一种设备冷却装置的制作方法

本技术属于半导体制造设备冷却领域，具体涉及一种设备冷却装置。

背景技术：

1、将管道安装于半导体制造设备是为了防止设备工作时温度过高影响设备的性能而采取的措施。设备工作时或工作结束后，向管道中输入冷却介质，通过冷却循环降低设备的温度，从而防止设备产生高温故障。

2、现有管道采用一体式结构，整套管道的体积大，在设备上进行安装或因损坏需拆卸时难度较大，操作空间不足。由于管道长度大，冷却介质进入到管道后流动行程长，导致冷却介质流动到一定行程后，温度会升高，在后续的行程中换热效果下降，冷却效率降低。

3、上述问题也发生在其他设备冷却过程中。

技术实现思路

1、本实用新型公开了一种设备冷却装置，体积小、结构简单，方便进行安装或拆卸，在冷却过程中换热效果强，冷却效率高。

2、本实用新型第一方面公开了一种设备冷却装置，用于通冷却介质以对待冷却设备降温，装置包括：冷却介质存储器以及至少两个独立的管体；

3、所有管体排布组成用于冷却待冷却设备的至少部分环形结构；

4、每个管体的两端分别设有冷却介质进口和冷却介质出口；

5、冷却介质存储器与每个管体的冷却介质进口相连接，以向每个管体输送冷却介质。

6、优选地，至少两个管体的冷却介质进口同侧设置且共用一个冷却介质存储器；

7、或，

8、至少两个管体的冷却介质出口同侧设置且共用一个用于回收冷却介质的冷却介质收集器。

9、优选地，至少一个管体包括：至少一条直线段和至少一条弧形段。

10、优选地，弧形段沿着远离待冷却设备的凸起结构的方向设置；

11、和/或；

12、弧形段沿着趋近待冷却设备凹进结构的方向设置。

13、进一步地，直线段至少包括：第一直线段和第二直线段；

14、第一直线段与弧形段位于同一平面；

15、第二直线段设于冷却介质进口的末端或冷却介质出口的末端且垂直于平面。

16、优选地，装置还包括：循环泵、第一温度检测单元和冷却机；

17、冷却机的一端通过循环泵与冷却介质收集器连接，用于接收冷却介质收集器通过循环泵泵入的回收的冷却介质；

18、第一温度检测单元用于检测冷却介质收集器回收的冷却介质的温度；

19、冷却机的另一端与冷却介质存储器连接，用于在温度高于预设值时对回收的冷却介质进行冷却，将冷却后的冷却介质输送至冷却介质存储器，并用于在温度低于预设值时将回收的冷却介质直接输送至冷却介质存储器。

