一种用于搭建真空环境的真空冷却腔体的制作方法

本技术涉及真空腔体，具体是一种用于搭建真空环境的真空冷却腔体。

背景技术：

1、随着半导体领域的不断发展以及国内半导体公司研发团队不断深入研究发现，为了保证半导体关键零部件实际使用要求以及稳定性，半导体关键零部件在研发过程的稳定性及功能测试显得尤为重要，而测试环境则需要完全模拟半导体关键零部件得实际使用环境，结合当下半导体行业的发展前景和研发需求，真空冷却腔体应用前景非常广阔。

2、中国专利公开了公开号为cn218755989u的真空腔体，申请日为2022.12.02，该专利技术腔体侧壁焊接法兰和腔体侧壁结构均为先折弯得到的，腔体侧壁焊接法兰和腔体侧壁结构可以预制，将整个的半圆的腔体结构分割成若干块；并且不需要焊完后再加工，然后才在腔体侧壁上焊接法兰，其可直接焊接，既节省了材料也大大降低了腔体的加工成本。能够实现能够降低加工成本，提升加工质量，但是，上述专利在用于一些部件进行真空环境测试时，难以实现真空且冷却或恒温的环境，从而满足不了一些工部件的真空实验需要。因此，本领域技术人员提供了一种用于搭建真空环境的真空冷却腔体，以解决上述背景技术中提出的问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种用于搭建真空环境的真空冷却腔体，部件实验时实现真空冷却或恒温的效果。

2、本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

3、一种用于搭建真空环境的真空冷却腔体，包括箱体，所述箱体的内部开设有内腔，所述内腔内部安装有加热盘，所述箱体的底部开设有放置口，所述放置口内部安装有密封盖，所述箱体的顶部安装有将内腔抽取成真空状态的真空泵，所述箱体的四侧表面安装有对箱体内部进行降温的冷却水管。

4、作为本实用新型再进一步的方案：所述箱体的顶部开设有真空槽，所述真空槽的顶部固定连接有真空管，所述真空管的另一端与真空泵的输入端固定连接，所述箱体的四侧表面开设有冷却槽，所述冷却槽内部与冷却水管固定连接，所述冷却水管一侧连接有冷却装置的输入端而另一侧固定连接冷却装置的输出端。

5、作为本实用新型再进一步的方案：所述冷却槽呈“s”形。

6、作为本实用新型再进一步的方案：所述箱体的一侧中间位置开设有观察槽，所述观察槽的内部安装有观察玻璃。

7、作为本实用新型再进一步的方案：箱体的底部开设有一对真空规连接槽，所述真空规连接槽的内部安装有真空规。

8、作为本实用新型再进一步的方案：所述箱体的三侧顶部中间位置开设有侧壁连接槽，所述侧壁连接槽的内部安装有密封板。

9、作为本实用新型再进一步的方案：所述箱体的顶部中间位置开设有法兰连接槽，所述法兰连接槽的内部安装有快换法兰。

10、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

11、该用于搭建真空环境的真空冷却腔体，通过放置口将加热盘放置入内腔中，然后再使用密封盖与放置口固定连接，从而达到将加热盘安装在箱体中，且密封盖通过密封圈及硬连接形式与放置口连接。然后通过外接电源启动加热盘，由加热盘对内腔进行加热，用于做为测试时的热源。然后通过外接电源启动真空泵，真空泵的输入端通过真空管抽取内腔中的空气，直到可搭建极限真空度0.01pa的真空环境。同时通过外接启动冷却装置，所述冷却装置的输出端将冷却水带入冷却水管中，给箱体降温，从而实现给内腔冷却或恒温的效果。然后冷却水管中的冷却水使用后进入冷却装置中，达到循环使用的效果。

12、另外该用于搭建真空环境的真空冷却腔体，通过在箱体前、后、左三侧顶部中间位置开设有侧壁连接槽，使用时可以通过侧壁连接槽连接另外的测试工件或阀体，实现阀体在真空环境下的测试，同时侧壁连接槽通过转接板可以与另一个真空腔体连接以达到建立压差的目的。

技术特征：

1.一种用于搭建真空环境的真空冷却腔体，包括箱体（1），所述箱体（1）的内部开设有内腔（100），所述内腔（100）内部安装有加热盘（21），所述箱体（1）的底部开设有放置口（2），所述放置口（2）内部安装有密封盖（17），其特征在于，所述箱体（1）的顶部安装有将内腔（100）抽取成真空状态的真空泵（11），所述箱体（1）的四侧表面安装有对箱体（1）内部进行降温的冷却水管（9）。

2.根据权利要求1所述的一种用于搭建真空环境的真空冷却腔体，其特征在于，所述箱体（1）的顶部开设有真空槽（3），所述真空槽（3）的顶部固定连接有真空管（10），所述真空管（10）的另一端与真空泵（11）的输入端固定连接，所述箱体（1）的四侧表面开设有冷却槽（8），所述冷却槽（8）内部与冷却水管（9）固定连接，所述冷却水管（9）一侧连接有冷却装置（12）的输入端而另一侧固定连接冷却装置（12）的输出端。

3.根据权利要求2所述的一种用于搭建真空环境的真空冷却腔体，其特征在于，所述冷却槽（8）呈s形。

4.根据权利要求1所述的一种用于搭建真空环境的真空冷却腔体，其特征在于，所述箱体（1）的一侧中间位置开设有观察槽（5），所述观察槽（5）的内部安装有观察玻璃（14）。

5.根据权利要求1所述的一种用于搭建真空环境的真空冷却腔体，其特征在于，箱体（1）的底部开设有一对真空规连接槽（6），所述真空规连接槽（6）的内部安装有真空规（16）。

6.根据权利要求1所述的一种用于搭建真空环境的真空冷却腔体，其特征在于，所述箱体（1）的三侧顶部中间位置开设有侧壁连接槽（7），所述侧壁连接槽（7）的内部安装有密封板（13）。

7.根据权利要求1所述的一种用于搭建真空环境的真空冷却腔体，其特征在于，所述箱体（1）的顶部中间位置开设有法兰连接槽（4），所述法兰连接槽（4）的内部安装有快换法兰（15）。

技术总结
本技术公开了一种用于搭建真空环境的真空冷却腔体，具体涉及真空腔体领域，包括箱体，所述箱体的内部开设有内腔，所述箱体的顶部安装有真空泵，所述箱体的四侧表面安装冷却水管。通过外接电源启动加热盘，由加热盘对内腔进行加热，用于作为测试时的热源。然后通过外接电源启动真空泵，真空泵的输入端通过真空管抽取内腔中的空气，直到可搭建极限真空度0.01pa的真空环境。同时通过外接启动冷却装置，所述冷却装置的输出端将冷却水带入冷却水管中，给箱体降温，从而实现给内腔冷却或恒温的效果。然后冷却水管中的冷却水使用后进入冷却装置中，达到循环使用的效果。

技术研发人员：房吉晨
受保护的技术使用者：沈阳富创精密设备股份有限公司
技术研发日：20230630
技术公布日：2024/2/1