一种一氧化硅的生产用卧式真空炉的制作方法

本发明涉及一氧化硅的制备，尤其涉及一种一氧化硅的生产用卧式真空炉。

背景技术：

1、一氧化硅在常温常压条件下是一种黄土色无定形的粉末，在空气中热处理时，黄土色会变成白色，可作为精细陶瓷合成原料，也可用作光学玻璃和半导体的制备。

2、一氧化硅有多种制备方式，常见的制备方式是通过高纯硅粉和高纯二氧化硅粉在高温真空的条件下进行固-固反应生成一氧化硅气体，再收集一氧化硅气体，之后冷却得到一氧化硅粉末。然而在上述制备过程中，一氧化硅气体的流动无外力推动，因而流速缓慢，导致气体收集缓慢，影响整体的制备效率，此外，还需等一氧化硅气体冷却完后，再统一聚拢收集一氧化硅粉末，不能边冷却边聚拢，不便于收集。

3、为此，亟需研发一种加速流动和便于收集的一氧化硅的生产用卧式真空炉。

技术实现思路

1、为了克服一氧化硅制备过程中，一氧化硅气体流速缓慢以及一氧化硅粉末不便于收集的缺点，本发明提供一种加速流动和便于收集的一氧化硅的生产用卧式真空炉。

2、一种一氧化硅的生产用卧式真空炉，包括有真空蒸镀炉，所述真空蒸镀炉连通有真空泵，所述真空蒸镀炉转动连接有防护门，所述真空蒸镀炉固接有气缸，所述真空蒸镀炉滑动连接有冷却板和保温板，所述冷却板和所述保温板固接，所述冷却板和所述保温板均开有用于气体流通的矩形孔，所述气缸的伸缩端与所述冷却板固接，所述真空蒸镀炉开有斜槽，所述真空蒸镀炉通过斜槽滑动连接有推板，所述推板底部设置有研磨板，研磨板与所述冷却板接触，所述真空蒸镀炉连通有冷却泵，所述冷却板设置有用于刮料时阻挡矩形孔的阻挡机构。

3、进一步的是，还包括有伸缩管，所述伸缩管固接于所述真空蒸镀炉与所述冷却板之间。

4、进一步的是，所述阻挡组件包括有盖板，所述盖板转动连接于所述冷却板，所述盖板与所述冷却板之间固接有对称分布的扭簧，所述推板靠近所述气缸的一侧与所述冷却板之间固接有伸缩杆，所述推板与所述盖板配合。

5、进一步的是，所述盖板与所述冷却板的矩形孔大小契合。

6、进一步的是，还包括有对称分布的齿条，对称分布的所述齿条均固接于所述保温板，所述真空蒸镀炉转动连接有用于搅匀高纯硅粉和高纯二氧化硅粉混合物的混合架，所述混合架固接有对称分布的齿轮，所述齿轮与相邻的所述齿条啮合，所述真空蒸镀炉固接有坩埚。

7、进一步的是，所述坩埚设置为中间低两边高，用于聚拢高纯硅粉和高纯二氧化硅粉混合物。

8、进一步的是，还包括有过滤板，所述过滤板固接于所述冷却板，所述冷却板转动连接有转动架，所述推板与所述转动架挤压配合，所述转动架与所述冷却板之间固接有扭力弹簧，所述转动架固接有用于防止所述过滤板堵塞的转板。

9、进一步的是，还包括有对称分布的翻动板，对称分布的所述翻动板均固接有转盘，所述转盘均固接有对称分布的连接杆，相邻的所述连接杆上下交错分布，相邻的所述连接杆相互挤压配合，所述齿条与相邻的所述连接杆挤压配合。

10、进一步的是，还包括有挤压杆，所述挤压杆固接于所述齿条，所述坩埚固接有对称分布的伸缩组件，所述伸缩组件的伸缩端固接有用于向内聚拢混合物的楔形架，所述楔形架与所述挤压杆挤压配合。

11、进一步的是，还包括有滑轨，所述滑轨固接于所述坩埚，所述滑轨滑动连接有防粘杆，所述防粘杆与所述坩埚接触，所述防粘杆固接有推杆，所述推杆与所述混合架挤压配合。

12、本发明具有如下优点：

13、1、本发明通过冷却板和保温板不断上下移动，加速一氧化硅气体的流动，提高一氧化硅的制备效率。

14、2、本发明通过推板向右移动，能够将上一批固化的一氧化硅粉推送到冷却板的右侧，起到收集效果，且能够边冷却边聚拢，便于后续收集。

15、3、本发明通过推板向左移动，能够将下一批固化的一氧化硅粉研磨成更细更均匀的粉末，起到研磨效果。

16、4、本发明通过伸缩杆挤压盖板挡住矩形孔，防止一氧化硅粉末通过矩形孔掉到下方。

17、5、本发明在保温板上下移动时，通过混合架正反转动对混合物进行均匀搅拌，通过坩埚中间低两边高的设置将混合物聚拢，加速一氧化硅的制作反应。

18、6、本发明在推板左右移动时，通过转动架带动转板顺逆时针来回转动，能够刮除过滤板的底部粘附的粉末，防止搅拌下方物料时，粉末飘到上方，避免一氧化硅制备不纯。

19、7、本发明在加速一氧化硅气体的流动，通过齿条向下移动驱动翻动板向内侧转动，从而将前后两边的粉末向中间聚拢，通过楔形架间歇性向内移动，从而将左右两边的粉末向中间聚拢，进一步将落在两边的混合物向中间翻动，既能提高物料的混合效果，又能聚集在中间提高物料的加热效果。

