一种冷却加热管热管理装置的制作方法

1.本实用新型涉及蒸发器加热管技术领域，特别是指一种冷却加热管热管理装置。


背景技术：

2.在蒸发器设备中，加热管被用于半导体工业中将材料在加热管中汽化以进行后续沉积薄膜过程。加热管更换在材料时，需要对加热管进行冷却，但是冷却所需的时间较长，因此如何对其快速降温需要用到对加热管冷却的热管理装置或热交换器。液态水可在一些情况下用作热设备的冷却剂，但是部分由于水的高比热容和/或汽化热的水功效的原因，当温度高于水的沸点温度时，由于水的快速汽化，将水用作热交换器中的冷却剂可能引起高压。高压可能破坏垫圈和密封，和导致热交换器的故障。
3.cn103988039a公开了用于冷却加热管的热交换器，所述热交换器包含：至少两个冷却管，其中所述至少两个冷却管被布置以使得所述至少两个冷却管的每个冷却管被配置以与加热管热接触；和用于产生气雾剂的装置，所述装置被配置以在至少两个冷却管中提供气雾剂。该装置通过气雾方式对加热管的冷却。但是此种装置存在气雾剂的消耗量大的现象，带来极高的生产成本，不利于日常生产中的长久利用。


技术实现要素：

4.针对上述背景技术中的不足，本实用新型提出一种冷却加热管热管理装置，以解决上述背景技术中所提出的问题。
5.本实用新型的技术方案是这样实现的：一种冷却加热管热管理装置，包括加热管，所述加热管外套设有若干封闭环管且封闭环管端部与加热管外侧壁密封连接，加热管与封闭环管之间形成冷却间隙，冷却间隙内填充有蜂窝金属网丝，冷却间隙穿过封闭环管与油冷组件相连通形成冷却回路。
6.优选的，所述封闭环管包括套管，套管两端均固定与挡环的外环面连接，挡环的内环面与加热管的外侧壁固定连接，套管外侧壁上对应设有进油口和出油口。
7.优选的，所述挡环与套管和加热管均焊接密封相连。
8.优选的，所述冷却间隙厚度大于等于3mm。
9.优选的，所述蜂窝金属网丝为由金属丝团成的不规则蜂窝状结构。
10.优选的，所述油冷组件包括通过管道与进油口相连通的油泵和与出油口相连通的油箱，油箱与油泵之间通过管道相连通。
11.优选的，所述油箱外侧壁设有散热片，油箱内设有冷却油。
12.优选的，所述进油口和出油口处均设有滤网。
13.本实用新型的有益效果：通过设置油冷组件与封闭环管从而在加热管外侧壁形成冷却回路来对加热管进行散热，避免了现有技术利用冷却水对加热管冷却带来的冷却水蒸发引起系统高压的现象，同时也避免了现有技术使用气雾剂带来的生产成本急剧提升现象；通过设置蜂窝金属网丝，将加热管的热量引导至蜂窝金属网丝来提高散热面积，从而加
快散热效率，降低冷却所用的时间，从而更好实现对加热管冷却过程的热管理，并且本装置冷却效果更好，设置多个封闭环管，从而降低单个冷却回路所需进行冷却的加热管长度，从而使冷却效率更高。
附图说明
14.为了更清楚地说明本实用新型实施例，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
15.图1为本实用新型封闭环管剖面结构示意图；
16.图2为本实用新型封闭环管与油冷组件连接示意图。
具体实施方式
17.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
18.如图1、2所示，实施例1，一种冷却加热管热管理装置，包括加热管1，所述加热管1外套设有若干封闭环管2且封闭环管2端部与加热管1外侧壁密封连接，加热管1与封闭环管2之间形成冷却间隙，冷却间隙内填充有蜂窝金属网丝3，冷却间隙穿过封闭环管2与油冷组件相连通形成冷却回路。通过设置油冷组件与封闭环管从而在加热管外侧壁形成冷却回路来对加热管进行散热，避免了现有技术利用冷却水对加热管冷却带来的冷却水蒸发引起系统高压的现象，同时也避免了现有技术使用气雾剂带来的生产成本急剧提升现象；通过设置蜂窝金属网丝，将加热管的热量引导至蜂窝金属网丝来提高散热面积，从而加快散热效率，降低冷却所用的时间，从而更好实现对加热管冷却过程的热管理。
