过滤装置的制作方法

本实施方式涉及过滤装置。

背景技术：

从被处理液中分离成分的方法之一有膜过滤，从节能化、防止由热引起的变化的优点出发，在水处理、排水处理、食品等各种领域中被利用。将进行过滤的膜称为分离膜，分离膜大致分为微滤膜、超滤膜、纳滤膜、反渗透膜，能够从分子水平进行粒子水平的分离。

在微滤膜中，已知能够进行粒子、微生物的分离并利用于啤酒的除菌或酱油的澄清化。在超滤膜中，已知能够进行高分子量的成分的分离并利用于酵素的浓缩·精制、乳业中的蛋白质的浓缩、果汁的澄清化。在纳滤膜中，已知能够分离分子量数100～数1000程度的化合物并利用于酱油的脱色、寡糖的分级、氨基酸调味料的浓缩·精制。在反渗透膜中，已知与利用纳滤膜进行的分离相比能够分离分子量小的低分子量化合物、离子并利用于海水淡化、果汁的浓缩。

通过组合多个该分离膜，能够从被处理液分离出多个成分。例如，在专利文献1中公开了一种如下蔬菜、果实的果汁类的制造方法，其特征在于，在对蔬菜或果实的榨汁或提取液进行微滤后，进行超滤和/或反浸透过滤。在专利文献2中公开了一种从不与食物竞争的生物质的糖化液中得到组合微滤膜、超滤膜、纳滤膜、反渗透膜而精制了的糖液的方法。另外，在专利文献3中公开了一种制造在医药品、化妆品等的制造中使用的纯水的2段的反渗透膜分离单元。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平1-67173号公报

专利文献2：国际专利公开第2010/067785号公报

专利文献3：日本特开2014-184411号公报

技术实现要素：

发明要解决的课题

然而，存在如专利文献1、2那样含有有机物的被处理液容易引起由杂菌的增殖导致的劣化这样的课题。因此，要求将槽的数量设为最小限度并使槽小型化的滞留时间短的连续膜过滤装置。但是，发现了如下课题：在将槽的数量设为最小限度并小型化的将2段以上的分离膜连结了的恒定流量过滤装置中，由于各段的分离的成分、膜种类的不同所导致的堵塞的差异等，会引起恒定流量控制产生微妙的偏差，发生液体从槽溢出或枯竭这样的情况，无法稳定地进行分离。

因此，本发明为解决上述的课题而完成，提供一种能够从被处理液中将2段以上的分离膜连结并以恒定流量过滤而稳定地进行分离的过滤装置。

用于解决课题的技术方案

本发明的实施方式的过滤装置具备单一的第1膜过滤单元或连续的多个第1膜过滤单元；第2膜过滤单元；第1控制部；和第2控制部，

所述第1膜过滤单元具备：积存被处理液的第1贮存槽、将被处理液分离为第1透过液和第1非透过液的第1分离膜部、将被处理液从第1贮存槽向第1分离膜部输送的第1送液管、使第1非透过液向第1贮存槽或第1送液管返回的第1非透过液管、使第1透过液从第1分离膜部流动的第1透过液管、取出第1非透过液的一部分的第1取出管、调整第1透过液的流量以使其为大致一定的第1调整部、以及检测第1贮存槽内的贮存液的液量的第1液量计，

所述第2膜过滤单元具备：积存来自单一的第1膜过滤单元或多个第1膜过滤单元之中的最后段的第1膜过滤单元的第1透过液管的第1透过液的第2贮存槽、将第2贮存槽的贮存液分离为第2透过液和第2非透过液的第2分离膜部、将第2贮存槽的贮存液从第2贮存槽向第2分离膜部输送的第2送液管、使第2非透过液向第2贮存槽或第2送液管返回的第2非透过液管、使第2透过液从第2分离膜部流动的第2透过液管、取出第2非透过液的一部分的第2取出管、调整第2透过液的流量以使其为大致一定的第2调整部、以及检测第2贮存槽内的贮存液的量的第2液量计，

所述第1控制部基于来自连续的两个第1膜过滤单元的第1液量计的测定值或者来自连续的第1及第2膜过滤单元的第1及第2液量计的测定值来控制贮存于第1贮存槽内的贮存液的液量，

所述第2控制部基于来自第2液量计的测定值来控制贮存于第2贮存槽内的贮存液的液量。

也可以是，第1控制部基于来自连续的两个第1膜过滤单元或者连续的第1及第2膜过滤单元之中的位于前段的第1膜过滤单元的第1液量计的前段测定值和来自位于后段的第1或第2膜过滤单元的第1或第2液量计的后段测定值，来停止前段的第1膜过滤单元的第1透过液的流动。

也可以是，在前段测定值比第1阈值小的情况下、或者在后段测定值比第2阈值大的情况下，第1控制部调节前段的第1膜过滤单元的第1调整部来停止第1透过液从第1透过液管向后段的第1或第2膜过滤单元的流动。

也可以是，第1膜过滤单元还具备设置于第1透过液管的第1开闭阀，在前段测定值比第1阈值小的情况下、或者在后段测定值比第2阈值大的情况下，第1控制部关闭前段的第1膜过滤单元的第1开闭阀来停止第1透过液从第1透过液管向后段的第1或第2膜过滤单元的流动。

也可以是，第1膜过滤单元还具备：使第1透过液从第1透过液管向第1贮存槽返回的第1透过液送回管；和使第1非透过液从第1取出管向第1贮存槽返回的第1非透过液送回管，在前段测定值比第1阈值小的情况下、或者在后段测定值比第2阈值大的情况下，第1控制部在前段的第1膜过滤单元中使第1透过液管的第1透过液经由第1透过液送回管向第1贮存槽返回，并且，使第1取出管的第1非透过液经由第1非透过液送回管向第1贮存槽返回。

也可以是，第2控制部基于来自连续的第1及第2膜过滤单元之中的位于后段的第2膜过滤单元的第2液量计的后段测定值来停止后段的第2膜过滤单元的第2透过液的流动。

也可以是，在后段的第2膜过滤单元的后段测定值比第3阈值小的情况下，第2控制部调节后段的第2膜过滤单元的第2调整部来停止来自第2透过液管的第2透过液的流动。

也可以是，还具备设置于第2透过液管的第2开闭阀，在后段的第2膜过滤单元的后段测定值比第3阈值小的情况下，第2控制部关闭后段的第2膜过滤单元的第2开闭阀来停止来自第2透过液管的第2透过液的流动。

也可以是，第2膜过滤单元还具备：使第2透过液从第2透过液管向第2贮存槽返回的第2透过液送回管；和使第2非透过液从第2取出管向第2贮存槽返回的第2非透过液送回管，在后段的第2膜过滤单元的后段测定值比第3阈值小的情况下，第2控制部在后段的第2膜过滤单元中使第2透过液管的第2透过液经由第2透过液送回管向第2贮存槽返回，并且，使第2取出管的第2非透过液经由第2非透过液送回管向第2贮存槽返回。

也可以是，来自连续的多个第1膜过滤单元之中的前段的第1膜过滤单元的第1透过液被贮存于后段的第1膜过滤单元的第1贮存槽，多个第1膜过滤单元的各自的第1控制部控制贮存于对应的第1膜过滤单元的第1贮存槽内的贮存液的量。

也可以是，连续的多个第1膜过滤单元之中的、被处理液的流动的下游侧的第1膜过滤单元的第1分离膜部的孔径比上游侧的第1膜过滤单元的第1分离膜部的孔径小，连续的第1及第2膜过滤单元之中的、被处理液的流动的下游侧的第2膜过滤单元的第2分离膜部的孔径比上游侧的第1膜过滤单元的第1分离膜部的孔径小。

也可以是，第1及第2分离膜部为微滤膜、超滤膜、纳滤膜和反渗透膜中的任一者。

也可以是，该过滤装置还具备洗涤部，所述洗涤部与第1或第2透过液管连接，使洗涤液从第1或第2透过液管向第1或第2分离膜部流动。

也可以是，第1或第2液量计是检测第1或第2贮存槽内的贮存液的液面的液面计或检测第1或第2贮存槽内的贮存液的质量的质量测定器。

也可以是，被处理液含有有机物。

也可以是，本实施方式的过滤装置还具备第3膜过滤单元和第3控制部，

所述第3膜过滤单元具备：积存来自单一的第1膜过滤单元或连续的多个第1膜过滤单元中任一个第1膜过滤单元的第1取出管的第1非透过液的第3贮存槽、将第3贮存槽的贮存液分离为第3透过液和第3非透过液的第3分离膜部、使第3贮存槽的贮存液从第3贮存槽向第3分离膜部输送的第3送液管、使第3非透过液向第3贮存槽或第3送液管返回的第3非透过液管、将第3透过液从第3分离膜部向后段的第1或第2膜过滤单元的第1或第2贮存槽输送的第3透过液管、取出第3非透过液的一部分的第3取出管、调整第3透过液的流量以使其为大致一定的第3调整部、以及检测第3贮存槽内的贮存液的量的第3液量计，

所述第3控制部基于来自第3膜过滤单元的第3液量计以及后段的第1或第2膜过滤单元的第1或第2液量计的测定值来控制贮存于所述第3贮存槽内的贮存液的液量。

也可以是，本实施方式的过滤装置还具备第3膜过滤单元和第3控制部，

所述第3膜过滤单元具备：积存来自第2取出管的第2非透过液的第3贮存槽、将第3贮存槽的贮存液分离为第3透过液和第3非透过液的第3分离膜部、将第3贮存槽的贮存液从第3贮存槽向第3分离膜部输送的第3送液管、使第3非透过液向第3贮存槽或第3送液管返回的第3非透过液管、从第3分离膜部输送第3透过液的第3透过液管、取出第3非透过液的一部分的第3取出管、调整所述第3透过液的流量以使其为大致一定的第3调整部、以及检测第3贮存槽内的贮存液的量的第3液量计，

所述第3控制部基于来自第3膜过滤单元的第3液量计的测定值来控制贮存于所述第3贮存槽内的贮存液的液量。

也可以是，第1膜过滤单元还具备向被处理液加水的第1加水部。

也可以是，第2膜过滤单元还具备向第1透过液加水的第2加水部。

也可以是，第3膜过滤单元还具备向第1或第2非透过液加水的第3加水部。

也可以是，还具备：利用技术方案1～20的任一项所述的过滤装置来过滤含有糖的被处理液的工序；和

作为过滤工序的非透过液或透过液回收糖液的工序。

附图说明

图1是示出第1实施方式的过滤装置的结构例的图。

图2是示出第1实施方式的变形例1的过滤装置的结构例的图。

图3是示出第1实施方式的变形例2的过滤装置的结构例的图。

图4是示出第1实施方式的变形例3的过滤装置的结构例的图。

图5是示出变形例6的过滤装置的结构例的图。

图6是示出第2实施方式的过滤装置的结构例的图。

图7是示出第3实施方式的过滤装置的结构例的图。

图8是示出第4实施方式的过滤装置的结构例的图。

图9是示出变形例7的过滤装置的结构例的图。

图10是示出第5实施方式的过滤装置的结构例的图。

图11是示出第6实施方式的过滤装置的结构例的图。

图12是示出调整阀、流量计、送液泵的配置的变形例的图。

图13是示出调整阀、流量计、送液泵的配置的变形例的图。

图14是示出调整阀、流量计、送液泵的配置的变形例的图。

图15是示出第1及第2分离膜部的结构例的图。

图16是示出第1及第2分离膜部的结构例的图。

图17是示出具备由第1分离膜部和送液泵构成的多个循环系统的第1膜过滤单元的结构例的图。

图18是示出第7实施方式的过滤装置的结构例的图。

图19是示出第8实施方式的过滤装置的结构例的图。

图20是示出第9实施方式的过滤装置的结构例的图。

图21是示出第10实施方式的过滤装置的结构例的图。

图22是示出第11实施方式的过滤装置的结构例的图。

图23是示出第12实施方式的过滤装置的结构例的图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。本实施方式并不限定本发明。附图是示意性或概念性的图，各部分的比率等并不一定与现实相同。在说明书和附图中，对与在之前的附图中描述过的要素相同的要素标注相同的附图标记并适当省略详细的说明。

(第1实施方式)

