一种冷却水分配系统的制作方法

1.本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种冷却水分配系统。


背景技术：

2.在半导体生产过程中，为了提高产能、效率及产品质量，一条产线上通常会使用多台设备累加一起运行，由于厂务端每条产线一般只留有一个冷却水接口，而冷却水需要同时分配给多台设备，由于设备位置不一样，会造成冷却水管路长度不一致，冷却水在设备内部循环后设备才会启动、热机，当多台设备同时流经冷却水进行循环后，会经过一段时间，且由于设备启动时间不一样，设备运行的状态也不一样，同时投入使用的话，在一定程度上会影响产能、效率及产品质量。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的产线上一个冷却水接口同时分配冷却水给多台设备，由于冷却水到达各设备的管路长度不一致，导致各设备运行状态不一样，影响产能、效率及产品质量的问题，而提出的一种冷却水分配系统。
4.为实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种冷却水分配系统，用以实现同时向多个设备提供冷却水，该冷却水分配系统包括冷却水进水单元、冷却水感应单元和冷却水控制单元，冷却水进水单元包括冷却水进口和多个冷却水出口，冷却水子单元和冷却水进口连接，多个冷却水出口与多个设备一一对应；冷却水感应单元包括多个感应子单元和多个开关子单元，多个感应子单元与多个冷却水出口一一对应，多个开关子单元与多个冷却水出口一一对应，每个冷却水出口依次连接与其对应的感应子单元、开关子单元和设备，多个感应子单元与其对应的设备之间的连接距离均相等，多个开关子单元与其对应的设备之间的连接距离均相等，每个感应子单元与其对应的开关子单元紧邻连接；冷却水控制单元的输入端与多个感应子单元的输出端电性连接，冷却水控制单元的输出端与多个开关子单元的输入端电性连接；其中，当冷却水控制单元同时接收到多个感应子单元传动的电信号时，冷却水控制单元向多个开关子单元传动开启信号以控制多个开关子单元同时打开。
5.较佳地，多个感应子单元均为液位传感器。
6.较佳地，多个开关子单元均安装在其对应的设备的进水口处。进一步地，多个开关子单元均为常闭型电磁液压阀。
7.较佳地，冷却水子单元为外接冷却水，分流子单元为冷却水分流器，冷却水分流器的冷却水进口与外接冷却水连接，冷却水分流器的多个冷却水出口与多个设备一一对应。
8.与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：通过设置与多个设备一一对应的多个冷却水出口、多个感应子单元和多个开关子单元构成流通管路，配合多个感应子单元与其对应的设备之间的连接距离均相等、多个开关子单元与其对应的设备之间的连接距离均相等、每个感应子单元与其对应的开关子单元紧邻连接的设计，当多个感应子单元同时得
到信号后，冷却水控制单元会发出指令，使与设备紧密相连的多个开关子单元同时打开，实现了冷却水同时流入多个设备中，保证了多个设备的开机时间和运行状态始终保持一致，从而显著提高了产能、效率及产品质量。
附图说明
9.图1为本实用新型一实施例的一种冷却水分配系统的结构示意图；
10.图2为本实用新型一实施例的一种冷却水分配系统的系统结构图。
具体实施方式
11.为使对本实用新型的目的、构造、特征、及其功能有进一步的了解，兹配合实施例详细说明如下。
12.请结合参照图1和图2，本实用新型的一种冷却水分配系统，用以实现同时向多个设备100提供冷却水，从而使多个设备100同时开机，多个设备100的运行状态始终保持一致。该冷却水分配系统包括冷却水进水单元1、冷却水感应单元2和冷却水控制单元3。
