一种基板干燥装置的制作方法

本发明涉及基板干燥设备，具体涉及一种基板干燥装置。

背景技术：

1、在对基板进行超临界干燥过程中，需要对基板干燥腔室频繁升压泄压，高压腔室门需要频繁开闭，这就要求高压腔室门既要保证闭合时的密封性，又要保证开闭的便捷性，还要保证安全性。

2、现有基板干燥装置的密封门需要手动操作开关，手动操作过程繁琐，开闭时间长，极大地增加了设备运行成本，且手动操作容易导致密封门的密封性不佳，影响基板的干燥工艺。

技术实现思路

1、因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中的基板干燥装置的密封门需要手动开关，操作繁琐，开闭时间长的缺陷，从而提供一种基板干燥装置。

2、为解决上述技术问题，本发明的技术方案如下：

3、基板干燥装置，包括：腔室主体、驱动机构、密封门和快开机构；腔室主体内设有干燥腔，所述腔室主体的一侧开设有与所述干燥腔连通的密封沟槽，驱动机构设于所述腔室主体上；所述驱动机构的驱动端与所述密封门传动连接，所述驱动机构适于驱动所述密封门转动以使得所述密封门具有与所述密封沟槽相配合的所述关闭状态以及与所述密封沟槽相分离的所述开启状态；快开机构设于所述腔室主体上，所述快开机构包括有锁止结构，所述锁止结构适于对所述关闭状态下的所述密封门的外侧面挤压，使得所述密封门内侧面与所述密封沟槽的密封面相抵接，以对所述干燥腔密封。

4、根据本发明的一些实施例，所述快开机构还包括：均设于所述腔室主体上的第一驱动件和第二驱动件，所述第一驱动件的驱动端与所述锁止结构传动连接，所述腔室主体的上端面开设有安装孔，所述第一驱动件驱动所述锁止结构沿竖直方向往复运动，使得所述锁止结构具有一端穿设于所述安装孔并延伸至于所述密封门的外侧面相平行的预压状态；

5、所述第二驱动件的驱动端与所述锁止结构传动连接，所述第二驱动件适于驱动所述锁止结构绕其自身轴线转动，使得所述锁止结构具有在所述预压状态下与所述密封门的外侧面相抵接的压紧状态。

6、根据本发明的一些实施例，所述锁止结构包括：安装连接板、过渡件、锁定件和转接件，所述第一驱动件的驱动端与所述安装连接板传动连接，以驱动所述安装连接板沿竖直方向往复运动；所述过渡件固定设于所述安装连接板上；所述转接件与所述过渡件转动连接，所述过渡件对所述转接件在竖直方向上限位，所述过渡件适于带动所述转接件沿竖直方向滑移，所述转接件与所述第二驱动件的驱动端传动连接，以驱动所述转接件沿轴线方向转动；所述锁定件的一端与所述转接件固定连接，所述锁定件的另一端适于穿设于所述安装孔内并延伸至与所述密封门的外侧面相平行以实现所述预压状态，所述锁定件随所述转接件转动后与所述密封面的外侧面抵接以实现所述压紧状态。

7、根据本发明的一些实施例，所述锁定件为锁销，所述锁定件靠近所述密封门的一端设有缺面，预压状态下，所述缺面与所述密封门的外侧面相互平行，所述锁定件的轴线与所述缺面的距离小于所述锁定件的半径。

8、根据本发明的一些实施例，所述预压状态下，所述密封门和所述密封沟槽的密封面之间存在第一间隙，所述缺面与所述密封门外侧面之间存有第二间隙，所述第一间隙内设有密封件；

9、压紧状态下，所述缺面于所述密封门的外侧面形成夹角，且所述锁定件的轴线与所述密封门的外侧面之间的距离小于等于所述锁定件的半径。

10、根据本发明的一些实施例，压紧状态下，所述密封门对所述锁定件的作用力方向与所述锁定件的轴线相互垂直。

11、根据本发明的一些实施例，所述安装连接板沿其长度方向均匀开设有多个连接孔，所述锁定件、所述过渡件和所述转接件均设有多个，多个所述锁定件的一端通过所述过渡件穿设于所述连接孔内。

12、根据本发明的一些实施例，所述快开机构还包括传动组件，所述第二驱动件的驱动端通过所述传动组件与所述锁止结构传动连接。

13、根据本发明的一些实施例，所述传动组件包括：传动连接板、套杆和拨杆，所述传动连接板的一端与所述第二驱动件的传动端连接，所述第二驱动件驱动所述传动连接板沿所述安装连接板的长度方向往复滑移；所述套杆的一端固定安装在所述传动连接板上；所述拨杆的一端与所述套杆的另一端传动连接，所述拨杆的另一端与转接件固定连接，所述传动连接板带动所述拨杆转动，以使得所述锁止结构处于压紧状态。

14、根据本发明的一些实施例，所述快开机构设有两个，且分别相对设置于所述腔室主体的两个相对侧面上。

15、根据本发明的一些实施例，所述驱动机构包括有：

16、浮动结构，包括设于所述腔室主体上的导轨，以及设于所述导轨上的滑块，所述导轨远离所述密封门的一端固定设有调节组件，所述滑块上固定安装有浮动底板，所述调节组件与所述浮动底板传动连接，所述调节组件推动所述浮动底板沿所述导轨的长度方向往复运动；