图1是示出第1实施方式的过滤装置的结构例的图。本实施方式的过滤装置是以恒定流量过滤被处理液的过滤装置。本实施方式的过滤装置具备第1膜过滤单元100和第2膜过滤单元200。第1膜过滤单元100及第2膜过滤单元200串联连续，在第1膜过滤单元100之后紧接着设置有第2膜过滤单元200。来自第1膜过滤单元100的第1透过液构成为由第2膜过滤单元200的第2贮存槽201接受。此外，多个膜过滤单元串联或连续是指由某个膜过滤单元过滤后的透过液由后续的膜过滤单元接受并进一步过滤该透过液。

(第1膜过滤单元100的结构)

第1膜过滤单元100具备第1贮存槽101、第1送液泵103、第1分离膜部104、第1流量计105、非透过液阀107、第1调整阀108、第1取出阀111、洗涤液槽112、洗涤泵113、第1液量计114、第1控制部115、被处理液管l1、第1送液管l10、第1非透过液管l11、第1透过液管l12、第1取出管l13、以及洗涤管l115。此外，第1取出阀111还兼具作为洗涤液的排出阀的功能，第1取出管l13也兼具作为洗涤液的排出管的功能。

第1贮存槽101是积存贮存液s1的槽。贮存液s1包括从过滤装置的外部经由被处理液管l1向第1贮存槽101供给的被处理液和来自第1非透过液管l11的第1非透过液。作为贮存液s1，例如优选包含蛋白质、脂肪酸、糖(单糖、寡糖或多糖)、有机酸、纤维素、木质素及其分解物、儿茶素、多酚、类黄酮等芳香族化合物、氨基酸等有机物的液体，例如可列举果实或蔬菜的榨汁·果汁、茶、牛奶、豆浆、调味液、啤酒、葡萄酒等酒类、酱油、发酵液、淀粉糖化液、生物质的糖化液、糖稀、寡糖水溶液、甘蔗等的榨汁、蜂蜜、水产加工排水等。这些有机物可以来源于食用资源，或者也可以来源于非食用资源。

第1送液泵103设置在第1贮存槽101与第1分离膜部104之间，使贮存液s1经由第1送液管l10从第1贮存槽101向第1分离膜部104流动。第1送液泵103例如可以是对第1送液管l10内的贮存液s1施加压力的高压泵。第1送液管l10连接在第1贮存槽101与第1分离膜部104之间，将贮存液s1从第1贮存槽101向第1分离膜部104输送。

第1分离膜部104将来自第1送液管l10的贮存液s1分离为第1透过液和第1非透过液。第1分离膜部104例如是微滤膜(mf膜：microfiltrationmembrane)、超滤膜(uf膜：ultrafiltrationmembrane)、纳滤膜(nf膜：nanofiltrationmembrane)、反渗透膜(ro膜：reverseosmosismembrane)中的任一种过滤膜。nf膜也可以具有被称为松散nf膜的uf和nf的中间的孔径。

在使用mf膜作为第1分离膜部104的情况下，第1分离膜部104从贮存液s1分离出例如浑浊物(日文：濁質)、微生物作为第1非透过液。贮存液s1中的浑浊物、微生物作为非透过液向第1非透过液管l11输送，其他成分作为第1透过液向第1透过液管l12输送。在使用uf膜作为第1分离膜部104的情况下，第1分离膜部104从贮存液s1分离出例如蛋白质作为第1非透过液。贮存液s1中的蛋白质主要作为非透过液向第1非透过液管l11输送，其他成分作为第1透过液向第1透过液管l12输送。在使用nf膜作为第1分离膜部104的情况下，第1分离膜部104从贮存液s1分离出例如单糖、寡糖、氨基酸作为第1非透过液。贮存液s1中的单糖、寡糖、氨基酸主要作为非透过液向第1非透过液管l11输送，其他成分作为第1透过液向第1透过液管l12输送。在使用ro膜作为第1分离膜部104的情况下，第1分离膜部104从贮存液s1分离出例如单糖、芳香族化合物作为第1非透过液。贮存液s1中的单糖、芳香族化合物作为非透过液向第1非透过液管l11输送，其他成分作为第1透过液向第1透过液管l12输送。这样，由第1分离膜部104分离的物质根据过滤膜的种类(孔径)而不同。

此外，第1分离膜部104可以由单一的过滤膜构成，也可以是组合多个过滤膜而得到的过滤膜模块。另外，在对第1分离膜部104使用过滤膜模块的情况下，多个过滤膜可以由单一种类的过滤膜构成，或者也可以组合多种过滤膜。过滤膜模块的具体例参照图12及图13在后面进行说明。

第1非透过液管l11以使来自第1分离膜部104的非透过液向第1贮存槽101返回的方式进行配管。非透过液经由第1非透过液管l11向第1贮存槽101返回。返回到第1贮存槽101的非透过液向第1分离膜部104再次输送。此外，在第1非透过液管l11设置有非透过液阀107，能够使非透过液、洗涤液的流动停止。但是，即使省略非透过液阀107，也不会失去本实施方式的作用效果。

第1非透过液通过向第1贮存槽101返回而在第1贮存槽101与第1分离膜部104之间循环，其有机物浓度在第1贮存槽101、第1送液管10、第1非透过液管11内被浓缩。第1取出管l13经由第1取出阀111与第1送液管l10连接，以能够取出第1送液管l10内的非透过液的一部分的方式连接。非透过液的一部分经由第1取出管l13被向过滤装置的外部取出。被取出到外部的非透过液可以用作产品，也可以用于其他工序。

在来自被处理液管l1的被处理液的流量(a)、从第1取出管l13取出的第1非透过液的流量(第1非透过液取出量b)、从第1透过液管l12向第2贮存槽201输送的第1透过液的流量(第1透过液量c)为恒定流量的情况下，第1贮存槽101内的贮存液s1的有机物浓度在被浓缩后为大致一定。因此，从第1取出管l13取出的非透过液与来自被处理液管l1的被处理液相比被浓缩，但具有大致一定的有机物浓度。即，第1非透过液是具有大致一定的有机物浓度的浓缩液，且从第1膜过滤单元100以大致恒定流量取出。

第1透过液管l12以将来自第1分离膜部104的透过液向第2膜过滤单元200的第2贮存槽201输送的方式进行配管。在第1透过液管l12设置有作为第1调整部的第1流量计105以及第1调整阀108。第1流量计105测定在第1透过液管l12中流动的透过液的流量。透过液的流量的测定值用于经由第1控制部115对第1调整阀108进行反馈控制。通过该反馈控制，第1调整阀108被调整为使在第1透过液管l12中流动的透过液的流量为大致一定。

洗涤管l115以能够将来自洗涤液槽112的洗涤液向第1透过液管l12供给的方式与第1透过液管l12连接。洗涤液槽112及洗涤泵113设置为能够使洗涤液经由洗涤管l115及第1透过液管l12从第1分离膜部104的透过侧向非透过侧流动。此时，只要关闭非透过液阀107，洗涤液就不会进入到第1贮存槽101。

另外，在洗涤时，设置于第1送液管l10的第1取出管l13也作为排出管发挥功能，第1取出阀111也作为洗涤液的排出阀发挥功能。通过第1分离膜部104后的洗涤液经由第1取出管l13及第1取出阀111向过滤装置的外部排出。这样，洗涤液槽112、洗涤泵113、洗涤管l115、第1取出阀111及第1取出管l13作为用洗涤液洗涤第1分离膜部104的洗涤部发挥功能。

第1液量计114设置于第1贮存槽101，对贮存于第1贮存槽101内的贮存液s1的液量进行检测。例如，第1液量计114也可以是检测第1贮存槽101内的贮存液s1的液面的高度的液面计。1贮存槽101内的贮存液s1的液量能够用贮存液s1的液面的高度的函数表示。因此，第1控制部115能够将贮存液s1的液面的高度用作第1贮存槽101内的贮存液s1的液量的指标。另外，例如，第1液量计114也可以是检测第1贮存槽101内的贮存液s1的质量的质量测定器。第1贮存槽101内的贮存液s1的液量能够用贮存液s1的质量的函数表示。因此，第1控制部115能够将贮存液s1的质量用作第1贮存槽101内的贮存液s1的液量的指标。

第1控制部115基于来自连续的第1及第2膜过滤单元100、200的第1及第2液量计114、214的测定值，来控制贮存于第1贮存槽101内的贮存液s1的液量。此外，第1及第2控制部115、215既可以分别是不同的运算单元，也可以是相同的运算单元。

(第2膜过滤单元200的结构)

第2膜过滤单元200具备第2贮存槽201、第2送液泵203、第2分离膜部204、第2流量计205、第2调整阀208、第2取出阀221、流量计222、送回阀206、223、第2液量计214、第2控制部215、第2送液管l20、第2非透过液管l21、第2透过液管l22、取出·送回管l23、第2取出管l24、非透过液送回管l25及透过液送回管l26。

第2贮存槽201是积存贮存液s2的槽。贮存液s2包括来自第1透过液管l12的第1透过液、来自非透过液送回管l25的第2非透过液、以及来自透过液送回管l26的第2透过液。第1透过液是从贮存液s1中去除第1非透过液(例如，浑浊物)后的液体。

第2送液泵203设置在第2贮存槽201与第2分离膜部204之间，使贮存液s2经由第2送液管l20从第2贮存槽201向第2分离膜部204流动。第2送液泵203例如可以是对第2送液管l20内的贮存液s2施加压力的高压泵。第2送液管l20连接在第2贮存槽201与第2分离膜部204之间，将贮存液s2从第2贮存槽201向第2分离膜部204输送。

第2分离膜部204将来自第2送液管l20的贮存液s2分离为第2透过液和第2非透过液。第2分离膜部204与第1分离膜部104同样地例如可以是mf膜、uf膜、nf膜、ro膜中的任一种过滤膜。但是，优选的是，下游侧的第2分离膜部204的孔径比上游侧的第1分离膜部104的孔径小。由此，第2分离膜部204能够将在第1分离膜部104中无法分离的成分从贮存液s2分离出。

在使用mf膜作为第1分离膜部104并使用uf膜作为第2分离膜部204的情况下，第1分离膜部104从贮存液s1分离出例如浑浊物作为第1非透过液，第2分离膜部204能够从贮存液s2分离出例如蛋白质作为第2非透过液。贮存液s2中的蛋白质主要作为非透过液向第2非透过液管l21或取出·送回管l23输送，其他成分作为第2透过液向第2透过液管l22输送。在使用nf膜或ro膜作为第2分离膜部204的情况下，第2分离膜部204能够从贮存液s2中分别分离出例如寡糖、氨基酸或单糖、芳香族化合物作为第2非透过液。寡糖、氨基酸或单糖、芳香族化合物主要作为非透过液向第2非透过液管l21或取出·送回管l23输送，其他成分作为第2透过液向第2透过液管l22输送。

此外，第2分离膜部204也与第1分离膜部104同样地可以由单一的过滤膜构成，也可以是组合多个过滤膜而得到的过滤膜模块。另外，在对第1分离膜部104使用过滤膜模块的情况下，多个过滤膜可以由单一种类的过滤膜构成，或者也可以组合多种过滤膜。

第2非透过液管l21以使来自第2分离膜部204的第2非透过液向第2贮存槽201与第2送液泵203之间的第2送液管l20返回的方式进行配管。另外，在第2非透过液管l21连接有取出·送回管l23，第2非透过液的一部分向第2取出管l24或非透过液送回管l25输送。在取出·送回管l23设置有第2取出阀221。在取出·送回管l23、第2取出管l24及非透过液送回管l25连接有送回阀223。送回阀223例如是三通阀，能够使来自取出·送回管l23的第2非透过液向第2取出管l24或非透过液送回管l25流动。流量计222测定在取出·送回管l23中流动的第2非透过液的流量。第2非透过液的一部分经由取出·送回管l23及第2取出管l24被向过滤装置的外部取出。

被取出到外部的第2非透过液可以用作产品，也可以用于其他工序。另一方面，第2非透过液的剩余部分经由第2非透过液管l21向第2送液管l20返回，或者经由非透过液送回管l25向第2贮存槽201返回。返回到第2送液管l20或第2贮存槽201的第2非透过液向第2分离膜部204再次输送。

