一种真空镀膜机的冷却装置的制作方法

本技术涉及真空镀膜机，具体为一种真空镀膜机的冷却装置。

背景技术：

1、真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

2、经检索，申请号cn201920443060.9公开了一种真空镀膜机冷却装置，让冷却水在导水管内形成循环进行水冷散热，同时抽风机让外机壳内部空气流动进行风冷散热，从而很好的提高了真空镀膜机的冷却效果，增加其使用寿命。

3、但该装置仍具有以下不足之处：虽然能够通过冷却水对真空镀膜机真空镀膜机腔体进行散热，但随着水的循环，冷却用水无法进行快速散热并再次利用，冷却效果会变差，影响真空镀膜机的冷却。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜机的冷却装置，通过向水箱内添加冷却水，将真空镀膜机腔体的热量吸收，对真空镀膜机腔体进行冷却，冷却液对输水管进行降温，降低输水管内冷却水的温度，将一部分冷气吹向真空镀膜机腔体，提高了对真空镀膜机腔体的冷却效果，将另一部分冷气吹向输水管和冷却液，对冷却液和输水管降温，从而对冷却水散热，提高了冷却水对真空镀膜机腔体的冷却效果，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空镀膜机的冷却装置，包括外壳，所述外壳底部的左侧栓接有水箱，所述外壳的内腔安装有真空镀膜机腔体，所述外壳的内腔设置有循环水冷机构，所述外壳内腔的右侧设置有喷气组件，所述水箱内腔的顶部和底部均栓接有隔板，所述水箱的左侧从上至下依次连通有第一加水管和第一排水管，所述外壳底部的右侧栓接有底箱，所述底箱的右侧从上至下依次连通有第二加水管和第二排水管，所述底箱的内腔添加有冷却液。

3、优选的，所述循环水冷机构包括水泵、冷却管和输水管，所述水箱内腔底部的左侧栓接有水泵，所述水泵的进水口连通有进水管，且进水管的右端贯穿至隔板的右侧，所述水泵的出水口连通有出水管，且出水管远离水泵的一端连通有冷却管，所述冷却管远离进水管的一端贯穿水箱并连通有输水管，所述输水管远离冷却管的一端贯穿底箱并与水箱的右侧连通，所述冷却管安装在真空镀膜机腔体的表面。

4、优选的，所述喷气组件包括冷风机、三通管、输气管、第一连通架和第二连通架，所述外壳的右侧栓接有固定台，所述固定台顶部的左侧栓接有冷风机，所述冷风机的进风口连通有进气管，所述冷风机的出风口连通有出气管，且出气管的左端贯穿外壳并连通有三通管，所述三通管的顶端和底端均连通有输气管，所述输气管远离三通管的一端分别连通有第一连通架和第二连通架，所述第二连通架的顶部与底箱内腔的顶部栓接，所述第一连通架的右侧与外壳内腔的右侧栓接，所述第一连通架的左侧和第二连通架的底部均连通有若干喷头。

5、优选的，所述外壳内腔顶部的两侧均栓接有散热风扇。

6、优选的，所述外壳的顶部从左至右均依次开设有散热槽，所述外壳的顶部栓接有第一滤网。

7、优选的，所述固定台顶部的右侧栓接有框体，所述框体内腔的顶部和底部均栓接有第二滤网，所述框体的左侧与进气管的右端连通。

8、优选的，所述水箱内腔顶部和底部的右侧均栓接有过滤板。

9、优选的，所述底箱内腔的背面从左至右均依次栓接有固定件，且固定件的内腔与输水管的表面栓接。

10、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

11、1、本实用新型提供一种真空镀膜机的冷却装置，通过水泵、冷却管和输水管的配合，通过向水箱内添加冷却水，将真空镀膜机腔体的热量吸收，对真空镀膜机腔体进行冷却，冷却液对输水管进行降温，降低输水管内冷却水的温度。

12、2、本实用新型提供一种真空镀膜机的冷却装置，通过冷风机、三通管、输气管、第一连通架和第二连通架的配合，将一部分冷气吹向真空镀膜机腔体，提高了对真空镀膜机腔体的冷却效果，将另一部分冷气吹向输水管和冷却液，对冷却液和输水管降温，从而对冷却水散热，提高了冷却水对真空镀膜机腔体的冷却效果。

