5％rh(relative humidity)的范围，又，经实际测试后，该二流体喷雾加湿结构s相较于现有技术采用电热式的加湿结构而言，在两者具有相同湿度控制范围的情况下，该二流体喷雾加湿结构s更能达到节能约75％的优异功效。
42.以上所述的实施例及/或实施方式，仅是用以说明实现本技术技术的较佳实施例及/或实施方式，并非对本技术技术的实施方式作任何形式上的限制，任何本领域技术人员，在不脱离本技术内容所公开的技术手段的范围，当可作些许的更动或修饰为其它等效的实施例，但仍应视为与本技术实质相同的技术或实施例。