第2非透过液通过向第2送液管l20返回，从而在第2送液管l20(第2非透过液管l21)与第2分离膜部204之间循环，其有机物浓度在第2送液管l20及第2非透过液管l21内被浓缩。由于第2送液管l20的容积比第2贮存槽201的容积小，因此第2非透过液与向第2贮存槽201返回的情况相比被更快地浓缩。但是，来自第1透过液管l12的第1透过液的流量(c)、从第2取出管l24取出的第2非透过液的流量(第2非透过液取出量d)、从第2透过液管l22向第2膜过滤单元200的外部流动的第2透过液的流量(第2透过液量e)为一定的情况下，第2送液管l20及第2非透过液管l21内的贮存液s2的有机物浓度在被浓缩后为大致一定。因此，从第2取出管l24取出的第2非透过液与来自第1透过液管l12的第1透过液相比被浓缩，但具有大致一定的有机物浓度。即，第2非透过液是具有大致一定的有机物浓度的浓缩液，且从第2膜过滤单元200以大致恒定流量取出。

第2透过液管l22以将来自第2分离膜部204的第2透过液向第2膜过滤单元200的外部输送的方式进行配管。被取出到外部的第2透过液可以用作产品，也可以用于其他工序。在第2透过液管l22设置有第2流量计205。在第2非透过液管l21与第2分离膜部204之间设置有第2调整阀208。第2流量计205及第2调整阀208作为第2调整部来控制在第2透过液管l22中流动的第2透过液的流量。第2流量计205测定在第2透过液管l22中流动的第2透过液的流量。第2透过液的流量的测定值用于经由第2控制部215对第2调整阀208进行反馈控制。通过该反馈控制，第2调整阀208被调整为通过向非透过侧施加压力而使在第2透过液管l22中流动的第2透过液的流量为大致一定。

送回阀206及透过液送回管l26连接于第2透过液管l22，能够将在第2透过液管l22中流动的第2透过液向第2贮存槽201送回。送回阀206例如是三通阀，连接在第2透过液管l22与透过液送回管l26之间，能够使第2透过液向第2透过液管l22流动，或者向透过液送回管l26流动。只要能够切换为第2透过液管l22和透过液送回管l26即可，也可以具备两个二通阀来代替三通阀。

第2液量计214设置于第2贮存槽201，对贮存于第2贮存槽201内的贮存液s2的液量进行检测。例如，第2液量计214也可以是检测第2贮存槽201内的贮存液s2的液面的高度的液面计。第2贮存槽201内的贮存液s2的液量能够用贮存液s2的液面的高度的函数表示。因此，第2控制部215能够将贮存液s2的液面的高度用作第2贮存槽201内的贮存液s2的液量的指标。另外，例如，第2液量计214也可以是检测第2贮存槽201内的贮存液s2的质量的质量测定器。第2贮存槽201内的贮存液s2的液量能够用贮存液s2的质量的函数表示。因此，第2控制部215能够将贮存液s2的质量用作第2贮存槽201内的贮存液s2的液量的指标。

第2控制部215基于来自第2液量计214的测定值来控制贮存于第2贮存槽201内的贮存液s2的液量。

这样，第1及第2膜过滤单元100、200串联连续，将在第1膜过滤单元100中以恒定流量过滤后的第1透过液在紧接其后的第2膜过滤单元200中进一步以恒定流量进行过滤。由此，能够从第1膜过滤单元100的第1取出管l13取出(回收)例如浑浊物、蛋白质或糖液，从第2膜过滤单元20的第2取出管l24取出(回收)例如蛋白质或糖液。通过变更第1及第2分离膜部104、204的过滤膜的种类(孔径)，能够变更从第1及第2膜过滤单元100、200取出的非透过液或透过液。因此，例如，蛋白质或糖液也有时作为第2透过液而经由第2透过液管l22被回收。

(过滤装置的动作例)

被处理液从被处理液管l1向第1贮存槽101供给，作为贮存液s1贮存于第1贮存槽101内。贮存液s1由第1送液泵103向第1分离膜部104输送，在第1分离膜部104中分离为第1透过液和第1非透过液。第1透过液经由第1透过液管l12以大致恒定流量向第2贮存槽201输送。第1非透过液作为贮存液s1向第1贮存槽101返回。即，贮存液s1在第1贮存槽101与第1分离膜部104之间循环，其有机物浓度在第1贮存槽101、第1送液管l10、第1非透过液管l11内被浓缩。第1送液管l10内的贮存液s1的一部分从第1取出管l13及第1取出阀111取出。剩余的贮存液s1向第1分离膜部104输送。

来自第1膜过滤单元100的第1透过液作为贮存液s2贮存于第2贮存槽201内。贮存于第2贮存槽201内的贮存液s2由第2送液泵203向第2分离膜部204输送，在第2分离膜部204中分离为第2透过液和第2非透过液。第2透过液经由第2透过液管l22以大致恒定流量向外部输送。第2非透过液的一部分经由取出·送回管l23及第2取出管l24以大致恒定流量被取出，剩余部分在第2送液管l20及第2非透过液管l21内循环。

在此，第1调整阀108被控制为第1流量计105的测定值为大致一定，第1非透过液从第1取出管l13被大致一定量地取出。第2调整阀208被控制为第2流量计205的值为大致一定，第3调整阀221被控制为第3流量计222的值为大致一定。因此，通过以使得被处理液的供给量a＝第1透过液量c+第1非透过液取出量b、第1透过液量c＝第2透过液量e+第2非透过液取出量d的方式，即，以所供给的量＝被取出的量(a＝b+c、c＝d+e)的方式设定流量，本实施方式的过滤装置大致定量地处理被处理液，第1液量计和第2液面计的值为大致一定，能够稳定地持续进行恒定流量过滤。

但是，在实际的过滤装置中，由于第1膜过滤单元与第2膜过滤单元的分离成分的差异、膜种类的不同所导致的堵塞倾向的差异等，流量产生若干偏差。在该情况下，第1或第2贮存槽101、201内的贮存液s1、s2的液量不稳定，发生枯竭或溢出，无法稳定地持续进行恒定流量过滤。另外，若贮存槽101、201内的液量增减，则贮存槽101、201内的有机物等的浓度也变动而不稳定。

因此，在本实施方式的过滤装置中，第1控制部115基于来自位于前段的第1膜过滤单元100的第1液量计114的前段测定值和来自位于连续其后的后段的第2膜过滤单元200中的第2液量计214的后段测定值，来控制第1膜过滤单元100的第1透过液的流动。

例如，将第1及第2液量计114、214设为液面计。在第1贮存槽101内的贮存液s1的液面比下限水平ll1低的情况下，即在前段测定值比下限阈值(第1阈值)小的情况下，第1控制部115关闭第1调整阀108来停止第1透过液从第1透过液管l12向第2膜过滤单元200的流动。此时，非透过液阀107打开，第1取出阀111关闭。由此，来自第1送液管l10的贮存液s1全部作为非透过液经由第1非透过液管l11向第1贮存槽101返回。即，第1膜过滤单元100停止过滤，使贮存液s1在第1贮存槽101与第1分离膜部104之间循环。通过停止过滤，能够抑制第1分离膜部104的堵塞，更长时间稳定地使用第1分离膜部104。特别是，能够优选适用于如以甘蔗等的榨汁、或甘蔗渣等非可食性资源为原料而实施了化学处理或酵素分解等的处理液等那样浑浊物多的被处理液的情况、需要逆洗涤的膜的情况。另外，通过使贮存液s1循环，能够使第1贮存槽101的液面上升。即，能够使前段测定值比下限阈值大。

在第2贮存槽201内的贮存液s2的液面比上限水平ul2高的情况下，即，在后段测定值比上限阈值(第2阈值)大的情况下，同样地，第1控制部115也是只要关闭第1调整阀108来停止第1透过液从第1透过液管l12向第2膜过滤单元200的流动即可。此时，第2膜过滤单元200继续过滤处理。由此，来自第1透过液管l12的第1透过液保持不向第2贮存槽201供给的状态，第2透过液向外部流出，第2非透过液被取出。其结果是，能够使第2贮存槽201的液面下降。即，能够使后段测定值比上限阈值小。

另一方面，在第1贮存槽101内的贮存液s1的液面比上限水平ul1高的情况下，使被处理液从外部向第1贮存槽101的供给减少或停止即可。

另外，在第2贮存槽201内的贮存液s2的液面比下限水平(第3阈值)ll2低的情况下，第2控制部215控制第2送回阀206，使第2透过液向透过液送回管l26流动，向第2贮存槽201返回，第2控制部215控制第2取出阀221及送回阀223，使第2非透过液经由取出·送回管l23及非透过液送回管l25向第2贮存槽201返回。第2膜过滤单元200停止过滤的送液，使贮存液s2在第2贮存槽201或第2送液管l20、第2分离膜部204、第2非透过液管l21、取出·送回管l23、非透过液送回管l25、透过液送回管l26之间循环。由此，膜的流量的控制能够在持续的状态下调整第2贮存槽的液量。特别是在过滤时需要高压的情况下，通过持续进行膜的流量的控制，能够在过滤的送液再次开始时立即使流量稳定，能够进行稳定的恒定流量过滤，因此是优选的。另外，通过使贮存液s2循环，能够使第2贮存槽201的液面上升。即，能够使后段测定值比下限阈值大。

这样，本实施方式的过滤装置基于来自第1及第2液量计114、214的测定值，通过透过液或非透过液的流动来调整由恒定流量过滤的流量偏差引起的第1或第2贮存槽101、201内的贮存液s1、s2的液量。由此，能够修正因恒定流量过滤装置的微小的流量偏差而导致的第1或第2贮存槽101、201内的贮存液s1、s2的液量的偏差。通过修正液量的偏差，能够使第1及第2贮存槽101、201内的贮存液s1、s2的液量稳定，并抑制贮存液s1、s2从第1及第2贮存槽101、201溢出或枯竭。因此，过滤装置能够以恒定流量持续稳定地对被处理液进行过滤。另外，通过使第1及第2贮存槽101、201内的贮存液s1、s2的液量稳定，能够使第1贮存槽101内的有机物浓度稳定。

此外，在第1膜过滤单元100中，作为洗涤部，设置有洗涤液槽112、洗涤泵113以及洗涤管l115。洗涤部通过使洗涤液从第1分离膜部104的透过侧向非透过侧流动，对第1分离膜部104进行逆洗涤。在该洗涤处理中，打开第1透过液阀108及第1取出阀111，关闭第1非透过液阀107。然后，使第1送液泵103停止，驱动洗涤泵113。由此，洗涤液槽112的洗涤液通过非透过液送回管l25、第1分离膜部104、第1送液管l10以及第1取出管l13被排出。为了预防第1分离膜部104的堵塞，定期地或者间歇地执行洗涤处理。在该逆洗涤的同时，也可以通过取出一定量的第1分离膜部所内含的非透过液，来定期地进行非透过液的取出。

(变形例1)

图2是示出第1实施方式的变形例1的过滤装置的结构例的图。根据变形例1，第2非透过液管l21连接于第2贮存槽201，来自第2分离膜部204的第2非透过液向第2贮存槽201返回。第2贮存槽201内的贮存液s2在第2贮存槽201与第2分离膜部204之间循环。在该情况下，贮存液s2在第2贮存槽201内被浓缩，能够作为浓缩液从第2取出管l24以大致恒定流量取出。变形例1的其他结构及动作可以与上述第1实施方式的对应的结构及动作是同样的。因此，变形例1能够得到与上述第1实施方式同样的效果。

(变形例2)

图3是示出第1实施方式的变形例2的过滤装置的结构例的图。根据变形例2，第1膜过滤单元100的第1非透过液管l11连接于第1贮存槽101与第1送液泵103之间的第1送液管l10，以使来自第1分离膜部104的第1非透过液向第1送液管l10返回的方式进行配管。在该情况下，第1贮存槽101内的贮存液s1在第1送液管l10与第1分离膜部104之间循环。贮存液s1在第1送液管l10内被浓缩，能够作为浓缩液从第1取出管l13以大致恒定流量取出。变形例2的其他结构及动作可以与上述第1实施方式的对应的结构及动作是同样的。因此，变形例2能够得到与上述第1实施方式同样的效果。

(变形例3)