20、进一步地，装置包括：多个存储有不同温度的冷却介质的冷却介质存储器，每个冷却介质存储器通过多通阀分别与多个冷却介质进口进行管路相连；

21、装置还包括：置于待冷却设备上不同冷却区域的第二温度检测单元；冷却区域根据管体的作用区域划分；

22、根据各个冷却区域的第二温度检测单元的温度检测结果调整多通阀，以调整与冷却介质进口管路相连的冷却介质存储器。

23、优选地，装置还包括：用于固定管体的“ω”型结构的固定组件；

24、固定组件包括：第一弧形板件、与第一弧形板件两端分别连接的第二板件和第三板件；

25、第二板件和第三板件设有固定孔；

26、管体穿过第一弧形板件；

27、将与固定孔大小适配的固定杆旋入固定孔以使第二板件和第三板件固定于待冷却设备上。

28、优选地，冷却介质进口设有内纹螺栓，且冷却介质存储器的接头外侧设置有与内纹螺栓相匹配的外侧螺纹；

29、和/或，

30、管体的内壁涂有高导热涂层；

31、和/或，

32、管体的外壁套设有均匀排列的中空散热片。

33、本实用新型第二方面公开了一种半导体制造设备，包括：如第一方面的设备冷却装置；

34、设备冷却装置设于半导体制造设备的顶盖上表面，所有管体排布成至少部分环形结构。

35、根据本实用新型提供的具体实施例，本实用新型公开了以下技术效果：

36、本实用新型旨在提供一种设备冷却装置，包括冷却介质存储器及至少两个独立的管体。将原本一体式结构的管道拆分成多个管体，便于在设备的顶盖上进行安装与拆卸。所有的管体排布组成用于冷却待冷却设备的至少部分环形结构，扩大了对待冷却设备的冷却面积。当管体出现损坏漏液时，仅需更换损坏的一段管体，提高了更换的便捷性。管体的两端分别设有冷却介质进口和冷却介质出口。单个管体的长度远小于一体式管道的长度，冷却介质存储器与每个管体的冷却介质进口连接，以向每个管体输送冷却介质，避免了原先管道长度大，冷却介质进入到管道后流动行程增长，导致冷却介质流动到一定行程后温度升高的问题，增强了冷却介质的换热效果，提高了冷却装置的冷却效率。

37、进一步地，弧形段管体的设置使得管体能避开冷却设备表面的凸起结构，防止凸起结构对管体造成损坏，同时也减缓了冷却介质在管体内流通时的速度，减小了冷却介质流动时对管体的冲击力。

38、进一步地，设置冷却机用于在温度高于预设值时对回收的冷却介质进行冷却，将冷却后的冷却介质输送至冷却介质存储器，并用于在在温度低于预设值时将回收的冷却介质直接输送至冷却介质存储器，使得回收的冷却介质能够继续利用，提高了利用率，节省了供液成本。

39、进一步地，冷却介质进口设有内纹螺栓，冷却介质存储器的接头外侧设有与冷却介质进口相匹配的外侧螺纹，使得二者连接时更加稳定紧密，防止了冷却介质的泄露。管体的外壁套设有均匀排列的中空散热片，内壁涂有高导热涂层，提高了管体的散热能力，加快了冷却过程。

技术特征：

1.一种设备冷却装置，用于通冷却介质以对待冷却设备降温，其特征在于，所述装置包括：冷却介质存储器以及至少两个独立的管体；

2.根据权利要求1所述的设备冷却装置，其特征在于，至少两个所述管体的所述冷却介质进口同侧设置且共用一个所述冷却介质存储器；

3.根据权利要求2所述的设备冷却装置，其特征在于，至少一个所述管体包括：至少一条直线段和至少一条弧形段。

4.根据权利要求3所述的设备冷却装置，其特征在于，所述弧形段沿着远离所述待冷却设备的凸起结构的方向设置；

5.根据权利要求3所述的设备冷却装置，其特征在于，所述直线段至少包括：第一直线段和第二直线段；

6.根据权利要求2所述的设备冷却装置，其特征在于，所述装置还包括：循环泵、第一温度检测单元和冷却机；

7.根据权利要求2所述的设备冷却装置，其特征在于，所述装置包括：多个存储有不同温度的冷却介质的所述冷却介质存储器，每个所述冷却介质存储器通过多通阀分别与多个所述冷却介质进口进行管路相连；

8.根据权利要求1所述的设备冷却装置，其特征在于，所述装置还包括：用于固定所述管体的“ω”型结构的固定组件；

9.根据权利要求1所述的设备冷却装置，其特征在于，所述冷却介质进口设有内纹螺栓，且所述冷却介质存储器的接头外侧设置有与所述内纹螺栓相匹配的外侧螺纹；

10.一种半导体制造设备，其特征在于，所述设备包括：如权利要求1-9任一项所述的设备冷却装置；

技术总结
本技术公开了一种设备冷却装置，用于通冷却介质以对待冷却设备降温，装置包括：冷却介质存储器以及至少两个独立的管体；所有管体排布组成用于冷却待冷却设备的至少部分环形结构；每个管体的两端分别设有冷却介质进口和冷却介质出口；冷却介质存储器与每个管体的冷却介质进口相连接，以向每个管体输送冷却介质。单个管体的长度远小于一体式管道的长度，冷却介质存储器与每个管体的冷却介质进口连接，以向每个管体输送冷却介质，避免了原先管道长度大，冷却介质进入到管道后流动行程增长，导致冷却介质流动到一定行程后温度升高的问题，增强了冷却介质的换热效果，提高了冷却装置的冷却效率。

技术研发人员：陆再超,唐勇亮
受保护的技术使用者：吉姆西半导体科技（无锡）股份有限公司
技术研发日：20230707
技术公布日：2024/2/21