专利名称：化学品装卸装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体制造工厂内的废水处理系统，具体地说，涉及一种 连接于废水处理系统上的化学品装卸装置。
背景技术：
图1为现有的化学品装卸装置的结构示意图。图1所示的化学品装卸装置
100用于向废水处理系统IO提供化学品。化学品装卸装置100包括存放化学品 的化学品罐12、转移泵13、将转移泵13连接到化学品运输车14的输入管道152 以及连接转移泵13和化学品罐12的连接管道151。 一般情况下，连接管道151 和转移泵13以及其右边的部分是暴露在室外的。每次化学品装卸完成后，连接 管道151、输入管道152和转移泵13中常常有残余化学品。在冬天，室外温度 很低，残留化学品结冻就会将管道冻裂。另外， 一般化学品都具有腐蚀性，长 期滞留在管道和转移泵内，腐蚀管道和转移泵减少其使用寿命，严重时产生化 学品滴漏，进而形成安全隐患。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型解决的技术问题是提供一种使用安全且寿命长的化 学品装卸装置。
为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种新的化学品装卸装置，用于 将化学品运输车上的化学品输入到废水处理系统中。所述化学品装卸装置包括 与废水处理系统连接的化学品罐、转移泵、连接化学品罐与转移泵的连接管道 以及连接转移泵与化学品运输车的输入管道；所述化学品装卸装置还包括连接 到输入管道的清洗液管道和压缩空气管道。
本实用新型提供的化学品装卸装置通过设置清洗液管道采用清洗液将残留 在管道和转移泵的化学品沖入化学品罐中，避免了对管道和转移泵的腐蚀；通过设置压缩空气管将清洗液等残余液体吹扫进化学品罐中，避免了残余液体在 低温下结冻，而产生管道和转移泵冻裂的现象，提高了使用寿命，也消除了安 全隐患。
图1为现有的化学品装卸装置的结构示意图。
图2为本实用新型化学品装卸装置的其中一实施方式的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的化学品装卸装置其中一实施例进行描述，以 进一步理解本实用新型的目的、具体结构特征和优点。
请参阅图2，本实施例描述了化学品装卸装置200，其通过输入泵21与废 水处理系统20相连，用于将化学品运输车24内的化学品输入废水处理系统20 中。该化学品装卸装置200包括与化学品运输车24连接的输入管道252、转移 泵23、储存化学品且与输入泵21连接的化学品罐22以及连接转移泵23和化学 品罐22的连接管道251 。其中转移泵23采用的是气动隔膜泵。
该化学品装卸装置200在输入管道252上安装有清洗液管道和压缩空气管 道254。另外，为了控制化学品、清洗液和空气的流量或者开闭，化学品装卸装 置200在输入管道252靠近化学品运输车24端和转移泵23端设有阀门265、262; 在连接管道251上设有阀门261;清洗液管道和压缩空气管道254上分别设有阀 门263、 264。所述阀门261-265可以是电》兹阀，由远程的控制阀门控制其开闭 以及流量的大小。另外，在本实施例中，所述清洗液管道输入的清洗液可以是 自来水，也可以是不腐蚀管道，也不会和化学品产生不良化学反应而影响废水 处理的清洗液。本实施例中的清洗液管道是自来水管道253，也就是说输送的清 洗液是自来水。
当化学品装卸完成时，关闭阀门265，开启阀门263，自来水管道253输入 自来水将残留在输入管道252、连接管道251以及转移泵23中的化学品冲回化 学品罐22内，从而防止化学品对输入管道252、连接管道251和转移泵23的腐 蚀，提高了其使用寿命。沖洗一段时间后，关闭阀门263,开启阀门264，以压缩空气为动力源对输入管道252、连接管道251以及转移泵23进行吹扫，将残 余液体如残留的自来水吹扫进化学品罐22内，以防止在气温较低的情况下，管 道被冻裂，从而杜绝了化学品滴漏现象引发的安全隐患。完成吹扫后，关闭阀 门264。
如果再次装卸化学品时，先开启阀门263,打开自来水管道253,使输入管 道252充满液体(自来水)，杜绝断流现象的发生，防止转移泵23出现吸空现 象，从而起到了保护转移泵23的作用，延长了转移泵23的使用寿命。
权利要求1. 一种化学品装卸装置，用于将化学品运输车上的化学品输入到废水处理系统中，所述化学品装卸装置包括与废水处理系统连接的化学品罐、转移泵、连接化学品罐与转移泵的连接管道以及连接转移泵与化学品运输车的输入管道；其特征在于，所述化学品装卸装置还包括连接到输入管道的清洗液管道和压缩空气管道。
2. 如权利要求1所述的化学品装卸装置，其特征在于，所述清洗液管道为输送 自来水的自来水管道。
3. 如权利要求1所述的化学品装卸装置，其特征在于，所述化学品装卸装置设 有控制清洗液管道和压缩空气管道启闭的阀门。
4. 如权利要求3所述的化学品装卸装置，其特征在于，控制清洗液管道、压缩 空气管道的阀门是可由远程控制的电磁阀。
5. 如权利要求1所述的化学品装卸装置，其特征在于，所述转移泵是气动隔膜 泵。
专利摘要本实用新型公开了一种化学品装卸装置，用于将化学品运输车上的化学品输入到废水处理系统中。所述化学品装卸装置包括与废水处理系统连接的化学品罐、转移泵、连接化学品罐与转移泵的连接管道以及连接转移泵与化学品运输车的输入管道；所述化学品装卸装置还包括连接到输入管道的清洗液管道和压缩空气管道。本实用新型提供的化学品装卸装置通过设置清洗液管道采用清洗液将残留在管道和转移泵的化学品冲入化学品罐中，避免了对管道和转移泵的腐蚀；通过设置压缩空气管将清洗液等残余液体吹扫进化学品罐中，避免了残余液体在低温下结冻对管道和转移泵内的损伤，提高了使用寿命，也消除了安全隐患。
文档编号C02F1/00GK201296676SQ20082005656
公开日2009年8月26日 申请日期2008年3月25日 优先权日2008年3月25日
发明者静 胡 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司