19.本实施例中，可选多个封闭环管沿加热管轴向分布设置，从而使单个冷却回路所需处理的长度更短，从而大幅提高冷却效率。同时也能够降低单个油泵所需的泵出力。
20.实施例2，在实施例1的基础上，封闭环管2包括套管4，套管4两端均固定与挡环5的外环面连接，挡环5的内环面与加热管1的外侧壁固定连接，套管4外侧壁上对应设有进油口7和出油口6。具体的，进油口和出油口分别设在套管的两相对侧侧壁上，从而使进入冷却间隙内的冷却油流经整个区域，避免散热不均。
21.进一步，挡环5与套管4和加热管1均焊接密封相连。冷却间隙厚度大于等于3mm。间隙过小，不利于蜂窝金属网丝的设置，也会降低蜂窝金属网丝的散热效果。
22.实施例3，在实施例2的基础上，蜂窝金属网丝3为由金属丝团成的不规则蜂窝状结构。油冷组件包括通过管道与进油口7相连通的油泵8和与出油口6相连通的油箱9，油箱9与油泵8之间通过管道相连通。
23.进一步，油箱9外侧壁设有散热片，油箱9内设有冷却油。进油口7和出油口6处均设有滤网。设置滤网，能够滤掉蜂窝金属网丝长时间使用掉落的残渣。
24.本实施例在使用时，需要对加热管进行热管理而冷却时，开启油泵8，油泵从油箱9
内抽取冷却油，从进油口进入冷却间隙内，将加热管管壁和蜂窝金属网丝上的热量带走，再经过出油口回到油箱内。
25.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种冷却加热管热管理装置，包括加热管（1），其特征在于：所述加热管（1）外套设有若干封闭环管（2）且封闭环管（2）端部与加热管（1）外侧壁密封连接，加热管（1）与封闭环管（2）之间形成冷却间隙，冷却间隙内填充有蜂窝金属网丝（3），冷却间隙穿过封闭环管（2）与油冷组件相连通形成冷却回路。2.根据权利要求1所述的冷却加热管热管理装置，其特征在于：所述封闭环管（2）包括套管（4），套管（4）两端均固定与挡环（5）的外环面连接，挡环（5）的内环面与加热管（1）的外侧壁固定连接，套管（4）外侧壁上对应设有进油口（7）和出油口（6）。3.根据权利要求2所述的冷却加热管热管理装置，其特征在于：所述挡环（5）与套管（4）和加热管（1）均焊接密封相连。4.根据权利要求3所述的冷却加热管热管理装置，其特征在于：所述冷却间隙厚度大于等于3mm。5.根据权利要求4所述的冷却加热管热管理装置，其特征在于：所述蜂窝金属网丝（3）为由金属丝团成的不规则蜂窝状结构。6.根据权利要求5所述的冷却加热管热管理装置，其特征在于：所述油冷组件包括通过管道与进油口（7）相连通的油泵（8）和与出油口（6）相连通的油箱（9），油箱（9）与油泵（8）之间通过管道相连通。7.根据权利要求6所述的冷却加热管热管理装置，其特征在于：所述油箱（9）外侧壁设有散热片，油箱（9）内设有冷却油。8.根据权利要求7所述的冷却加热管热管理装置，其特征在于：所述进油口（7）和出油口（6）处均设有滤网。

技术总结
本实用新型公开了一种冷却加热管热管理装置，涉及蒸发器加热管技术领域，包括加热管，所述加热管外套设有若干封闭环管且封闭环管端部与加热管外侧壁密封连接，加热管与封闭环管之间形成冷却间隙，冷却间隙内填充有蜂窝金属网丝，冷却间隙穿过封闭环管与油冷组件相连通形成冷却回路。本方案避免了现有技术利用冷却水对加热管冷却带来的冷却水蒸发引起系统高压的现象，同时也避免了现有技术使用气雾剂带来的生产成本急剧提升现象；通过设置蜂窝金属网丝，将加热管的热量引导至蜂窝金属网丝来提高散热面积，从而加快散热效率，降低冷却所用的时间，从而更好实现对加热管冷却过程的热管理，并且本装置冷却效果更好，效率更高。效率更高。效率更高。


技术研发人员：王勇 马福强 吴伟斌 刘亚飞
受保护的技术使用者：华新控股（河南）有限公司
技术研发日：2022.11.21
技术公布日：2023/3/21