图4是示出第1实施方式的变形例3的过滤装置的结构例的图。变形例3的第1膜过滤单元100还具备第1开闭阀109。第1开闭阀109设置于第1调整阀108与第2贮存槽201之间的第1透过液管l12。第1开闭阀109由第1控制部115控制来进行开闭动作。即，在第1贮存槽101内的贮存液s1的液面比下限水平ll1低的情况下，或者在第2贮存槽201内的贮存液s2的液面比上限水平ul2高的情况下，第1开闭阀109关闭，停止第1透过液从第1透过液管l12向第2膜过滤单元的流动。由此，来自第1送液管l10的贮存液s1全部作为非透过液向第1贮存槽101返回，并在第1贮存槽101与第1分离膜部104之间循环。其结果是，能够抑制第1分离膜部104的堵塞，更长时间稳定地使用第1分离膜部104。特别是，能够优选适用于浑浊物多的被处理液的情况、需要逆洗涤的分离膜的情况。另外，通过使贮存液s1循环，能够使第1贮存槽101内的贮存液s1的液面上升，或者使第2贮存槽201内的贮存液s2的液面下降。

另外，第2膜过滤单元200还具备第2开闭阀209。第2开闭阀209设置于第2透过液管l22。第2开闭阀209由第2控制部215控制来进行开闭动作。即，在第2贮存槽201内的贮存液s2的液面比下限水平ll2低的情况下，第2开闭阀209关闭，停止来自第2透过液管l22的第2透过液的流动，将透过液的流量与非透过液的流量相加得到的量从取出·送回管l23取出，作为非透过液从非透过液送回管l25向第2贮存槽201返回。由此，来自第2送液管l20的贮存液s2全部作为非透过液向第2贮存槽201返回，在第2贮存槽201、第2送液管l20、第2分离膜部204、取出·送回管l23、非透过液送回管l25之间循环。其结果是，能够抑制第2分离膜部204的堵塞，更长时间稳定地使用第2分离膜部204。特别是，能够优选适用于浑浊物多的被处理液的情况、需要逆洗涤的分离膜的情况。另外，通过使贮存液s2循环，能够使第2贮存槽201内的贮存液s2的液面上升。

这样，可以是，另外于第1及第2调整阀108、208地设置第1及第2开闭阀109、209，第1及第2开闭阀109、209停止第1及第2透过液的流动。

另外，第1开闭阀109可以配置于第1透过液管l12的任意的位置，也可以配置于第1调整阀108与第1流量计105之间、或者第1流量计105与第1分离膜部104之间。第2开闭阀209可以配置于第2透过液管l22的任意的位置，也可以配置于送回阀206与第2流量计205之间、或者第2流量计205与第2分离膜部204之间。

另外，也可以是，设置第1及第2开闭阀109、209中的任一方，另一方省略。在该情况下，代替省略的开闭阀，只要第1或第2调整阀108停止第1透过液的流动即可，第2膜过滤单元200只要与第1实施方式同样地控制送回阀206、223来使第2透过液和第2第2非透过液向第2贮存槽201返回即可。

变形例3的其他结构及动作可以与上述第1实施方式的对应的结构及动作是同样的。因此，变形例3能够得到与上述第1实施方式同样的效果。

(变形例4)

在上述变形例1～3中，为了停止第1透过液的流动，第1控制部115关闭第1调整阀108或第1开闭阀109。另外，为了停止第2透过液的流动，第2控制部215关闭第2调整阀208或第2开闭阀209。

与此相对，根据变形例4，第1或第2控制部115、215为了停止第1或第2透过液的流动而使第1或第2送液泵103、203的动作停止。

例如，在图1的第1贮存槽101内的贮存液s1的液面比下限水平ll1低的情况下，或者在第2贮存槽201内的贮存液s2的液面比上限水平ul2高的情况下，第1控制部115使第1送液泵103的动作停止。此时，第2控制部215继续第2送液泵203的动作。由此，第1透过液从第1膜过滤单元100向第2膜过滤单元200的流动停止，第1贮存槽101内的贮存液s1的液面上升，或者第2贮存槽201内的贮存液s2的液面下降。

例如，在第2贮存槽201内的贮存液s2的液面比下限水平ll2低的情况下，第2控制部215使第2送液泵203的动作停止。此时，第1控制部115继续第1送液泵103的动作。由此，来自第2膜过滤单元200的第2透过液的流动停止，第2贮存槽201内的贮存液s2的液面上升。

变形例4的其他结构及动作可以与上述第1实施方式的对应的结构及动作是同样的。因此，变形例4也能够与上述第1实施方式同样地得到调整第1贮存槽101和第2贮存槽201的液量的效果。

(变形例5)

在变形例5中，通过控制从第1或第2取出管l13、l24取出的非透过液的量，来调节第1或第2贮存槽101、201内的液量。

例如，在图1的第1贮存槽101内的贮存液s1的液面比上限水平ul1高的情况下，使从第1取出管l13取出的非透过液的量增大。在第2贮存槽201内的贮存液s2的液面比上限水平ul2高的情况下，使从第2取出管l24取出的第1非透过液的量增大。相反地，在第1贮存槽101内的贮存液s1的液面比下限水平ll1低的情况下，使从第1取出管l13取出的第1非透过液的量减少。在第2贮存槽201内的贮存液s2的液面比下限水平ll2低的情况下，使从第2取出管l24取出的第2非透过液的量减少。这样，也可以通过控制从第1或第2取出管l13、l24取出的非透过液的量，来调节第1或第2贮存槽101、201内的液量。

变形例5的其他结构及动作可以与上述第1实施方式的对应的结构及动作是同样的。因此，变形例5也能够与上述第1实施方式同样地得到调整第1贮存槽101和第2贮存槽201的液量的效果。

(变形例6)

在变形例6中，通过控制从第1或第2贮存槽101、201排出的贮存液s1、s2的量，来调节第1或第2贮存槽101、201内的液量。例如，图5是示出变形例6的过滤装置的结构例的图。变形例6的第2膜过滤单元200还具备排出阀210和排出管l224。此外，在第1膜过滤单元100中，第1取出阀111及第1取出管l13分别作为排出阀及排出管发挥功能。

排出管l224经由排出阀210连接于第2送液管l20。排出管l224连接于第2贮存槽201与送液泵203之间的第2送液管l20，以将在第2送液管l20中流动的贮存液s2向过滤装置的外部排出的方式进行配管。排出阀210设置于排出管l224，在排出贮存液s2时打开。

例如，在第2贮存槽201内的贮存液s2的液面比上限水平ul2高的情况下，第2控制部215打开排出阀210，将贮存液s2从排出管l224向过滤装置的外部排出。另外，在第1贮存槽101内的贮存液s1的液面比上限水平ul1高的情况下，第1控制部115打开第1取出阀111，将贮存液s1从第1取出管l13向过滤装置的外部排出。

这样，也可以通过控制从第1或第2贮存槽101、201排出的贮存液s1、s2的量，来调节第1或第2贮存槽101、201内的液量。

变形例6的其他结构及动作可以与上述第1实施方式的对应的结构及动作是同样的。因此，变形例6也能够与上述第1实施方式同样地得到调整第1贮存槽101和第2贮存槽201的液量的效果。

在上述实施方式以及变形例中，说明了第1及第2液量计114、214是液面计的情况，但当然第1及第2液量计114、214也可以是对第1及第2贮存槽101、201内的液量进行检测的质量测定器。

(第2实施方式)

图6是示出第2实施方式的过滤装置的结构例的图。第2实施方式的第1膜过滤单元100是省略了洗涤部的实施方式。因此，第2实施方式的第1膜过滤单元100不具有洗涤液槽112、洗涤泵113、洗涤管l115。伴随于此，第1实施方式的第1取出管l13及第1取出阀111设置于第1非透过液管l11。这是因为第1取出管l13及第1取出阀111不需要用作洗涤液的排出管及排出阀。因此，在第2实施方式中，非透过液的一部分从第1非透过液管l11经由第1取出管l13被向过滤装置的外部取出，其剩余部分经由第1非透过液管l11向第1贮存槽101返回。

而且，第2实施方式的第1膜过滤单元100具备设置于第1取出管l13的流量计125。流量计125测定在第1取出管l13中流动的非透过液的流量。非透过液的流量的测定值用于经由第1控制部115对第1取出阀111进行反馈控制。通过该反馈控制，第1取出阀111被调整为使在第1取出管l13中流动的非透过液的流量为大致一定。

第2实施方式的其他结构可以与第1实施方式的对应的结构是同样的。另外，第2实施方式的动作除了没有洗涤功能以外，也可以与第1实施方式的动作是同样的。因此，第2实施方式能够得到与第1实施方式同样的效果。

另外，上述变形例1～6均能够应用于第2实施方式。而且，在第2实施方式中，也可以是，设置有串联连续的多个第1膜过滤单元100，第2膜过滤单元200设置成连续在第1膜过滤单元100之后。即，第2实施方式也能够与后述的第3或第4实施方式组合。

也可以设置取出泵(未图示)来代替第1取出阀111。在该情况下，第1控制部115使用流量计125的流量测定值来对取出泵进行反馈控制。通过该反馈控制，取出泵被调整为使在第1取出管l13中流动的非透过液的流量为大致一定。即使这样，也不会失去本实施方式的效果。

(第3实施方式)

图7是示出第3实施方式的过滤装置的结构例的图。第3实施方式的第1膜过滤单元100具有与第2膜过滤单元200大致同样的结构，还具备取出·送回管l14、第1非透过液送回管l15、第1透过液送回管l16、流量计122、以及送回阀123、126。

第1非透过液管l11以使来自第1分离膜部104的第1非透过液向第1贮存槽101与第1送液泵103之间的第1送液管l10返回的方式进行配管。另外，在第1非透过液管l11连接有取出·送回管l14，第1非透过液的一部分向第1取出管l13或非透过液送回管l15输送。在取出·送回管l14设置有第1取出阀111。在取出·送回管l14、第1取出管l13以及非透过液送回管l15连接有送回阀123。送回阀123例如是三通阀，能够使来自取出·送回管l14的第1非透过液向第1取出管l13或非透过液送回管l15流动。第1非透过液送回管l15以使第1非透过液从取出·送回管l14向第1贮存槽101返回的方式进行配管。第1非透过液送回管l15通过送回阀123与取出·送回管l14连接。流量计122测定在取出·送回管l14中流动的第1非透过液的流量。第1非透过液的一部分经由取出·送回管l14及第1取出管l13被向过滤装置的外部取出。另一方面，第1非透过液的剩余部分经由第1非透过液管l11向第1送液管l10返回，或者经由非透过液送回管l15向第1贮存槽101返回。返回到第1送液管l10或第1贮存槽101的第1非透过液向第1分离膜部104再次输送。

第1非透过液通过向第1送液管l10返回，从而在第1送液管l10(第1非透过液管l11)与第1分离膜部104之间循环，其有机物浓度在第1送液管l10及第1非透过液管l11内被浓缩。由于第1送液管l10的容积比第1贮存槽101的容积小，因此第1非透过液与向第1贮存槽101返回的情况相比被更快地浓缩。

透过液送回管l16连接于第1透过液管l12，将在第1透过液管l12中流动的第1透过液向第1贮存槽101送回。在第1透过液管l12与透过液送回管l16之间连接有送回阀126。送回阀126例如是三通阀，能够使来自第1分离膜部104的第1透过液向第1透过液管l12流动或者向透过液送回管l16流动。

第3实施方式的第2膜过滤单元200与第1实施方式的第2膜过滤单元200相同。

在第1贮存槽101内的贮存液s1的液面比下限水平(第1阈值)ll1低的情况下，或者在第2贮存槽201内的贮存液s2的液面比上限水平(第2阈值)ul2高的情况下，可以是，第1控制部115控制送回阀126，使第1透过液向透过液送回管l16流动，向第1贮存槽101返回，第1控制部115控制第1取出阀111及送回阀123，使第1非透过液经由取出·送回管l14及非透过液送回管l15向第1贮存槽101返回。由此，来自第1送液管l10的第1透过液及第1非透过液向第1贮存槽101或第1送液管l10返回。即，第1膜过滤单元100停止过滤的送液，使第1透过液或第1非透过液在第1贮存槽101或第1送液管l10与第1分离膜部104之间循环。由此，膜的流量的控制能够在持续的状态下调整第2贮存槽的液量。特别是在过滤时需要高压的情况下，通过持续进行膜的流量的控制，能够在过滤的送液再次开始时立即使流量稳定，能够进行稳定的恒定流量过滤，因此是优选的。另外，通过使第1透过液或第1非透过液循环，能够使第1贮存槽101的液面上升。

