石英加热器的制作方法

本技术属于半导体加工，具体涉及一种石英加热器。

背景技术：

1、半导体产品在生产过程中需要采用高纯度惰性气体，如99.999％的氮气进行加热。由于金属加热器的加热效率高等原因，在惰性气体在加热时，通常都采用金属加热器，但是现有的金属加热器在使用时会有金属析出，导致金属离子超标，直接影响了半导体产品的良率，甚至产生报废。

技术实现思路

1、本实用新型针对现有的金属加热器在加热惰性气体时容易因金属析出而影响被加热的半导体产品的技术问题，目的在于提供一种石英加热器。

2、一种石英加热器，包括一加热壳体、设置在所述加热壳体内的加热装置，所述加热壳体上设置有进气口和出气口；

3、还包括：

4、一缠绕管，设置在所述加热壳体内，两端口分别连通所述进气口和所述出气口，所述缠绕管为采用石英制成的石英管。

5、本实用新型在现有的加热壳体内增设缠绕管，该缠绕管内流通惰性气体，惰性气体隔着缠绕管在加热壳体内进行热交换，由于缠绕管采用的是石英管，即使加热装置是金属加热器，由于惰性气体本身并没有直接与加热壳体接触，因此可保证不会因为金属析出而污染惰性气体。

6、作为优选方案，所述缠绕管采用99.99％纯度的高纯石英制成的石英管。

7、作为优选方案，所述缠绕管采用螺旋式缠绕在所述加热装置外。以增加惰性气体在加热壳体内的热交换表面积。

8、作为优选方案，还包括：

9、一第一热电偶，监控端设置在所述加热壳体内，位于所述加热装置侧边，用于监控所述加热装置的加热温度；

10、一第二热电偶，监控端设置在所述加热壳体内，位于所述出气口处，用于监控所述出气口的出口温度。

11、作为优选方案，所述加热装置采用红外加热装置，所述加热装置包括但不限于采用加热丝、加热棒或加热管中的任意一种，所述加热装置的一端可拆卸的插入于所述加热壳体内，所述加热装置的另一端作为接线端伸出于所述加热壳体。

12、作为优选方案，所述加热装置的另一端通过固定块固定在所述加热壳体上。

13、作为优选方案，所述加热装置的另一端外罩设有接线保护罩。

14、作为优选方案，所述加热壳体内设置有热交换腔，所述加热装置和所述缠绕管设置在所述热交换腔内；

15、在所述热交换腔外包覆有保温层，所述保温层外包覆有保护层，所述保护层作为所述加热壳体的外壁。

16、作为优选方案，所述加热壳体的外壁上设置有散热口。

17、作为优选方案，所述加热壳体上设置有用于固定所述加热壳体的固定支架。

18、本实用新型的积极进步效果在于：本实用新型采用石英加热器，具有如下优点：

19、1、缠绕管采用石英管将被加热的气体和金属类加热装置隔开，即能实现高效的加热，又避免了因金属析出至气体导致半导体产品的良率。

20、2、缠绕管采用螺旋式缠绕在加热装置外，一方面可大大增加热交换表面积，另一方面绕加热装置设置，热交换效率高。

21、3、第一热电偶用于监控加热装置的加热温度，以作为保护作用，避免加热装置加热温度过高。第二热电偶用于监控出气口的出口温度，用于实时控制流出的气体保持在需要的温度。

22、4、加热装置可根据需要采用不同规格型号，只要能加热即可，且可拆卸的方式，便于维护。

技术特征：

1.一种石英加热器，包括一加热壳体、设置在所述加热壳体内的加热装置，所述加热壳体上设置有进气口和出气口；

2.如权利要求1所述的石英加热器，其特征在于，所述缠绕管采用99.99％纯度的高纯石英制成的石英管。

3.如权利要求1所述的石英加热器，其特征在于，所述缠绕管采用螺旋式缠绕在所述加热装置外。

4.如权利要求1所述的石英加热器，其特征在于，还包括：

5.如权利要求1所述的石英加热器，其特征在于，所述加热装置采用红外加热装置，所述加热装置采用加热丝、加热棒或加热管中的任意一种，所述加热装置的一端可拆卸的插入于所述加热壳体内，所述加热装置的另一端作为接线端伸出于所述加热壳体。

6.如权利要求5所述的石英加热器，其特征在于，所述加热装置的另一端通过固定块固定在所述加热壳体上。

7.如权利要求5所述的石英加热器，其特征在于，所述加热装置的另一端外罩设有接线保护罩。

8.如权利要求1至7中任意一项所述的石英加热器，其特征在于，所述加热壳体内设置有热交换腔，所述加热装置和所述缠绕管设置在所述热交换腔内；

9.如权利要求1所述的石英加热器，其特征在于，所述加热壳体的外壁上设置有散热口。

10.如权利要求1所述的石英加热器，其特征在于，所述加热壳体上设置有用于固定所述加热壳体的固定支架。

技术总结
本技术属于半导体加工技术领域，具体涉及一种石英加热器。一种石英加热器，包括一加热壳体、设置在加热壳体内的加热装置，加热壳体上设置有进气口和出气口；还包括：一缠绕管，设置在加热壳体内，两端口分别连通进气口和出气口，缠绕管为采用石英制成的石英管。本技术在现有的加热壳体内增设缠绕管，该缠绕管内流通惰性气体，惰性气体隔着缠绕管在加热壳体内进行热交换，由于缠绕管采用的是石英管，即使加热装置是金属加热器，由于惰性气体本身并没有直接与加热壳体接触，因此可保证不会因为金属析出而污染惰性气体。

技术研发人员：丁高生,葛林海,李杰,马国权,申朋举
受保护的技术使用者：上海提牛科技股份有限公司
技术研发日：20230113
技术公布日：2024/1/12