一种垂直层流洁净系统的制作方法

文档序号:8729440阅读:418来源:国知局
一种垂直层流洁净系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种层流洁净系统,尤其地,本实用新型涉及应用于空气调节领域的一种垂直层流洁净系统。
【背景技术】
[0002]目前生活中和工作的空气介质环境中,存在大量的悬浮颗粒。随着现代工业的不断发展,为了保证产品的质量,微环境加工对洁净室的洁净度要求也越来越高,尤其是芯片制造企业,加工制造过程中的空气洁净程度更会影响产品的质量。
[0003]一般情况下,控制洁净度的基本方法和措施是:(I)控制污染源,减少发尘量,即对可能发生污染的设备和进入洁净室的人和物的净化;(2)及时、有效地排除尘埃,即利用洁净室避免尘埃的产生。但是现有洁净室中的气流往往不够稳定,从外部进入到洁净室的空气中的尘埃会影响微环境内的加工精度。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的一个目的在于,解决微环境中气流不稳定、影响加工精度的技术问题。
[0005]本实用新型的上述目的和其他目的通过以下技术方案来解决:
[0006]本实用新型提供一种垂直层流洁净系统,包括箱体、风机、涡壳、吸音板、导流板、静压箱,所述风机通过固定板安装在箱体顶部,所述涡壳设在所述风机出风口处,所述吸音板与所述涡壳贴合连接,所述导流板设在所述静压箱内部,其特征在于,还包括高效过滤器、细孔送风板、工作室、格栅地板、回风地沟、循环风扇,其中:所述高效过滤器设在所述静压箱的底部,所述细孔送风板与所述高效过滤器贴合连接,所述格栅地板设在所述工作室的底部,所述格栅地板与所述箱体的底部形成所述回风地沟,所述回风地沟的侧部设有回风口,所述箱体的侧部设有回风道,所述箱体的侧壁设有循环风扇。
[0007]本实用新型提供的垂直层流洁净系统,优选地,所述风机有两台,并排固定在所述箱体的顶部。
[0008]本实用新型提供的垂直层流洁净系统,优选地,所述箱体的顶部设有通风孔。
[0009]本实用新型提供的垂直层流洁净系统,优选地,所述高效过滤器和细孔送风板通过支撑架安装在所述静压箱的底部。
[0010]本实用新型提供的垂直层流洁净系统,优选地,所述导流板与所述高效过滤器所在的X轴成60°夹角。
[0011]本实用新型提供的垂直层流洁净系统,优选地,所述工作室的两侧设有竖向分布的壁灯带。
[0012]本实用新型的优点和有益效果在于:本实用新型提供的垂直层流洁净系统包括两台风机,因此一定程度上可以避免一台风机出现故障而停止工作的问题。两台风机分别对应两侧的导流板,使得气流更为平稳,消音板的设置减小了工作环境里面的噪音。循环风扇的设置使箱体内部的空气循环利用,气流的洁净度和稳定度更好。
【附图说明】
[0013]下面结合附图对本实用新型的优选实施方式进行详细或者优选地描述,其中,
[0014]图1为本实用新型的剖面示意图;
[0015]图2为本实用新型空气净化流程;
[0016]箱体1、风机2、涡壳3、吸音板4、导流板5、静压箱6、固定板7、高效过滤器8、细孔送风板9、工作室10、格栅地板11、回风地沟12、循环风扇13、回风口 14、回风道15、通风孔16、支撑架17、壁灯带18、机箱19。
【具体实施方式】
[0017]根据本实用新型的技术方案,在不变更本实用新型的实质精神的情况下,本领域的普通技术人员可以提出本实用新型的多个结构方式。因此以下【具体实施方式】以及附图只是对本实用新型的技术方案的具体说明,而不应当视为本实用新型的全部或者视为对本实用新型技术方案的限定或限制。
[0018]参考附图1,本实用新型提供一种垂直洁净系统,包括箱体1、风机2、涡壳3、吸音板4、导流板5、静压箱6,所述风机2通过固定板7安装在箱体I顶部,所述涡壳3设在所述风机2出风口处,所述吸音板4与所述涡壳3贴合连接,所述导流板5设在所述静压箱6内部,其特征在于,还包括高效过滤器8、细孔送风板9、工作室10、格栅地板11、回风地沟12、循环风扇13,其中:所述高效过滤器8设在所述静压箱6的底部,所述细孔送风板7与所述高效过滤器8贴合连接,所述格栅地板11设在所述工作室10的底部,所述格栅地板11与所述箱体I的底部形成所述回风地沟12,所述回风地沟12的侧部设有回风口 14,所述箱体I的侧部设有回风道15,所述箱体I的侧壁设有循环风扇13。