这样，即使将第1膜过滤单元100设为与第2膜过滤单元200同样的结构，也能够得到与第1实施方式同样的效果。另外，也可以将第3实施方式的第1膜过滤单元100设为与上述变形例1、3～6的第2膜过滤单元200同样的结构。而且，上述变形例1、3～6能够应用于第3实施方式。

(第4实施方式)

图8是示出第4实施方式的过滤装置的结构例的图。第4实施方式的第1膜过滤单元100具有与图1的第1膜过滤单元100同样的结构。第4实施方式的第2膜过滤单元200具有与图6的第1膜过滤单元100大致同样的结构。

在第4实施方式的第2膜过滤单元200中，第2非透过液管l21连接于第2贮存槽201，来自第2分离膜部204的第2非透过液向第2贮存槽201返回。第2贮存槽201内的贮存液s2在第2贮存槽201与第2分离膜部204之间循环。第2非透过液的一部分从第2非透过液管第l21经由第2取出管l24被向过滤装置的外部取出，其剩余部分经由第2非透过液管l21向第2贮存槽201返回。

第4实施方式的第2膜过滤单元200具备设置于第2取出管l24的流量计222。流量计222测定在第2取出管l24中流动的非透过液的流量。非透过液的流量的测定值用于经由第2控制部215对第2取出阀221进行反馈控制。通过该反馈控制，第2取出阀221被调整为使在第2取出管l24中流动的非透过液的流量为大致一定。

第2透过液管l22以将来自第2分离膜部204的第2透过液向第2膜过滤单元200的外部输送的方式进行配管。被取出到外部的第2透过液可以用作产品，也可以用于其他工序。在第2透过液管l22设置有第2流量计205及第2调整阀208。第2流量计205测定在第2透过液管l22中流动的第2透过液的流量。第2透过液的流量的测定值用于经由第2控制部215对第2调整阀208进行反馈控制。通过该反馈控制，第2调整阀208被调整为使在第2透过液管l22中流动的第2透过液的流量为大致一定。

在第2贮存槽201内的贮存液s2的液面比下限水平(第3阈值)ll2低的情况下，第2控制部215关闭第2调整阀208来停止来自第2透过液管l22的第2透过液的流动。此时，第2取出阀221关闭。由此，来自第2送液管l20的贮存液s2全部作为非透过液向第2贮存槽201返回。即，第2膜过滤单元200停止过滤，使贮存液s2在第2贮存槽201与第2分离膜部204之间循环。通过停止过滤，能够抑制第2分离膜部204的堵塞，使膜更长时间稳定地运转。特别是，能够优选适用于浑浊物多的被处理液的情况、需要逆洗涤的膜的情况。另外，通过使贮存液s2循环，能够使第2贮存槽201的液面上升。

此外，第4实施方式的第1膜过滤单元100可以是图1～图7中的任一结构。另外，第4实施方式的第2膜过滤单元200也可以具备如下的洗涤部，该洗涤部具有与第1实施方式的第1膜过滤单元100同样的结构以及功能。

(变形例7)

图9是示出变形例7的过滤装置的结构例的图。变形例7是在第4实施方式中组合了第1实施方式的变形例3的方式。因此，变形例7的第1膜过滤单元100还具备第1开闭阀109。第1开闭阀109设置于第1调整阀108与第2贮存槽201之间的第1透过液管l12。第1开闭阀109由第1控制部115控制，与第4实施方式的第1调整阀108同样地动作。即，在第1贮存槽101内的贮存液s1的液面比下限水平ll1低的情况下，或者在第2贮存槽201内的贮存液s2的液面比上限水平ul2高的情况下，第1开闭阀109关闭，停止第1透过液从第1透过液管l12向第2膜过滤单元的流动。

另外，第2膜过滤单元200还具备第2开闭阀209。第2开闭阀209设置于第2透过液管l22。第2开闭阀209由第2控制部215控制，与第4实施方式的第2调整阀208同样地动作。即，在第2贮存槽201内的贮存液s2的液面比下限水平ll2低的情况下，第2开闭阀209关闭，停止来自第2透过液管l22的第2透过液的流动。

这样，可以是，另外于第1及第2调整阀108、208地设置第1及第2开闭阀109、209，第1及第2开闭阀109、209停止第1及第2透过液的流动。

此外，第1开闭阀109可以配置于第1透过液管l12的任意的位置，也可以配置于第1调整阀108与第1流量计105之间、或者第1流量计105与第1分离膜部104之间。第2开闭阀209可以配置于第2透过液管l22的任意的位置，也可以配置于送回阀206与第2流量计205之间、或者第2流量计205与第2分离膜部204之间。

另外，也可以是，设置第1及第2开闭阀109、209中的任一方，另一方省略。在该情况下，代替省略的开闭阀，只要第1或第2调整阀108、208停止第1或第2透过液的流动即可。

变形例7的其他结构及动作可以与上述第4实施方式的对应的结构及动作是同样的。因此，变形例7能够得到与上述第4实施方式同样的效果。

(第5实施方式)

在第1及第2实施方式中，设置有单一的第1膜过滤单元100，第2膜过滤单元200设置成连续在该单一的第1膜过滤单元100之后。

与此相对，在第5实施方式中，设置有串联连续的多个第1膜过滤单元100，第2膜过滤单元200设置成连续在该多个第1膜过滤单元100之后。多个第1膜过滤单元100分别基于自身的前段测定值和连续其后的第1或第2膜过滤单元100、200的后段测定值，来控制第1贮存槽101内的液量。多个第1膜过滤单元100可以分别为图1～图9所示的第1膜过滤单元100的任一结构。另外，最后段的第2膜过滤单元200仅基于自身的测定值来控制第2贮存槽201内的液量，可以为图1～图9所示的第2膜过滤单元200的任一结构。

例如，图10是示出第5实施方式的过滤装置的结构例的图。在第5实施方式中，具备连续的2个第1膜过滤单元100_1、100_2和连续其后的第2膜过滤单元200。即，第5实施方式的过滤装置具备串联连续的3段膜过滤单元100_1、100_2、200。

在图10的例子中，第1膜过滤单元100_1具有与图1的第1膜过滤单元100同样的结构。第1膜过滤单元100_2具有与图7的第1膜过滤单元100同样的结构。第2膜过滤单元200具有与图1的第2膜过滤单元200同样的结构。

但是，优选的是，位于被处理液的流动的下游侧的第1膜过滤单元100_2的第1分离膜部104的孔径比上游侧的第1膜过滤单元100_1的孔径小。另外，优选的是，位于被处理液的流动的下游侧的第2膜过滤单元200的第2分离膜部204的孔径比上游侧的第1膜过滤单元100_1、100_2的孔径小。即，分离膜部104、204的孔径优选设定为随着从上游朝向下游而逐渐变小。由此，能够使从取出管l13、l24取出的非透过液(浓缩液)的成分不同。

例如，第1膜过滤单元100_1的第1分离膜部104为mf膜，第1膜过滤单元100_2的第1分离膜部104为uf膜，第2膜过滤单元200的第2分离膜部204为nf膜和/或ro膜。在该情况下，从第1膜过滤单元100_1取出的非透过液例如是浑浊物、微生物，从第1膜过滤单元100_2取出的非透过液例如是蛋白质，从第2膜过滤单元200取出的非透过液例如是单糖、寡糖等的糖液、氨基酸、芳香族化合物。这样，通过使连续的多个膜过滤单元的分离膜部的孔径不同，能够从被处理液中提取不同成分的浓缩液。

第1膜过滤单元100_1、100_2、第2膜过滤单元200串联连续。因此，第1膜过滤单元100_1从外部接受被处理液，向其后段的第1膜过滤单元100_2供给透过液。此时，从第1膜过滤单元100_1取出非透过液(例如，浑浊物)s11。

第1膜过滤单元100_2接受来自第1膜过滤单元100_1的透过液，将对包含该透过液的贮存液s1_2进行过滤后的透过液向后段的第2膜过滤单元200供给。此时，从第1膜过滤单元100_2取出非透过液(例如，蛋白质)s12。第2膜过滤单元200接受来自第1膜过滤单元100_2的透过液，使对包含该透过液的贮存液s2进一步过滤后的透过液s3向外部流动。此时，从第2膜过滤单元200取出非透过液(例如，单糖、寡糖等的糖液、氨基酸、芳香族化合物)s13。

第1膜过滤单元100_1、100_2的第1控制部115基于来自自身的第1液量计114的前段测定值和来自连续其后的后段的第1或第2膜过滤单元100_2或200的第1液量计114的后段测定值，来控制贮存于自身的第1贮存槽101内的贮存液s1_1、s1_2的液量。

例如，如果将第1膜过滤单元100_1作为前段，则前段的第1膜过滤单元100_1的第1控制部115基于来自自身(前段的第1膜过滤单元100_1)的第1液量计114的前段测定值和来自连续其后的后段的第1膜过滤单元100_2的第1液量计114的后段测定值，来控制自身(前段的第1膜过滤单元100)的第1贮存槽101内的液量。

另外，如果将第1膜过滤单元100_2作为前段，则前段的第1膜过滤单元100_2的第1控制部115基于来自自身(前段的第1膜过滤单元100_2)的第1液量计114的前段测定值和来自连续其后的后段的第2膜过滤单元200的第2液量计214的后段测定值，来控制自身(前段的第1膜过滤单元100_2)的第1贮存槽101内的液量。

最后段的第2膜过滤单元200的第2控制部215基于来自自身(第2膜过滤单元200)的第2液量计214的测定值，来控制自身(第2膜过滤单元200)的第2贮存槽201内的液量。

第1及第2贮存槽101、201内的液量的控制方法可以与第1实施方式的“(过滤装置的动作例)”相同。因此，在此，省略第1膜过滤单元100_1、100_2及第2膜过滤单元200的动作的详细说明。这样，即使使3个膜过滤单元串联连续，也能够得到在第1实施方式中说明了的效果。

(第6实施方式)

在第5实施方式中，设置有串联连续的2个第1膜过滤单元100_1、100_2。

与此相对，在第6实施方式中，设置有串联连续的3个第1膜过滤单元100_1～100_3，第2膜过滤单元200设置成连续在第1膜过滤单元100_1～100_3之后。

第1膜过滤单元100_1～100_3基于自身的前段测定值和连续其后的第1或第2膜过滤单元100_2、100_3或200的后段测定值，来控制第1贮存槽101内的液量。第1膜过滤单元100_1～100_3可以分别是图1～图9所示的第1膜过滤单元100的任一结构。另外，最后段的第2膜过滤单元200仅基于自身的测定值来控制第2贮存槽201内的液量，可以是图1～图9所示的第2膜过滤单元200的任一结构。

例如，图11是示出第6实施方式的过滤装置的结构例的图。在第6实施方式中，具备连续的3个第1膜过滤单元100_1～100_3和连续其后的第2膜过滤单元200。即，第6实施方式的过滤装置具备串联连续的4段膜过滤单元100_1～100_3、200。

在图11的例子中，第1膜过滤单元100_1具有与图1的第1膜过滤单元100同样的结构。第1膜过滤单元100_2、100_3具有与图7的第1膜过滤单元100同样的结构。第2膜过滤单元200具有与图1的第2膜过滤单元200同样的结构。

但是，优选的是，位于被处理液的流动的下游侧的第1膜过滤单元100_2的第1分离膜部104的孔径比上游侧的第1膜过滤单元100_1的孔径小。另外，优选的是，位于下游侧的第1膜过滤单元100_3的第1分离膜部104的孔径比上游侧的第1膜过滤单元100_1、100_2的孔径小。进一步优选的是，位于下游侧的第2膜过滤单元200的第2分离膜部204的孔径比上游侧的第1膜过滤单元100_1～100_3的孔径小。即，分离膜部104、204的孔径优选设定为随着从上游朝向下游而逐渐变小。由此，能够使从取出管l13、l24取出的非透过液(浓缩液)的成分不同。

