一种用于半导体设备的新型恒温循环装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体温控设备技术领域，特别涉及一种用于半导体设备的新型恒温循环装置。


背景技术：

2.半导体作为重要的导电材料，目前广泛应用于计算机、大型精密仪器等领域，在半导体的使用过程中，在半导体设备长时间工作时，必然伴随设备发热，为了保证设备的正常运行，往往需要给半导体设备配备制冷或者恒温装置，目前常用的有加热管、风扇、制冷件等，制冷件中最常用的就是循环液制冷，在使用循环液制冷过程中，对循环液的温度、循环液都有较高要求。
3.但是目前使用的半导体恒温装置恒温效果都不太稳定。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的旨在至少解决所述技术缺陷之一。
5.为此，本实用新型的一个目的在于提出一种用于半导体设备的新型恒温循环装置，以解决背景技术中所提到的问题，克服现有技术中存在的不足。
6.为了实现上述目的，本实用新型一方面的实施例提供一种用于半导体设备的新型恒温循环装置，包括壳体，所述壳体为长方体结构，所述壳体内部设置恒温循环组件，所述恒温循环组件包括水箱、泵、压缩机、冷凝器和换热器，在所述壳体内部底面板上固定有多个安装底座和支架，水箱通过螺栓固定在支架上，压缩机和泵分别通过螺栓固定在安装底座上，换热器悬挂在壳体内壁上，水箱、泵和换热器通过管道连接成一个循环回路。
7.由上述任一方案优选的是，所述水箱内部装有循环液，水箱的顶部设置有进水口，所述水箱上安装液位计，水箱的底部设置有出水口，所述泵的底部设置有出水口和进水口，所述压缩机上面设置有吸入口和吐出口，所述冷凝器上设有吸气口和出气口，所述换热器上设置有循环液进水口和循环液出水口，所述换热器上设置有冷媒进气口和冷媒出气口，所述泵的出水口连接设备出水口，换热器的进水口为设备进水口，换热器的循环液出水口连接所述水箱进水口，所述换热器上还设置有冷媒进气口和冷媒出气口，所述冷媒进气口连接膨胀阀，所述膨胀阀连接冷凝器出气口，冷凝器进气口连接压缩机吐出口，所述换热器冷媒出气口连接压缩机吸入口，所述膨胀阀由控制板控制开度，所述设备进水口和出水口连接外部设备进行冷却。
8.由上述任一方案优选的是，设备出水口处安装有压力表、第一温度传感器，所述设备外壳设置有断路器、电缆防水接头和通讯接口。
9.由上述任一方案优选的是，所述水箱的内部还设置有浮球液位开关，所述浮球液位开关通过电缆连接水箱内部的浮球，水箱侧面安装有液位计，所述第一温度传感器分别与控制板连接，所述液位开关与压力传感器分别与控制板连接
10.由上述任一方案优选的是，该装置还包括过滤器，该过滤器采用5寸塑料滤瓶过滤
器，该5寸过滤器中装有pp棉滤芯，过滤器通过pvc软管与水箱连接。
11.由上述任一方案优选的是，所述泵的底部设置有螺丝孔，泵通过与螺丝孔配套的螺栓固定安装在壳体内，在泵与壳体的接触部位设置有泵胶垫。
12.由上述任一方案优选的是，所述换热器采用板式换热器。
13.由上述任一方案优选的是，循环液回路安装有第二温度传感器，所述第二温度传感器安装在循环液回水口处，所述第二温度传感器与控制板连接。
14.由上述任一方案优选的是，述膨胀阀由控制板控制开度。
15.由上述任一方案优选的是，管道使用pvc管，所述管路使用卡箍紧固。
16.由上述任一方案优选的是，控制逻辑要求的实现为自主研发电路控制。
17.采用以上技术手段后可以获得以下优势：
18.本实用新型提出了一种半导体设备用的恒温循环装置，本装置壳体内部设置水箱、压缩机、冷凝器、泵、膨胀阀和换热器，水箱内部装有用于给半导体设备降温的循环液，换热器用于给循环液降温，在循环液回路中，水箱中的循环液由泵打出去，对外部的半导体设备进行冷却降温，经过设备的循环液变成高温液体，再换热器降温后进入水箱，泵将低温的循环液打出去，如此循环。在冷媒回路中，冷媒从压缩机到冷凝器，再经过膨胀阀a进入换热器，低温的冷媒在换热器对循环液进行降温，再回到压缩机。本装置还有加热功能，通过膨胀阀b，在换热器中给循环液升温，以达到维持稳定恒定的目的。泵和压缩机由控制板控制启停，膨胀阀由控制板控制开度，本装置安装有过滤器，在换热器和水箱之间安装5寸塑料过滤瓶，通过pp棉对循环液进行过滤，减少循环液中的杂质。
19.本实用新型附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
20.本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
21.图1为根据本实用新型实施例一种半导体设备用的恒温循环装置的结构示意图；
22.图2为根据本实用新型实施例一种半导体设备用的恒温循环装置的另一视角结构示意图；
23.图3为根据本实用新型实施例一种半导体设备用的恒温循环装置的另一视角结构示意图；
24.图4为根据本实用新型实施例一种半导体设备用的恒温循环装置的另一视角结构示意图。