[0019]优选地,所述风机2有两台,并排固定在所述箱体I的顶部。
[0020]优选地,所述箱体I的顶部设有通风孔16。
[0021]优选地,所述高效过滤器8和细孔送风板9通过支撑架17安装在所述静压箱6的底部。
[0022]优选地,所述导流板5与所述高效过滤器8所在的X轴成60°夹角。
[0023]优选地,所述工作室10的两侧设有竖向分布的壁灯带18。
[0024]容易理解,本实用新型通过高效过滤器8、细孔送风板9、工作室10、格栅地板11、回风地沟12、循环风扇13,其中:所述高效过滤器8设在所述静压箱6的底部,所述细孔送风板7与所述高效过滤器8贴合连接,所述格栅地板11设在所述工作室10的底部,所述格栅地板11与所述箱体I的底部形成所述回风地沟12,所述回风地沟12的侧部设有回风口14,所述箱体I的侧部设有回风道15,所述箱体I的侧壁设有循环风扇13,解决了微环境中气流不稳定、加工精度低的技术问题,实现了洁净室的高洁净度、高效率的控制。
【主权项】
1.一种垂直层流洁净系统,包括箱体(1)、风机(2)、涡壳(3)、吸音板(4)、导流板(5)、静压箱(6),所述风机(2)通过固定板(7)安装在箱体(I)顶部,所述涡壳(3)设在所述风机(2)出风口处,所述吸音板(4)与所述涡壳(3)贴合连接,所述导流板(5)设在所述静压箱(6)内部,其特征在于,还包括高效过滤器(8)、细孔送风板(9)、工作室(10)、格栅地板(11)、回风地沟(12)、循环风扇(13),其中:所述高效过滤器(8)设在所述静压箱(6)的底部,所述细孔送风板(9 )与所述高效过滤器(8 )贴合连接,所述格栅地板(11)设在所述工作室(10)的底部,所述格栅地板(11)与所述箱体(I)的底部形成所述回风地沟(12),所述回风地沟(12 )的侧部设有回风口( 14),所述箱体(I)的侧部设有回风道(15 ),所述箱体(I)的侧壁设有循环风扇(13)。
2.根据权利要求1所述的一种垂直层流洁净系统,其特征在于,所述风机(2)有两台,并排固定在所述箱体(I)的顶部。
3.根据权利要求2所述的一种垂直层流洁净系统,其特征在于,所述箱体(I)的顶部设有通风孔(16)。
4.根据权利要求1所述的一种垂直层流洁净系统,其特征在于,所述高效过滤器(8)和细孔送风板(9 )通过支撑架(17)安装在所述静压箱(6 )的底部。
5.根据权利要求1所述的一种垂直层流洁净系统,其特征在于,所述导流板(4)与所述高效过滤器(8)所在的X轴成60°夹角。
6.根据权利要求1所述的一种垂直层流洁净系统,其特征在于,所述工作室(10)的两侧设有竖向分布的壁灯带(18 )。
【专利摘要】本实用新型涉及一种垂直层流洁净系统,包括箱体、风机、涡壳、吸音板、导流板、静压箱、高效过滤器、细孔送风板、工作室、格栅地板、回风地沟、循环风扇,所述高效过滤器设在所述静压箱的底部,所述细孔送风板与所述高效过滤器贴合连接,所述格栅地板设在所述工作室的底部,所述格栅地板与所述箱体的底部形成所述回风地沟,所述回风地沟的侧部设有回风口,所述箱体的侧部设有回风道,所述箱体的侧壁设有循环风扇。本实用新型提供一种垂直层流洁净系统,解决微环境中气流不稳定、加工精度低的技术问题。
【IPC分类】F24F13-28, F24F13-24, F24F1-00, F24F13-08
【公开号】CN204438332
【申请号】CN201420825110
【发明人】李海涛, 陈怡宏, 张意, 华建民, 康明, 黄乐鹏, 张爱莉
【申请人】重庆建工住宅建设有限公司, 重庆大学, 重庆建工集团股份有限公司
【公开日】2015年7月1日
【申请日】2014年12月24日
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