例如，第1膜过滤单元100_1的第1分离膜部104为mf膜，第1膜过滤单元100_2的第1分离膜部104为uf膜，第1膜过滤单元100_3的第1分离膜部104为nf膜，第2膜过滤单元200的第2分离膜部204为ro膜。在该情况下，从第1膜过滤单元100_1取出的非透过液例如是浑浊物、微生物，从第1膜过滤单元100_2取出的非透过液例如是蛋白质，从第1膜过滤单元100_3取出的非透过液例如是寡糖、氨基酸，从第2膜过滤单元200取出的非透过液例如是单糖。这样，通过使连续的多个膜过滤单元的分离膜部的孔径不同，能够从被处理液中提取不同成分的浓缩液。

第1膜过滤单元100_1～100_3、第2膜过滤单元200串联连续。因此，第1膜过滤单元100_1从外部接受被处理液，向其后段的第1膜过滤单元100_2供给透过液。此时，从第1膜过滤单元100_1取出非透过液(例如，浑浊物、微生物)s11。第1膜过滤单元100_2接受来自第1膜过滤单元100_1的透过液，将对包含该透过液的贮存液s1_2进行过滤后的透过液向后段的第1膜过滤单元100_3供给。此时，从第1膜过滤单元100_2取出非透过液(例如，蛋白质)s12。第1膜过滤单元100_3接受来自第1膜过滤单元100_2的透过液，将对包含该透过液的贮存液s1_3进行过滤后的透过液向后段的第2膜过滤单元200供给。此时，从第1膜过滤单元100_3取出非透过液(例如，寡糖、氨基酸)s13。第2膜过滤单元200接受来自第1膜过滤单元100_3的透过液，使对包含该透过液的贮存液s2进一步过滤后的透过液s3向外部流动。此时，从第2膜过滤单元200取出非透过液(例如，单糖、芳香族化合物)s14。

第1膜过滤单元100_1～100_3的第1控制部115基于来自自身的第1液量计114的前段测定值和来自连续其后的后段的第1或第2膜过滤单元100_2、100_3或200的液量计114、214的后段测定值，来控制贮存于自身的第1贮存槽101内的贮存液的液量。

例如，如果将第1膜过滤单元100_1作为前段，则前段的第1膜过滤单元100_1的第1控制部115基于来自自身(前段的第1膜过滤单元100_1)的第1液量计114的前段测定值和来自连续其后的后段的第1膜过滤单元100_2的第1液量计114的后段测定值，来控制自身(前段的第1膜过滤单元100)的第1贮存槽101内的液量。

另外，如果将第1膜过滤单元100_2作为前段，则前段的第1膜过滤单元100_2的第1控制部115基于来自自身(前段的第1膜过滤单元100_2)的第1液量计114的前段测定值和来自连续其后的后段的第1膜过滤单元100_3的第1液量计114的后段测定值，来控制自身(前段的第1膜过滤单元100_2)的第1贮存槽101内的液量。

而且，如果将第1膜过滤单元100_3作为前段，则前段的第1膜过滤单元100_3的第1控制部115基于来自自身(前段的第1膜过滤单元100_3)的第1液量计114的前段测定值和来自连续其后的后段的第2膜过滤单元200的第2液量计214的后段测定值，来控制自身(前段的第1膜过滤单元100_3)的第1贮存槽101内的液量。

最后段的第2膜过滤单元200的第2控制部215基于来自自身(第2膜过滤单元200)的第2液量计214的后段测定值，来控制自身(第2膜过滤单元200)的第2贮存槽201内的液量。

第1及第2贮存槽101、201内的液量的控制方法可以与第1实施方式的“(过滤装置的动作例)”相同。因此，在此，省略第1膜过滤单元100_1～100_3及第2膜过滤单元200的动作的详细说明。

这样，即使使4个膜过滤单元串联连续，也能够得到在第1实施方式中说明了的效果。连续的膜过滤单元的数量没有特别限定，也可以为5个以上。

(关于调整阀、流量计、送液泵的配置)

在图1～图9的第1膜过滤单元100中，作为第1调整部的调整阀108及流量计105设置于透过液管l12。但是，调整阀108及流量计105的配置并不限定于此。

另外，在图7的第1膜过滤单元100中，设置有单一的送液泵103。但是，送液泵的个数、配置也不限定于此。

图12～图14是示出调整阀、流量计、送液泵的配置的变形例的图。

例如，如图12所示，也可以是，第1调整阀108设置于第1非透过液管l11，基于第1流量计105的透过液的流量对非透过侧进行加压来调节透过液流量。

例如，如图13所示的例子那样，一般也可以是被称为供排(英文：feedandbleed)方式的装置结构。在图13中，2个送液泵103_1、103_2及1个流量计106设置于第1送液管l10。送液泵103_1及流量计106设置于第1贮存槽101与第1非透过液管l11之间的第1送液管l10。送液泵103_2设置于第1非透过液管l11与第1分离膜部104之间的第1送液管l10。送液泵103_1能够将来自第1贮存槽101的贮存液s1向送液泵103_2输送，送液泵103_2能够使贮存液s1和来自第1非透过液管l11的非透过液一起向第1分离膜部104输送并循环。

流量计106测定在送液泵103_1中流动的贮存液s1的流量。送液泵103_1基于由流量计106测定出的贮存液s1的流量进行反馈控制，来调节贮存液s1的流量。这样，也可以控制送液泵103_1来调节贮存液s1的流量。送液泵103_1通过控制为与第1非透过液取出量和第1透过液量的合计相同的流量，来取得第1膜过滤单元100的平衡。送液泵103_2优选与送液泵103_1的送液量无关地提高循环流量。由此，膜面线速度提高，能够防止膜的堵塞。

另外，流量计122测定从第1取出管l13取出的非透过液的流量。第1取出阀111基于由流量计122测定出的非透过液的流量进行反馈控制，来调节非透过液取出量b。

这样，也可以使用送液泵103_1来调节在第1送液管l10中流动的贮存液s1的流量a，使用第1取出阀111来调节非透过液取出量b，从而实质上调节透过液量c。

例如，在图14所示的例子中，省略流量计122，流量计105设置于第1透过液管l12。流量计105测定在第1透过液管l12中流动的第1透过液的流量。第1取出阀111基于由流量计105测定出的透过液量c进行反馈控制，来调节非透过液取出量b。

图14所示的第1膜过滤单元100的其他结构及动作可以与图11所示的结构及动作是同样的。由此，也可以是，使用送液泵103_1来调节在第1送液管l10中流动的贮存液s1的流量a，使用第1取出阀111来调节非透过液取出量b，从而实质上调节透过液量c。

图12～图14所示的调整阀、流量计、送液泵的配置例也能够适用于第2膜过滤单元200(分离膜部的结构)。

图15及图16是示出第1及第2分离膜部104、204的结构例的图。第1及第2分离膜部104、204可以由单一的过滤膜构成，但根据处理量，如图15及图16所示，也可以是由多个过滤膜构成的分离膜模块。

例如，图15示出具有并联连接的2个过滤膜304a、304b的第1分离膜部104。过滤膜304a、304b分别与第1送液管l10、第1非透过液管l11以及第1透过液管l12并联连接。由此，第1分离膜部104能够高效且以短时间处理大量的贮存液s1。

例如，图16示出具有串联连接的2个过滤膜304a、304b的第1分离膜部104。过滤膜304a连接于第1送液管l10，接收贮存液s1。过滤膜304b连接于过滤膜304a，接收来自过滤膜304a的非透过液。过滤膜304b连接于第1非透过液管l11，使未透过过滤膜304a、304b双方的第1非透过液向第1非透过液管l11流动。

另一方面，过滤膜304a、304b与第1透过液管l12并联连接，使透过了过滤膜304a、304b中的任一方的第1透过液向第1透过液管l12流动。

在第1分离膜部104内并联或串联连接的过滤膜的数量也可以是3个以上。另外，为了得到均质的透过液或非透过液，相同的第1分离膜部104内的多个过滤膜的种类(孔径)优选大致相等。图15及图16所示的分离膜模块的例子也能够适用于第2分离膜部204。但是，为了取出所希望的物质，也可以将种类不同的多个过滤膜组合而构成第1分离膜部104和/或第2分离膜部204。第1分离膜部104和/或第2分离膜部204也可以是将图15及图16组合而得到的并联且串联地组合的结构。

图17是示出具备由第1分离膜部104和送液泵103_1构成的多个循环系统c1、c2的第1膜过滤单元100的结构例的图，是一般被称为分级串联(日文：ステージインシリーズ)式的装置结构。

循环系统c1由送液泵103_21、第1分离膜部104_1、第1送液管l10_1以及第1非透过液管l11_1构成。在此，第1非透过液管l11_1在循环系统c1的送液泵103_21与循环系统c2的送液泵103_22之间送回非透过液。由此，循环系统c1能够一边从贮存液s1分离出透过液，一边浓缩非透过液，并将该浓缩后的非透过液向循环系统c2供给。

循环系统c2由送液泵103_22、第1分离膜部104_2、第1送液管l10_2以及第1非透过液管l11_2构成。循环系统c2具有与循环系统c1基本上相同的结构。循环系统c2能够一边从自循环系统c1接收到的浓缩后的非透过液中进一步分离透过液，一边进一步浓缩该浓缩后的非透过液。在循环系统c2中浓缩后的非透过液经由取出·送回管l14及第1取出管l13被取出，或者经由非透过液送回管l15向第1贮存槽101返回。

图17的第1膜过滤单元100的其他结构可以与图14的第1膜过滤单元100的对应的结构是同样的。此外，在图17中，取出·送回管l14、第1取出管l13、送回阀123的位置与图14的不同，但它们的动作与图14的取出·送回管l14、第1取出管l13、送回阀123的动作是同样的。

图17所示的膜过滤单元的例子也能够适用于第2膜过滤单元200。

(第7实施方式)

图18是示出第7实施方式的过滤装置的结构例的图。在第7实施方式中，还具备第3膜过滤单元300。第3膜过滤单元300连接于第1膜过滤单元100和第2膜过滤单元200，用第3分离膜部304过滤来自第1膜过滤单元100的第1非透过液，将其透过液(第3透过液)向第2膜过滤单元200供给。即，第3膜过滤单元300与第1膜过滤单元100并联连接。第2膜过滤单元200接受来自第1及第3膜过滤单元100、300双方的透过液(第1及第3透过液)。第7实施方式的其他结构与第3实施方式的对应的结构是同样的。此外，膜过滤单元的并联连接表示，对来自串联连接的多个膜过滤单元的前段的膜过滤单元的非透过液进行过滤，并使过滤后的透过液向后段的膜过滤单元流动的状态。

(第3膜过滤单元300的结构)

第3膜过滤单元300具备第3贮存槽301、第3送液泵303、第3分离膜部304、流量计305、调整阀308、第3取出阀311、流量计322、送回阀306、323、第3液量计314、第3控制部315、第3送液管l30、第3非透过液管l31、第3透过液管l32、取出·送回管l33、第3取出管l34、非透过液送回管l35、以及透过液送回管l36。

第3贮存槽301是积存来自第1取出管l13的第1非透过液作为贮存液s3的槽。

第3送液泵303设置在第3贮存槽301与第3分离膜部304之间，使贮存液s3经由第3送液管l30从第3贮存槽301向第3分离膜部304流动。第3送液泵303例如可以是向第3送液管l30内的贮存液s3施加压力的高压泵。第3送液管l30连接在第3贮存槽301与第3分离膜部304之间，将第3贮存槽301的贮存液s3从第3贮存槽301向第3分离膜部304输送。

第3分离膜部304将来自第3送液管l30的贮存液s3分离为第3透过液和第3非透过液。第3分离膜部304与第1分离膜部104同样地例如可以是mf膜、uf膜、nf膜、ro膜中的任一种过滤膜。但是，由于第3分离膜部304对贮存液s3进行过滤，因此优选具有与第1分离膜部104的孔径相同的孔径。由此，第3分离膜部304能够将在第1分离膜部104应分离的成分从贮存液s3(第1非透过液)中再次分离。

例如，在使用uf膜作为第1及第3分离膜部104、304的情况下，第1分离膜部104从贮存液s1分离出蛋白质作为第1非透过液，分离出糖作为第1透过液。而且，第3分离膜部304也从第1非透过液分离出蛋白质作为第3非透过液，分离出糖(例如，单糖、寡糖、多糖)、芳香族化合物等作为第3透过液。