17、执行结构，包括均设置于所述浮动底板上的第三驱动件和连接件，所述连接件适于安装所述密封门，所述第三驱动件的驱动端通过带轮组件与所述连接件传动连接以带动所述密封门转动。

18、根据本发明的一些实施例，所述调节组件包括：调节座、限位板、弹性件和限位件；调节座设于所述腔室主体的侧壁上，且位于所述导轨远离所述密封门的一端；所述限位板与所述浮动底板固定连接；弹性件设于所述调节座与所述限位板之间；所述限位件穿设于所述调节座上，且一端与所述限位板螺纹连接，所述限位件转动以使得所述弹性件推动所述限位板带动所述浮动底板移动。

19、根据本发明的一些实施例，所述执行结构还包括有设于所述浮动底板上的安装板，所述安装板的一侧安装有所述第三驱动件，所述连接件为铰链，所述铰链上设有驱动轴，所述驱动轴与所述密封门传动连接，所述第三驱动件的驱动端通过所述带轮组件与所述驱动轴连接。

20、根据本发明的一些实施例，带轮组件包括设于所述安装板上的第一带轮，设于所述连接件上的第二带轮，以及适于连接所述第一带轮和所述第二带轮的传动带，所述第一带轮与所述第三驱动件的驱动端传动连接，所述第二带轮与所述驱动轴传动连接。

21、根据本发明的一些实施例，所述执行结构还包括涨紧板，所述涨紧板固定安装在所述浮动底板上，所述涨紧板位于所述安装板和所述传动带之间，所述涨紧板适于调节所述传动带的张紧度。

22、本发明技术方案，具有如下优点：

23、1.本发明提供的基板干燥装置，腔室主体内部设置干燥腔，干燥腔适用于干燥基板，在腔室主体的一侧开设于干燥腔连通的密封沟槽，驱动机构的驱动端与密封门传动连接，驱动密封门转动以使得密封门具有与密封沟槽相配合的关闭状态和以及与密封沟槽相分离的开启状态，在关闭状态下，快开机构的锁止结构与密封门的外侧面挤压，从而使得密封门的内侧面与密封沟槽的密封面抵接，以对干燥腔进行密封。该基板干燥装置通过驱动机构驱动密封门的开关，从而提升操作的便捷度，快开机构的锁止结构对密封门的外侧面进行挤压，通过克服小摩擦力实现对高压下的干燥腔的密封，提升密封性能，保证基板在密封环境下进行干燥。

24、2.本发明提供的基板干燥装置，第一驱动件驱动锁止结构进行升降运动，第二驱动件驱动锁止结构进行旋转运动，通过锁止结构的升降运动和旋转运动的复合动作实现对干燥腔的密封和快开，提高操作的便捷度，降低开关的难度，提高开关效率。

25、3.本发明提供的基板干燥装置，缺面的设置使得锁定件在预压状态下可延伸至密封门的外侧面并于密封门之间形成第二间隙，当锁定件发生转动时，缺面与密封门的外侧面形成夹角，从而使得锁定件与密封门的外侧面之间相互挤压，第二间隙小于等于零，此时锁定件的轴线与密封门的外侧面之间的距离小于等于锁定件的半径，通过锁定件的挤压推动，密封门内侧面与密封沟槽的密封面之间的第一间隙小于等于零，实现对干燥腔的密封。缺面的设置使得仅通过克服锁定件与密封面外侧面之间的摩擦力，实现对高压下的干燥腔进行密封，密封方式简单且操作方便。

26、4.本发明提供的基板干燥装置，锁定件设有多个，且沿着安装连接板的长度方向均匀设置，安装连接板的长度方向与密封门的长度方向一致，多个锁定件对密封面同时进行挤压，以保证受力平衡，保证其密封性，同时避免当单个锁定件失效时，影响密封性能。

27、5.本发明提供的基板干燥装置，第二驱动件的驱动端通过传动组件与锁止结构传动连接，传动组件实现对多个锁定件件的同时控制，以保证多个锁止件同时对密封门进行挤压，保证密封门的受力平衡，同时减小结构的复杂度，降低运维成本。

28、6.本发明提供的基板干燥装置，快开机构设置两个，相对设置且分布位于腔室主体的两个相对侧面上，以对密封门的两端同时进行挤压，保证受力平衡，提高密封性能。

29、7.本发明提供的基板干燥装置，调节组件推动浮动底板，以使得浮动底板随着滑块沿导轨滑移，第三驱动件和连接件设置于浮动底板上，连接件用于连接安装密封门，第三驱动件通过带轮组件带动密封门转动，从而实现密封门的开启状态和关闭状态。通过浮动结构的可调性，使得密封门与密封沟槽的连接密封性能更强，同时采用电动驱动的方式，提高驱动效率，缩短密封门开启和关闭的时间，进而提高基板干燥效率。

30、8.本发明提供的基板干燥装置，限位板与浮动底板固定连接，限位件穿设于调节座上且一端与限位板螺纹连接，转动限位件从而对限位板进行调节，以使得浮动底板随滑块在导轨上滑移，实现调节功能，在安装座和限位板之间设置弹性件，从而保证密封门在不受力状态下任可保持在固定位置，提高结构稳定性。

31、9.本发明提供的基板干燥装置，涨紧板固定安装在浮动底板上，通过调节涨紧板和安装板，进而调节传动带的张紧程度，以保证带轮组件的正常传动，提高可靠性。