一种半导体熔炼炉的制作方法

本技术涉及半导体加工的领域，尤其是涉及一种半导体熔炼炉。

背景技术：

1、在半导体中的玻璃是一般通过不同金属进行参杂熔炼成同形态，因此需要将玻璃和不同的金属加入同一个熔炼炉进行加热融化，

2、由于金属的熔点很高，如1300℃-1600℃，因此需要通过较高的温度才能将固态的金属或玻璃融化成液态，并且均匀混合之后形成所需要的材料。然而在高温的条件下一般的搅拌器容易发生变形，驱动搅拌器的驱动件也难以在高温条件下工作。

3、现有的一般情况下是在小坩埚内用坩埚钳通过人为晃动形成搅拌；在这种模式下人工进出料费时费力使得生产率较低，并且高温环境下对工作人员身体危害大。

技术实现思路

1、为了提高工作效率并且减少对工作人员的身体危害，本技术提供一种半导体熔炼炉。

2、本技术提供的一种半导体熔炼炉采用如下的技术方案：

3、一种半导体熔炼炉，包括壳体和安装于壳体内的异形坩埚，所述壳体底部设置有摆动组件，所述异形坩埚具有加热腔，所述异形坩埚开设有与所述加热腔连通的进料口和出料口，所述加热腔内固定有固液分离板，所述加热腔还设置有混料凸起。

4、通过采用上述技术方案，壳体用于对异形坩埚的包裹，实现对异形坩埚的保温，减少异形坩埚内的高温释放到外界，摆动组件既能起到对壳体的支撑而还能对壳体进行摆动，使壳体内的异形坩埚来回摆动从而让异形坩埚内部的固态、液态和固液混合的物料进行晃动，物料在晃动的时候会撞到混料凸起，通过撞击所产生的冲击力，能够使物料被动的进行混料，提高混合效果，从而提高生产效率。固液分离板能够将固态物料与液态物料初步分离出来，而且不需要让工作人员主动将搅拌器伸入异形坩埚内，能够有效降低高温环境对工作人员的身体危害。

5、可选的，所述摆动组件包括主动单元和从动单元，所述主动单元包括驱动件、第一支架和第一摆动杆，所述第一摆动杆的一端与所述第一支架转动连接，所述第一摆动杆的另一端与所述壳体转动连接，所述驱动件的输出端能够驱动所述第一摆动杆相对所述第一支架转动。

6、通过采用上述技术方案，驱动件作为驱动源用于驱动第一摆动杆转动，使第一摆动杆作为主动件，第一支架用于对第一摆动杆支撑，壳体和异形坩埚的部分重力会通过第一摆动杆传递到第一支架上；由于通过摆动的方式可以利用固态或固液混合的物料在液态物料内晃动从而方便混合。

7、可选的，所述从动单元包括第二支架和第二摆动杆，所述第二摆动杆的一端与所述第二支架转动连接，所述第二摆动杆的另一端与所述壳体转动连接；所述第一摆动杆、壳体和第二摆动杆构成双摇杆机构。

8、通过采用上述技术方案，第二支架用于对第二摆动杆支撑，壳体和异形坩埚的另一部分重力会通过第二摆动杆传递到第二支架上；第二摆动杆充当从动件，同样实现摆动的效果，第一摆动杆和第二摆动杆来回摆动从而构成了双摇杆机构，使壳体以弧形的轨迹发生摆动，不光能够实现前后方向的晃动，而且还能实现上下方向的晃动，从而提高了晃动的效果。

9、可选的，所述壳体还设置有与所述第一摆动杆转动连接的第一联动杆和与所述第二摆动杆转动连接的第二联动杆；所述异形坩埚内开设有第一移动腔，所述第一移动腔内移动设置有第一移动板，所述第一移动板固定有与所述第一联动杆滑动连接的第一固定杆，所述第一联动杆与所述第一摆动杆之间设置有第一延迟单元，所述第一摆动杆转动时能够驱动第一联动杆转动，使第一联动杆能够驱动所述第一移动板在第一移动腔内移动；所述异形坩埚内开设有第二移动腔，所述第二移动腔内移动设置有第二移动板，所述第二移动板固定有与所述第二联动杆滑动连接的第二固定杆，所述第二联动杆与所述第二摆动杆之间设置有第二延迟单元，所述第二摆动杆转动时能够驱动第二联动杆转动，使第二联动杆能够驱动所述第二移动板在第二移动腔内移动；所述混料凸起具有多个，多个所述混料凸起分别固定设置于所述第一移动板和所述第二移动板，所述第一移动板和所述第二移动板移动时，所述混料凸起能够在加热腔内移动。

10、通过采用上述技术方案，第一联动杆在第一延迟单元的连接下，当第一摆动杆摆动时，可以让第一联动杆也发生摆动，第一联动杆摆动能推动第一固定杆相对异形坩埚滑动，使第一移动板在第一移动槽内滑动，固定在第一移动板上的混料凸起也能够在加热腔内发生移动，从而实现对固体和固液混合体进一步晃动混料的效果；同理，第二联动杆在第二延迟单元的连接下，当第二摆动杆摆动时，可以让第二联动杆也发生摆动，第二联动杆摆动能推动第二固定杆相对异形坩埚滑动，使第二移动板在第二移动槽内滑动，固定在第二移动板上的混料凸起也能够在加热腔内发生移动，从而实现液体晃动，实现不同固体物料融化成液体之后继续混料到一起的效果。

11、可选的，第一延迟单元包括第一延迟弹性件和固定于所述第一联动杆的第一延迟板，所述第一摆动杆开设有第一延迟槽，所述第一延迟板位于所述第一延迟槽内，所述第一延迟弹性件两端分别与所述第一延迟板和所述第一延迟槽的槽壁固定连接；第二延迟单元包括第二延迟弹性件和固定于所述第二联动杆的第二延迟板，所述第二摆动杆开设有第二延迟槽，所述第二延迟板位于所述第二延迟槽内，所述第二延迟弹性件两端分别与所述第二延迟板和所述第二延迟槽的槽壁固定连接。