在第1膜过滤单元100中，贮存液s1中的蛋白质作为第1非透过液向第1非透过液管l11或取出·送回管l13输送，糖作为第1透过液而经由第1透过液管l12向第2膜过滤单元200输送。另外，在第3膜过滤单元300中，第1非透过液中的蛋白质作为第3非透过液而向第3非透过液管l31或取出·送回管l33输送，糖作为第3透过液而经由第3透过液管l32向第2膜过滤单元200输送。这样，由第1及第3膜过滤单元100、300得到的含有糖的第1及第3透过液均作为贮存液s2积存于第2膜过滤单元200的第2贮存槽201。由此，来自被处理液的糖的回收率变高。

在使用nf膜或ro膜作为第2分离膜部204的情况下，第2分离膜部204能够从贮存液s2分离出糖作为第2非透过液。糖主要作为非透过液向第2非透过液管l21或取出·送回管l23输送，其他成分作为第2透过液向第2透过液管l22输送。

在此，第2贮存槽201不仅贮存来自第1膜过滤单元100的第1透过液，还贮存来自第3膜过滤单元300的第3透过液。如上所述，第1膜过滤单元100从贮存液s1使糖透过而制成第1透过液，使蛋白质残留于第1非透过液。但是，在第1非透过液中也残留一定程度在第1分离膜部104未透过的糖。因此，第3膜过滤单元300用第3分离膜部304过滤第1非透过液的一部分，从第1非透过液中再次分离糖。由此，第1非透过液中含有的糖作为第3透过液被回收，并向第2膜过滤单元200供给。因此，第2膜过滤单元200不仅能够接收第1透过液中含有的糖，还能够接收第3透过液中含有的糖。由此，来自被处理液的糖的回收率变高。

更详细而言，如第3实施方式那样，在第2贮存槽201仅接收来自第1膜过滤单元100的第1透过液的情况下，第2膜过滤单元200只能回收仅第1透过液中含有的糖。因此，虽然也依赖于第1分离膜部104的分离能力，但在第1分离膜部104(例如，uf膜)使被处理液中含有的糖的例如约80％透过的情况下，无法回收剩余的约20％的糖。

与此相对，根据第7实施方式，第3膜过滤单元300再次过滤第1非透过液并使糖透过而作为第3透过液向第2贮存槽201供给。例如，在第3分离膜部304(例如，uf膜)使第1非透过液中含有的糖(被处理液中含有的糖的约20％)的例如约50％透过的情况下，能够进一步回收非透过液中含有的糖的约10％。即，在该例子中，被处理液中含有的糖的约90％(80％+10％)包含于第2贮存槽201内的贮存液s2。由此，在第2膜过滤单元200中，糖的回收率变高。

此外，第3分离膜部304也与第1分离膜部104同样地可以由单一的过滤膜构成，也可以是组合多个过滤膜而得到的过滤膜模块。另外，在对第3分离膜部304使用过滤膜模块的情况下，多个过滤膜可以由单一种类的过滤膜构成，或者也可以组合多种过滤膜。

第3非透过液管l31以使来自第3分离膜部304的第3非透过液向第3贮存槽301与第3送液泵303之间的第3送液管l30返回的方式进行配管。另外，在第3非透过液管l31连接有取出·送回管l33，第3非透过液的一部分向第3取出管l34或非透过液送回管l35输送。在取出·送回管l33设置有第3取出阀311。在取出·送回管l33、第3取出管l34以及非透过液送回管l35连接有送回阀323。送回阀323例如是三通阀，能够使来自取出·送回管l33的第3非透过液向第3取出管l34或非透过液送回管l35流动。流量计322测定在取出·送回管l33中流动的第3非透过液的流量。第3非透过液的一部分经由取出·送回管l33及第3取出管l34被向过滤装置的外部取出。

被取出到外部的第3非透过液可以用作产品，也可以用于其他工序。另一方面，第3非透过液的剩余部分经由第3非透过液管l31向第3送液管l30返回，或者经由非透过液送回管l35向第3贮存槽301返回。返回到第3送液管l30或第3贮存槽301的第3非透过液作为贮存液s3向第3分离膜部304再次输送。

贮存液s3在第3送液管l30(第3非透过液管l31)与第3分离膜部304之间循环，其有机物(蛋白质)浓度在第3送液管l30及第3非透过液管l31内被浓缩。由于第3送液管l30的容积比第3贮存槽301的容积小，因此，贮存液s3与使第3非透过液向第3贮存槽301返回的情况相比，向第3送液管l30返回的情况下被更快地浓缩。但是，在来自第1取出管l13的第1非透过液的流量(b)、从第3取出管l34取出的第3非透过液的流量(第3非透过液取出量f)、从第3透过液管l32向第3膜过滤单元300的外部流动的第3透过液的流量(第3透过液量e)为一定的情况下，第3送液管l30及第3非透过液管l31内的第1非透过液的有机物(蛋白质)浓度在被浓缩后为大致一定。因此，从第3取出管l34取出的第3非透过液与来自第1取出管l13的第1非透过液相比被浓缩，但具有大致一定的有机物浓度。即，第3非透过液是具有大致一定的有机物浓度的浓缩液，且从第3膜过滤单元300以大致恒定流量取出。由此，能够使过滤装置更长时间地连续运转。

第3透过液管l32以将来自第3分离膜部304的第3透过液向后段的第2膜过滤单元200的第2贮存槽201输送的方式进行配管。在第3透过液管l32设置有作为第3调整部的流量计305及调整阀308。流量计305测定在透过液管l32及透过液送回管l36中流动的透过液的流量。透过液的流量的测定值用于经由第3控制部315对调整阀308进行反馈控制。通过该反馈控制，调整阀308被调整为使在第3透过液管l32中流动的透过液的流量为大致一定。

送回阀306及透过液送回管l36连接于第3透过液管l32，能够将在第3透过液管l32中流动的第3透过液向第3贮存槽301送回。送回阀306例如是三通阀，连接在第3透过液管l32与透过液送回管l36之间，能够使第3透过液向第3透过液管l32流动，或者向透过液送回管l36流动。只要能够切换为第3透过液管l32和透过液送回管l36即可，也可以具备两个二通阀来代替三通阀。

第3液量计314设置于第3贮存槽301，对贮存于第3贮存槽301内的第1非透过液s3的液量进行检测。例如，第3液量计314也可以是检测第3贮存槽301内的第1非透过液s3的液面的高度的液面计。第3贮存槽301内的第1非透过液s3的液量能够用第1非透过液s3的液面的高度的函数表示。因此，第3控制部315能够将第1非透过液s3的液面的高度用作第3贮存槽301内的第1非透过液s3的液量的指标。另外，例如，第3液量计314也可以是检测第3贮存槽301内的第1非透过液s3的质量的质量测定器。第3贮存槽301内的第1非透过液s3的液量能够用第1非透过液s3的质量的函数表示。因此，第3控制部315能够将第1非透过液s3的质量用作第3贮存槽301内的第1非透过液s3的液量的指标。

第3控制部315基于来自第3液量计314的测定值及来自其后段的第2膜过滤单元200的第2液量计214的测定值，来控制贮存于第3贮存槽301内的贮存液s3的液量。

例如，将第2及第3液量计214、314设为液面计。在第3贮存槽301内的第1非透过液s3的液面比下限水平ll3低的情况下，第3控制部315控制送回阀306使第3透过液向透过液送回管l36流动，向第3贮存槽301返回。第3控制部315控制第3取出阀311及送回阀323，使第3非透过液经由取出·送回管l33及非透过液送回管l35向第3贮存槽301返回。此时，非透过液阀308打开，送回阀323将取出·送回管l33与非透过液送回管l35连接。由此，来自第3送液管l30的第3透过液及第3非透过液全部向第3贮存槽301返回。即，第3膜过滤单元300停止过滤的送液，使贮存液s3在第3贮存槽301与第3分离膜部304之间循环。由此，膜的流量的控制能够在持续的状态下调整第3贮存槽301的液量。特别是在过滤时需要高压的情况下，通过持续进行膜的流量的控制，能够在过滤的送液再次开始时立即使流量稳定，能够进行稳定的恒定流量过滤，因此是优选的。另外，通过使第3透过液或第3非透过液循环，能够使第3贮存槽301的液面上升。另外，通过停止过滤的送液，能够抑制第3分离膜部304的堵塞，更长时间稳定地使用第3分离膜部304。

另一方面，在第3贮存槽301内的液面比上限水平ul3高的情况下，使从第1膜过滤单元100向第3贮存槽301的第1非透过液的供给减少或停止即可。

此外，控制部115、315的动作可以与第3实施方式的控制部的动作是同样的。因此，在第2贮存槽201内的贮存液s2的液面比上限水平ul2高的情况下，第1控制部115可以关闭第1调整阀108来停止第1透过液从第1透过液管l12向第2膜过滤单元200的流动，或者/以及，第3控制部315可以控制送回阀306来使第3透过液向透过液送回管l36流动并向第3贮存槽301返回，停止第3透过液从第3透过液管l32向第2膜过滤单元200的流动。此时，第2膜过滤单元200继续过滤处理，第2透过液向外部流出，第2非透过液被取出。其结果是，能够使第2贮存槽201的液面下降。

这样，第7实施方式的过滤装置基于来自液量计114～314的测定值，通过透过液或非透过液的流动来调整因恒定流量过滤的流量偏差而导致的贮存槽101～301内的贮存液s1～s3的液量。由此，能够修正因恒定流量过滤装置的微小的流量偏差而导致的贮存槽101～301内的贮存液s1～s3的液量的偏差。通过修正液量的偏差，能够使贮存槽101～301内的贮存液s1～s3的液量稳定，并抑制贮存液s1～s3从贮存槽101～301溢出或枯竭。因此，过滤装置能够以恒定流量持续稳定地对被处理液进行过滤。

另外，第1及第2膜过滤单元100、200具有与第3实施方式的第1及第2膜过滤单元100、200同样的结构，而且，第3膜过滤单元300从第1膜过滤单元100接受第1非透过液的一部分，将分离后的第3透过液向第2膜过滤单元200供给。由此，第2膜过滤单元200不仅能够接收第1透过液中含有的糖，还能够接收第3透过液中含有的糖。由此，在第2膜过滤单元200中，来自被处理液的糖的回收率变高。

另外，第1分离膜部104(例如，uf膜)将糖从蛋白质分离，使蛋白质作为第1非透过液向第1贮存槽101返回。当蛋白质在第1贮存槽101中被浓缩时，贮存液s1的流动性下降，第1分离膜部104以短时间发生堵塞。由此，难以长时间连续运转过滤装置。

与此相对，根据第7实施方式，第3膜过滤单元300接受第1非透过液的一部分而再次分离蛋白质。因此，不仅是第1膜过滤单元100，第3膜过滤单元300也同样地分离蛋白质。由此，能够缓和第1膜过滤单元100的堵塞，使过滤装置更长时间地连续运转。

另外，调整阀308被控制为流量计305的值为大致一定，调整阀311被控制为流量计322的值为大致一定。因此，通过以使得来自第1膜过滤单元100的第1非透过液取出量b＝第3透过液量c2+第3非透过液取出量f的方式，即，以使得所供给的量＝被取出的量(b＝c2+f)的方式设定流量，第3膜过滤单元300大致定量地处理第1非透过液，第3液量计314的值为大致一定，能够稳定地持续进行恒定流量过滤。

另外，在第1及第2膜过滤单元100、200中，也是通过以使得所供给的量＝被取出的量(a＝b+c1、c1+c2＝d+e)的方式设定流量，过滤装置整体能够稳定地持续进行恒定流量过滤。此外，c1是从第1膜过滤单元100向第2膜过滤单元200的第1透过液量。c2是从第3膜过滤单元300向第2膜过滤单元200的第3透过液量。f是来自第3膜过滤单元300的非透过液取出量。

第7实施方式的第3膜过滤单元300可以附加于第1～第6实施方式中的任一方。由此，能够对第1～第6实施方式附加第7实施方式的效果。

(第8实施方式)

图19是示出第8实施方式的过滤装置的结构例的图。第8实施方式的第3膜过滤单元300在还具备加水部340这一点上与第7实施方式不同。作为第3加水部的加水部340向第3贮存槽301内的贮存液(第1非透过液)s3供给水。