技术特征：

1.一种真空镀膜机的冷却装置，其特征在于：包括外壳(1)，所述外壳(1)底部的左侧栓接有水箱(2)，所述外壳(1)的内腔安装有真空镀膜机腔体(3)，所述外壳(1)的内腔设置有循环水冷机构(4)，所述外壳(1)内腔的右侧设置有喷气组件(5)，所述水箱(2)内腔的顶部和底部均栓接有隔板，所述水箱(2)的左侧从上至下依次连通有第一加水管和第一排水管，所述外壳(1)底部的右侧栓接有底箱(6)，所述底箱(6)的右侧从上至下依次连通有第二加水管和第二排水管，所述底箱(6)的内腔添加有冷却液。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的冷却装置，其特征在于：所述循环水冷机构(4)包括水泵(41)、冷却管(42)和输水管(43)，所述水箱(2)内腔底部的左侧栓接有水泵(41)，所述水泵(41)的进水口连通有进水管，且进水管的右端贯穿至隔板的右侧，所述水泵(41)的出水口连通有出水管，且出水管远离水泵(41)的一端连通有冷却管(42)，所述冷却管(42)远离进水管的一端贯穿水箱(2)并连通有输水管(43)，所述输水管(43)远离冷却管(42)的一端贯穿底箱(6)并与水箱(2)的右侧连通，所述冷却管(42)安装在真空镀膜机腔体(3)的表面。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的冷却装置，其特征在于：所述喷气组件(5)包括冷风机(51)、三通管(52)、输气管(53)、第一连通架(54)和第二连通架(55)，所述外壳(1)的右侧栓接有固定台(7)，所述固定台(7)顶部的左侧栓接有冷风机(51)，所述冷风机(51)的进风口连通有进气管，所述冷风机(51)的出风口连通有出气管，且出气管的左端贯穿外壳(1)并连通有三通管(52)，所述三通管(52)的顶端和底端均连通有输气管(53)，所述输气管(53)远离三通管(52)的一端分别连通有第一连通架(54)和第二连通架(55)，所述第二连通架(55)的顶部与底箱(6)内腔的顶部栓接，所述第一连通架(54)的右侧与外壳(1)内腔的右侧栓接，所述第一连通架(54)的左侧和第二连通架(55)的底部均连通有若干喷头。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的冷却装置，其特征在于：所述外壳(1)内腔顶部的两侧均栓接有散热风扇(8)。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的冷却装置，其特征在于：所述外壳(1)的顶部从左至右均依次开设有散热槽，所述外壳(1)的顶部栓接有第一滤网(9)。

6.根据权利要求3所述的一种真空镀膜机的冷却装置，其特征在于：所述固定台(7)顶部的右侧栓接有框体(10)，所述框体(10)内腔的顶部和底部均栓接有第二滤网(11)，所述框体(10)的左侧与进气管的右端连通。

7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的冷却装置，其特征在于：所述水箱(2)内腔顶部和底部的右侧均栓接有过滤板(12)。

8.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的冷却装置，其特征在于：所述底箱(6)内腔的背面从左至右均依次栓接有固定件，且固定件的内腔与输水管(43)的表面栓接。

技术总结
本技术公开了一种真空镀膜机的冷却装置，包括外壳，所述外壳底部的左侧栓接有水箱，所述外壳的内腔安装有真空镀膜机腔体，所述外壳的内腔设置有循环水冷机构，通过水泵、冷却管和输水管的配合，通过向水箱内添加冷却水，将真空镀膜机腔体的热量吸收，对真空镀膜机腔体进行冷却，冷却液对输水管进行降温，降低输水管内冷却水的温度，通过冷风机、三通管、输气管、第一连通架和第二连通架的配合，将一部分冷气吹向真空镀膜机腔体，提高了对真空镀膜机腔体的冷却效果，将另一部分冷气吹向输水管和冷却液，对冷却液和输水管降温，从而对冷却水散热，提高了冷却水对真空镀膜机腔体的冷却效果。

技术研发人员：陈德军,刘其亮,王福礼
受保护的技术使用者：四川君安盈创科技有限公司
技术研发日：20230417
技术公布日：2024/1/12