1.一种超声波清洗装置,包括超声波换能器(100),其特征在于,所述超声波换能器(100)和待清洗板(200)之间设置有薄层,所述超声波换能器(100)产生的振动向所述薄层内的气液混合物辐射,使所述薄层内的气液界面产生冲刷射流,从而形成对所述待清洗板表面的切向冲刷;
还包括:旋转调节控制器(20),所述旋转调节控制器(20)用于固定所述待清洗板(200),以及对所述待清洗板(200)进行水平方向旋转;
还包括:激光检测器(400)、补气控制器(30)和补液控制器(40);在所述超声波换能器(100)外侧套设有清洗室(50),所述补气控制器(30)用于给所述清洗室(50)输送气体;所述补液控制器(40)用于给所述清洗室(50)输送液体;所述激光检测器(400)用于检测所述清洗室(50)液位,并对补液控制器(40)进行控制。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述旋转调节控制器(20)包括至少三个吸盘,所述至少三个吸盘用于固定所述待清洗板(200)。
3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述清洗室(50)设置有输气管(1)和输液管(2);
所述补气控制器(30)具体用于通过所述输气管(1)给所述清洗室(50)输送气体;所述补液控制器(40)具体用于通过所述输液管(2)给所述清洗室(50)输送液体。
4.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,还包括:超声参数控制器(10);
所述超声参数控制器(10)用于调节所述超声波换能器(100)的振动频率和振幅。
5.根据权利要求4所述的装置,其特征在于,所述清洗室(50)内布设有水听器(70),所述水听器(70)对所述薄层的压力进行检测,给所述超声参数控制器(10)提供超声振幅控制信号。