20、8、本发明通过混合架旋转过程中驱动防粘杆前后滑动及时刮除坩埚上结块的金属杂质，避免金属杂质熔融后固化在坩埚上结块。

技术特征：

1.一种一氧化硅的生产用卧式真空炉，其特征是：包括有真空蒸镀炉（1），所述真空蒸镀炉（1）连通有真空泵（101），所述真空蒸镀炉（1）转动连接有防护门（102），所述真空蒸镀炉（1）固接有气缸（103），所述真空蒸镀炉（1）滑动连接有冷却板（104）和保温板（105），所述冷却板（104）和所述保温板（105）固接，所述冷却板（104）和所述保温板（105）均开有用于气体流通的矩形孔，所述气缸（103）的伸缩端与所述冷却板（104）固接，所述真空蒸镀炉（1）开有斜槽，所述真空蒸镀炉（1）通过斜槽滑动连接有推板（106），所述推板（106）底部设置有研磨板，研磨板与所述冷却板（104）接触，所述真空蒸镀炉（1）连通有冷却泵（107），所述冷却板（104）设置有用于刮料时阻挡矩形孔的阻挡机构。

2.按照权利要求1所述的一种一氧化硅的生产用卧式真空炉，其特征是：还包括有伸缩管（108），所述伸缩管（108）固接于所述真空蒸镀炉（1）与所述冷却板（104）之间。

3.按照权利要求2所述的一种一氧化硅的生产用卧式真空炉，其特征是：所述阻挡组件包括有盖板（109），所述盖板（109）转动连接于所述冷却板（104），所述盖板（109）与所述冷却板（104）之间固接有对称分布的扭簧（1010），所述推板（106）靠近所述气缸（103）的一侧与所述冷却板（104）之间固接有伸缩杆（1011），所述推板（106）与所述盖板（109）配合。

4.按照权利要求3所述的一种一氧化硅的生产用卧式真空炉，其特征是：所述盖板（109）与所述冷却板（104）的矩形孔大小契合。

5.按照权利要求4所述的一种一氧化硅的生产用卧式真空炉，其特征是：还包括有对称分布的齿条（2），对称分布的所述齿条（2）均固接于所述保温板（105），所述真空蒸镀炉（1）转动连接有用于搅匀高纯硅粉和高纯二氧化硅粉混合物的混合架（202），所述混合架（202）固接有对称分布的齿轮（201），所述齿轮（201）与相邻的所述齿条（2）啮合，所述真空蒸镀炉（1）固接有坩埚（203）。

6.按照权利要求5所述的一种一氧化硅的生产用卧式真空炉，其特征是：所述坩埚（203）设置为中间低两边高，用于聚拢高纯硅粉和高纯二氧化硅粉混合物。

7.按照权利要求6所述的一种一氧化硅的生产用卧式真空炉，其特征是：还包括有过滤板（3），所述过滤板（3）固接于所述冷却板（104），所述冷却板（104）转动连接有转动架（301），所述推板（106）与所述转动架（301）挤压配合，所述转动架（301）与所述冷却板（104）之间固接有扭力弹簧（302），所述转动架（301）固接有用于防止所述过滤板（3）堵塞的转板（303）。

8.按照权利要求7所述的一种一氧化硅的生产用卧式真空炉，其特征是：还包括有对称分布的翻动板（402），对称分布的所述翻动板（402）均固接有转盘（401），所述转盘（401）均固接有对称分布的连接杆（4），相邻的所述连接杆（4）上下交错分布，相邻的所述连接杆（4）相互挤压配合，所述齿条（2）与相邻的所述连接杆（4）挤压配合。

9.按照权利要求8所述的一种一氧化硅的生产用卧式真空炉，其特征是：还包括有挤压杆（5），所述挤压杆（5）固接于所述齿条（2），所述坩埚（203）固接有对称分布的伸缩组件（502），所述伸缩组件（502）的伸缩端固接有用于向内聚拢混合物的楔形架（501），所述楔形架（501）与所述挤压杆（5）挤压配合。

10.按照权利要求9所述的一种一氧化硅的生产用卧式真空炉，其特征是：还包括有滑轨（6），所述滑轨（6）固接于所述坩埚（203），所述滑轨（6）滑动连接有防粘杆（601），所述防粘杆（601）与所述坩埚（203）接触，所述防粘杆（601）固接有推杆（602），所述推杆（602）与所述混合架（202）挤压配合。

技术总结
本发明涉及一氧化硅的制备技术领域，尤其涉及一种一氧化硅的生产用卧式真空炉。本发明提供一种加速流动和便于收集的一氧化硅的生产用卧式真空炉。一种一氧化硅的生产用卧式真空炉，包括有真空蒸镀炉，所述真空蒸镀炉连通有真空泵，所述真空蒸镀炉转动连接有防护门，所述真空蒸镀炉固接有气缸，所述真空蒸镀炉滑动连接有冷却板和保温板，所述冷却板和所述保温板固接，所述冷却板和所述保温板均开有用于气体流通的矩形孔，所述气缸的伸缩端与所述冷却板固接，研磨板与所述冷却板接触。本发明通过冷却板和保温板不断上下移动，加速一氧化硅气体的流动，提高一氧化硅的制备效率。

技术研发人员：李永福
受保护的技术使用者：衡水超凡新能源材料有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15