25.图中，1、外壳，2、水箱，3、泵，4、压缩机，5、冷凝器，6、换热器，7、膨胀阀a，8、膨胀阀b，9、循环液进水口，10、循环液出水口，11、压力传感器，12、温度传感器，13、控制板，14、电源开关，15、品字插座，16、通讯接口，17、顶盖，18、注液口，19、浮球液位开关，20、液位计，21、第二温度传感器，22、水箱出水口，23、泵入水口，24、泵出水口，25、宝塔接头，26、分流块，27、泵胶垫，28、冷媒压力传感器，29，排液阀，30、漏液传感器，31、干燥过滤器，32、5寸滤瓶。
具体实施方式
26.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
27.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
28.如图1-4所示，本实用新型提供了一种半导体设备用的恒温循环装置，装置主要包括外壳1、水箱2、泵3、压缩机4、冷凝器5和换热器6，在壳体内部底面板上固定有多个安装底座和支架，水箱2通过螺栓固定在支架上，压缩机4和泵3分别通过螺栓固定在安装底座上，换热器6悬挂在壳体内壁上，水箱2、泵3和换热器6通过管道连接成一个循环回路，压缩机4、换热器6、冷凝器5、膨胀阀a 7、膨胀阀b 8通过铜管连接成一个循环回路，泵3和压缩机4由控制板13控制启停，膨胀阀由控制板13控制开度，在设备后壁有循环液进水口9和循环液出水口10，经过外置过滤器，通过管路和外部设备连接，泵出水口24安装有压力传感器11和第一温度传感器12，温度传感器和压力传感器11分别和控制板13连接，用于显示泵出口的压力和温度，设备后壁设置有断路器14、电缆防水接头15和通讯接口16，可以将装置内部采集到的信号传输到上位机，为了便于检查和维修壳体内部器件，在壳体的上面设置顶盖17，在需要检查或维修时打顶盖17，就可以直接对壳体内的器件进行操作，水箱2内部装有循环液，循环液主要用于给外部的半导体设备降温，如图4所示，水,2的顶部设置有注液口18、浮球液位开关19，浮球液位开关19通过电缆连接水箱内部的浮球，用于测量水箱2内部液位，浮球液位开关19可以通过电缆连接到控制,13，在水箱2的一侧固定安装有液位计20，液位计20的两端通过螺栓固定在水箱2上，液位计20用于测量水箱2内的水位，换热,6上面安装有第二温度传感器21，用于测量循环液回液温度，水箱2的底部设置有水箱出水口22，水箱出水口22处通过pvc软管和泵连接，泵的3底部设置有泵入水口23和泵出水口24，泵出水口24通过宝塔接头25连接了一段pvc软管，软管和分流块26连接，分流块上面安装有压力传感器11和第一温度传感器12，在泵3的底部设置有螺丝孔，泵3通过与螺丝孔配套的螺栓固定安装在壳体内的安装底座上，为了增大摩擦，避免装置搬动过程中泵松动，在泵与安装底座的接触部位设置有泵胶垫27，换热器6采用板式换热器，在换热器6上设置有4个开口，分别是循环液进水口9、循环液出水口10、冷媒进气口和冷媒出气口，循环液出水口10连接水箱2，换热器6上循环液进水口9作为设备循环液进水口，冷媒进气口连接膨胀阀，膨胀阀连接冷凝器出气口，冷凝器进气口连接压缩机吐出口，换热器冷媒出气口连接压缩机吸入口，换热器上面安装了第二温度传感器21，换热器6的出液口与干燥过滤器31连接，在冷媒循循环上设置冷媒压力传感器28，水箱2的出水口设置排液阀29和漏液传感器30，本装置在设备循环液出口设置有外置过滤器，该过滤器为5寸滤瓶32.
29.本实用新型装置的工作原理如下：
30.本实用新型装置包括循环回路和冷媒回路，在循环液回路中，水箱中的循环液由
泵打出去，对外部的半导体设备进行冷却降温，经过设备的循环液变成高温液体，再换热器降温后进入水箱，泵将低温的循环液打出去，如此循环。在冷媒回路中，冷媒从压缩机到冷凝器，再经过膨胀阀a进入换热器，低温的冷媒在换热器对循环液进行降温，再回到压缩机。
31.本实用新型装置通过不间断的循环的循环液实现给半导体设备降温的功能，装置内的膨胀阀的开度可以经过控制板控制，以保证循环液温度恒定，进而实现稳定的降温效果。本装置在换热器和水箱之间设置有过滤器，通过pp棉对循环液进行过滤，减少循环液中的杂质，满足本装置的要求。
32.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
33.本领域技术人员不难理解，本实用新型包括上述说明书的实用新型内容和具体实施方式部分以及附图所示出的各部分的任意组合，限于篇幅并为使说明书简明而没有将这些组合构成的各方案一一描述。凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
34.尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。本实用新型的范围由所附权利要求及其等同限定。