13.请参照图1，冷却水进水单元1用以向多个设备100分配冷却水，冷却水进水单元1包括冷却水子单元11和分流子单元12，冷却水子单元11用以提供冷却水，分流子单元12用以对冷却水进行分流使每个设备100均有冷却水流入，分流子单元12包括冷却水进口121和多个冷却水出口122，冷却水子单元11和冷却水进口121连接，多个冷却水出口122与多个设备100一一对应。在一优选的实施方式中，冷却水子单元11为外接冷却水，比如厂务端冷却水，分流子单元12为冷却水分流器，冷却水分流器的冷却水进口与外接冷却水连接，冷却水分流器的多个冷却水出口与多个设备100一一对应。
14.请继续参照图1，冷却水感应单元2用以监测流向各设备100的冷却水，冷却水感应单元2包括多个感应子单元21和多个开关子单元22，多个感应子单元21与多个冷却水出口122一一对应，多个开关子单元22与多个冷却水出口122一一对应，每个冷却水出口122依次连接与其对应的感应子单元21、开关子单元22和设备100，构成分流子单元12
‑
感应子单元21
‑
开关子单元22
‑
设备100的多条流通管路，以使每个感应子单元21能够监测是否有冷却水流向其对应的设备100、使每个开关子单元22能够控制流向其对应的设备100的冷却水的通断，多个感应子单元21与其对应的设备100之间的连接距离均相等，即多个感应子单元21与其对应的设备100之间的连接管长度均相等，多个开关子单元22与其对应的设备100之间的连接距离相等，即多个开关子单元22与其对应的设备100之间的连接管长度相等，每个感应子单元21与其对应的开关子单元22紧邻连接，以避免因冷却水出口122到其对应的感应子单元21的连接管长度不一致而导致部分流通管路中感应子单元21感应到冷却水流经时冷却水未到达开关子单元22的现象的发生。
15.请参照图2，冷却水控制单元3的输入端与多个感应子单元21的输出端电性连接以接收各感应子单元21发送的冷却水流经电信号，冷却水控制单元3的输出端与多个开关子单元22的输入端电性连接以控制各开关子单元22打开使冷却水流进对应的设备100。在实际使用中，多个感应子单元21可以是液位传感器，多个开关子单元22可以是常闭型电磁液压阀。
16.使用过程：冷却水子单元11向分流子单元12提供冷却水，分流子单元12将冷却水
进行分流后提供给多个设备100，每条分流子单元12
‑
感应子单元21
‑
开关子单元22
‑
设备100管路上的感应子单元21监测到冷却水后向冷却水控制单元3发送冷却水流经电信号，当所有管路上的感应子单元21均向控制单元3发送冷却水流经电信号时，说明每条管路上均有冷却水流向对应的设备100，此时，冷却水控制单元3向多个开关子单元22传送开启信号控制多个开关子单元22同时打开，每条管路上的冷却水均经过开关子单元22流向对应的设备100，由于多个开关子单元22与其对应的设备100之间的连接距离相等，因而各管路上的冷却水同时进入对应设备100，从而保证各设备的开机时间和运行状态完全一致，在多个设备累加一起运行时，提高产能、效率及产品质量。
17.为了能够消除各管路中冷却水流速对冷却水到达各设备100时间的影响，多个开关子单元22均安装在其对应的设备的进水口处，此时，冷却水控制单元3同时接收到多个感应子单元21传送的电信号后控制多个开关子单元22同时打开，即可使冷却水同时进入各设备100，保证各设备的开机时间和运行状态完全一致，从而在多个设备累加一起运行时，提高产能、效率及产品质量。
18.本实用新型的一种冷却水分配系统，通过设置与多个设备一一对应的多个冷却水出口、多个感应子单元和多个开关子单元构成流通管路，配合多个感应子单元与其对应的设备之间的连接距离均相等、多个开关子单元与其对应的设备之间的连接距离均相等、每个感应子单元与其对应的开关子单元紧邻连接的设计，当多个感应子单元同时得到信号后，冷却水控制单元会发出指令，使与设备紧密相连的多个开关子单元同时打开，实现了冷却水同时流入多个设备中，保证了多个设备的开机时间和运行状态始终保持一致，从而显著提高了产能、效率及产品质量。
19.本实用新型已由上述相关实施例加以描述，然而上述实施例仅为实施本实用新型的范例。必需指出的是，已揭露的实施例并未限制本实用新型的范围。相反地，在不脱离本实用新型的精神和范围内所作的更动与润饰，均属本实用新型的专利保护范围。