12、通过采用上述技术方案，第一摆动杆转动时可以推动第一延迟板，使第一延迟板能够带动第一联动杆转动，第一联动杆转动的时候，可以驱动第一固定杆的移动，第一延迟弹性件可以使第一联动杆能够延迟转动，当第一摆动杆摆动驱动壳体朝其中一个方向摆动时，在摆动的过程中第一延迟弹性件会逐渐受压，然后才会推着第一联动杆转动，通过该种方式可以让混料凸起的移动起到滞后性，进一步提高了加热腔内固态和液态物料的晃动的效果；同理，第二摆动杆转动时可以推动第二延迟板，使第二延迟板能够带动第二联动杆转动，第二联动杆转动的时候，可以驱动第二固定杆的移动，第二延迟弹性件可以使第二联动杆能够延迟转动，当第二摆动杆摆动驱动壳体朝其中一个方向摆动时，在摆动的过程中第二延迟弹性件会逐渐受压，然后才会推着第二联动杆转动，同样能够进一步提高加热腔内固态和液态物料的晃动的效果。

13、可选的，所述第一摆动杆和所述第二摆动杆之间连接有稳定杆，所述稳定杆的一端与所述第一摆动杆插接，所述稳定杆的另一端与所述第二摆动杆转动连接。

14、通过采用上述技术方案，稳定杆能够让第一摆动杆和第二摆动杆在转动的时候能够进一步增加稳定性，通过对第一摆动杆插接的方式可以快速拆卸，通过对第二摆动杆转动连接的方式可以使第二摆动杆在转动的时候稳定杆不会对其造成影响。

15、可选的，所述第一摆动杆包括上杆和下杆，所述上杆具有连接凸起，所述下杆具有与所述连接凸起的适配的连接凹槽，所述下杆还开设有与所述连接凹槽连通的第一摆动槽，所述稳定杆的一端具有第一限位销，所述第一限位销穿过所述第一摆动槽并插接于所述连接凸起。

16、通过采用上述技术方案，上杆和下杆可以通过连接凸起和连接凹槽进行插拔连接，稳定杆的限位销穿过第一摆动槽之后插入连接凸起，可以将上杆和下杆锁住，使两者不能相互拆卸。第一摆动槽可以提供对第一限位销的让位空间，使第一摆动杆在转动的时候第一限位销能保持对第一连接凸起的插接。

17、可选的，所述稳定杆的另一端具有第二限位销，所述第二摆动杆开设有第二摆动槽，所述第二限位销位于所述第二摆动槽内，所述稳定杆设置有固定板和可沿所述稳定杆轴线方向滑动的滑动板，所述固定板与所述滑动板之间连接有稳定弹性件，所述第二支架开设有限位槽，所述稳定弹性件能够迫使所述第二限位销脱离于所述限位槽。

18、通过采用上述技术方案，第二限位销穿过滑动板进入至第二摆动槽内，滑动板与第二摆动杆的下部滑动连接，使第二限位销能够在第二摆动槽内摆动，稳定弹性件能够让第二限位销保持在第二摆动槽内而不会进入到限位槽内；当工作结束需要对异形坩埚的内部进行清理或将异形坩埚内的物料倒出来时，推动或拉动稳定杆，使稳定杆的第一限位销与连接凸起分离，稳定杆在移动的过程中，第二限位销会进入到限位槽内。此时上杆和下杆能够相互分离，同时由于第二限位销进入限位槽内，第二限位销能够将第二摆动杆和第二支架进行锁定，使得第二摆动杆不能够相对第二支架转动。由于第二摆动杆还是能够与壳体转动，所以只需翻转壳体，让壳体绕第二摆动杆的上端转动，能让壳体翻转的角度更大，方便将异形坩埚内的物料倒出。方便对异形坩埚清理。

19、可选的，所述固液分离板把所述加热腔分隔成固态腔和液态腔，所述固液分离板与所述加热腔底部之间形成有供液体流过的通槽，所述通槽位于所述液态腔一侧转动设置有防逆流板，所述液态腔的腔壁还设置有用于限制所述防逆流板转动范围的导向块。

20、通过采用上述技术方案，固态腔处于初步加热和混合状态，随着异形坩埚晃动加速混合融化，液态的物料会通过通槽流入到液态腔内，不同液态的物料继续晃动进行混合，然后会从出料口出来。该防逆流板会相对液态腔底部进行转动，能够对通槽的打开或关闭。壳体朝出料口方向摆动完后复位时，防逆流板在惯性的作用下对通槽打开，以使固态腔内的液态物料能够通过在惯性和晃动的作用下从通槽处进入至液态腔内。反之，当摆动组件驱动壳体朝进料口方向摆动后复位时，防逆流板在惯性的作用下对通槽关闭，防止在液态腔内的液态物料在惯性和晃动的作用下逆流回固态腔内，导向块可以限制防逆流板的转动范围，使防逆流板不会整块都抵接在液态腔的底部，方便利用防逆流板的惯性实现对通槽的打开和关闭。

21、综上所述，本技术包括以下至少一种有益技术效果：

22、1.摆动组件能够对异形坩埚摆动，同时在混料凸起的作用下，通过撞击产生的冲击力能实现物料被动的进行晃动混料，不需要让工作人员主动将搅拌器伸入异形坩埚内，能够有效降低高温环境对工作人员的身体危害；

23、2.稳定杆能够让第一摆动杆和第二摆动杆在转动的时候能够进一步增加稳定性。