第1及第3分离膜部104、304(例如，uf膜)将糖从蛋白质分离，使包含蛋白质的第1非透过液向第1或第3贮存槽101、301流动。当蛋白质在第1及第3贮存槽101、301中被浓缩时，贮存液s1的流动性下降，第1或第3分离膜部104、304容易以短时间发生堵塞。特别是，第3贮存槽301积存来自第1膜过滤单元100的第1非透过液作为贮存液s3，因此蛋白质的浓度容易上升。由此，难以长时间连续运转过滤装置。

与此相对，在第8实施方式中，加水部340向贮存液s3加水。由此，贮存液s3的流动性变高，贮存液s3容易通过第3分离膜部304。第3分离膜部304的堵塞被缓和，能够将贮存液s3的糖从蛋白质长时间连续地分离。即，能够使过滤装置更长时间地连续运转。特别是，在从如以甘蔗等的榨汁、或甘蔗渣等非可食性资源为原料而实施了化学处理或酵素分解等的处理液等那样浑浊物多的被处理液中提取糖时，附加加水部是有效的。

此外，当将加水部340供给的水量设为g时，以使得b+g＝c2+f的方式设定流量。由此，过滤装置能够稳定地持续进行恒定流量过滤。另外，水只要向贮存液(第1非透过液)s3供给即可，加水部340也可以连接于第3贮存槽301、第1取出管l13、第3送液管l30、非透过液送回管l35和/或透过液送回管l36中的任一方。在图19的虚线中，水被向第1取出管l13或第3送液管l30供给。

这样，第8实施方式的过滤装置不仅基于液量计114、214、314的测定值来调整贮存槽101、201、301内的贮存液s1～s3的液量，而且加水部340也向贮存液s3加水。由此，第8实施方式的过滤装置能够使恒定流量过滤进一步稳定且长时间持续运转。

第8实施方式的其他结构可以与第7实施方式的对应的结构是同样的。因此，第8实施方式也能够得到第7实施方式的效果。

在第7及第8实施方式中，第3膜过滤单元300设置在第1膜过滤单元100与第2膜过滤单元200之间。在该情况下，第3膜过滤单元300接受前段的第1膜过滤单元100的第1非透过液，向后段的第2膜过滤单元200输送第3透过液。在如图10、图11所示那样多个第1膜过滤单元100连续地连接的情况下，第3膜过滤单元300也可以设置在连续的2个第1膜过滤单元100之间。在该情况下，第3膜过滤单元300接受前段的第1膜过滤单元100的第1非透过液，向后段的第1膜过滤单元100输送第3透过液。即使是这样的结构，也不会失去第7及第8实施方式的效果。

(第9实施方式)

图20是示出第9实施方式的过滤装置的结构例的图。在第9实施方式中，第3膜过滤单元300与第2膜过滤单元200并联设置。第3膜过滤单元300的内部结构与第7实施方式的基本相同。

第3膜过滤单元300接受来自第2膜过滤单元200的第2非透过液并积存于第3贮存槽301。

第3分离膜部304将第2非透过液分离为第3透过液和第3非透过液。第3分离膜部304与第2分离膜部204同样地例如可以是mf膜、uf膜、nf膜、ro膜中的任一种过滤膜。但是，第3分离膜部304过滤第2非透过液，因此优选具有与第2分离膜部204的孔径相同的孔径。由此，第3分离膜部304能够将在第2分离膜部204应分离的成分从第2非透过液再次分离。

例如，在使用nf膜作为第2及第3分离膜部204、304的情况下，第2分离膜部204能够从第1透过液分离出糖成分(例如，单糖、寡糖)、芳香族化合物等作为第2非透过液，分离出其他成分(例如，水分、盐类、低分子的有机酸等)作为第2透过液。第3分离膜部304也能够从第2非透过液分离出糖作为第3非透过液，分离出其他成分作为第3透过液。

在第2膜过滤单元200中，送到取出·送回管l23的第2非透过液经由第2取出管l24向第3膜过滤单元300输送。在第3膜过滤单元300中，第2非透过液中的糖作为第3非透过液向第3非透过液管l31或取出·送回管l33输送，其他成分作为第3透过液而经由第3透过液管l32被向第3膜过滤单元300的外部取出。第3透过液与第2透过液一起用作产品，或者被废弃。

在此，不仅第2贮存槽201，第3贮存槽301也贮存来自第2膜过滤单元200的第2非透过液。由此，不仅第2膜过滤单元200，第3膜过滤单元300也从第1透过液及第2非透过液分离出糖并使其浓缩。由此，第1透过液中含有的糖的纯度变高。另外，不仅第2贮存槽201，第3贮存槽301也从被处理液使水分、盐类、低分子有机酸等透过。因此，糖的纯度进一步变高。

另外，调整阀308被控制为流量计305的值为大致一定，调整阀311被控制为流量计322的值为大致一定。因此，通过以使得来自第2膜过滤单元200的第2非透过液取出量d＝第3透过液量h+第3非透过液取出量f的方式，即，以使得所供给的量＝被取出的量(d＝h+f)的方式设定流量，第3膜过滤单元300大致定量地处理第2非透过液，第3液量计314的值为大致一定，能够稳定地持续进行恒定流量过滤。

例如，将第3液量计314设为液面计。在第3贮存槽301内的第1非透过液s3的液面比下限水平ll3低的情况下，第3控制部315控制送回阀306使第3透过液向透过液送回管l36流动，向第3贮存槽301返回。第3控制部315控制第3取出阀311及送回阀323，使第3非透过液经由取出·送回管l33及非透过液送回管l35向第3贮存槽301返回。此时，非透过液阀308打开，送回阀323将取出·送回管l33与非透过液送回管l35连接。由此，来自第3送液管l30的第3透过液及第3非透过液全部向第3贮存槽301返回。即，第3膜过滤单元300停止过滤的送液，使贮存液s3在第3贮存槽301与第3分离膜部304之间循环。由此，膜的流量的控制能够在持续的状态下调整第3贮存槽301的液量。特别是在过滤时需要高压的情况下，通过持续进行膜的流量的控制，能够在过滤的送液再次开始时立即使流量稳定，能够进行稳定的恒定流量过滤，因此是优选的。另外，通过使第3透过液或第3非透过液循环，能够使第3贮存槽301的液面上升。另外，通过停止过滤的送液，能够抑制第3分离膜部304的堵塞，更长时间稳定地使用第3分离膜部304。另一方面，在第3贮存槽301内的液面比上限水平ul3高的情况下，使从第2膜过滤单元200向第3贮存槽301的第2非透过液的供给减少或停止即可。

另外，第2分离膜部204(例如，nf膜或ro膜)分离糖，使糖作为第2非透过液向第2送液管l20及第3贮存槽301流动。当糖在第2送液管l20中被浓缩时，第2分离膜部204以短时间发生堵塞。由此，难以长时间连续运转过滤装置。

与此相对，根据第9实施方式，第3膜过滤单元300接受第2非透过液的一部分而再次分离糖。因此，不仅第2膜过滤单元200，第3膜过滤单元300也同样地分离糖。由此，能够缓和第2膜过滤单元200的堵塞，使过滤装置更长时间地连续运转。

第3膜过滤单元300的内部结构及其动作可以与第7实施方式的第3膜过滤单元300的内部结构及其动作是同样的。

但是，在来自第2取出管l24的第2非透过液的流量(d)、从第3取出管l34取出的第3非透过液的流量(第3非透过液取出量f)、从第3透过液管l32向第3膜过滤单元300的外部流动的第3透过液的流量(第3透过液量h)为一定的情况下，第3送液管l30及第3非透过液管l31内的第2非透过液的糖浓度在被浓缩后为大致一定。因此，从第3取出管l34取出的第3非透过液与来自第2取出管l24的第2非透过液相比被浓缩，但具有大致一定的糖浓度。即，第3非透过液是具有大致一定的糖浓度的浓缩液，且从第3膜过滤单元300以大致恒定流量取出。

这样，第1及第2膜过滤单元100、200具有与第3实施方式的第1及第2膜过滤单元100、200同样的结构，而且，第3膜过滤单元300从第2膜过滤单元200接受第2非透过液的一部分，并向外部供给分离后的第3非透过液及第3透过液。由此，第2及第3膜过滤单元200、300都能够将糖与其他成分分离。其结果是，过滤装置能够提高来自被处理液的糖的纯度。

另外，通过以使得所供给的量＝被取出的量(d＝h+f)的方式设定流量，第3膜过滤单元300能够稳定地持续进行恒定流量过滤。另外，在第1及第2膜过滤单元100、200中，通过以使得所供给的量＝被取出的量(a＝b+c、c＝d+e)的方式设定流量，过滤装置整体能够稳定地持续进行恒定流量过滤。

第9实施方式的第3膜过滤单元300可以附加于第1～第8实施方式中的任一方。由此，能够对第1～第8实施方式附加第9实施方式的效果。

(第10实施方式)

图21是示出第10实施方式的过滤装置的结构例的图。第10实施方式的第3膜过滤单元300在还具备加水部340这一点上与第9实施方式不同。作为第3加水部的加水部340向第3贮存槽301内的第2非透过液供给水。

第2及第3分离膜部204、304(例如，nf膜)将糖与其他成分分离，使糖作为第1非透过液分别向第2及第3送液管l20及l30流动。当糖在第2及第3送液管l20及l30中被浓缩时，第2或第3分离膜部204、304以短时间发生堵塞。特别是，由于第3贮存槽301积存来自第2膜过滤单元200的第2非透过液，因此糖的浓度容易上升。由此，难以长时间连续运转过滤装置。

与此相对，在第10实施方式中，加水部340向第3贮存槽301加水。由此，贮存液s3的流动性变高，贮存液s3容易通过第3分离膜部304。第3分离膜部304能够将贮存液s3的糖从其他成分长时间连续地分离。由此，能够缓和第3膜过滤单元300的堵塞，使过滤装置更长时间连续运转。另外，通过在加水后再次浓缩，糖与其他成分分离的效果提高，糖的纯度变高。特别是，在从如以甘蔗等的榨汁、或甘蔗渣等非可食性资源为原料而实施了化学处理或酵素分解等的处理液等那样浑浊物、糖以外的成分(盐类、低分子的有机酸等)多的被处理液中提取糖时，附加加水部是有效的。

当将加水部340所供给的水量设为g时，以使得d+g＝f+h的方式设定流量。由此，过滤装置能够稳定地持续进行恒定流量过滤。另外，水只要向贮存液(第2非透过液)s3供给即可，加水部340也可以连接于第3贮存槽301、第2取出管l24、第3送液管l30、非透过液送回管l35和/或透过液送回管l36中的任一方。在图21的虚线中，水被向第2取出管l24或第3送液管l30供给。

这样，第10实施方式的过滤装置不仅基于液量计114、214、314的测定值来调整贮存槽101、201、301内的贮存液s1～s3的液量，而且加水部340向贮存液s3加水。由此，第10实施方式的过滤装置能够使恒定流量过滤进一步稳定且长时间持续运转。

第10实施方式的其他结构可以与第9实施方式的对应的结构是同样的。因此，第10实施方式也能够得到第9实施方式的效果。

(第11实施方式)

图22是示出第11实施方式的过滤装置的结构例的图。第11实施方式的第1膜过滤单元100在还具备加水部140这一点上与第3实施方式不同。作为第1加水部的加水部140向第1贮存槽101内的贮存液s1供给水。

第1分离膜部104(例如，uf膜)将蛋白质从糖分离，将蛋白质作为第1非透过液向第1送液管l10返回。若蛋白质在第1送液管l10中被浓缩，则有时第1分离膜部104以短时间发生堵塞。由此，难以长时间连续运转过滤装置。

与此相对，在第11实施方式中，加水部140向第1贮存槽101加水。由此，贮存液s1的流动性变高，贮存液s1容易通过第1分离膜部104。第1分离膜部104的堵塞被缓和，能够长时间连续地分离贮存液s1的蛋白质。即，能够更长时间地连续运转过滤装置。

此外，当将加水部140所供给的水量设为g时，以使得a+g＝b+c的方式设定流量。由此，过滤装置能够稳定地持续进行恒定流量过滤。另外，水只要向贮存液s1供给即可，加水部140可以连接于第1贮存槽101、被处理液管l1、第1送液管l10、非透过液送回管l15和/或透过液送回管l16中的任一方。在图22的虚线中，水被向被处理液管l1或第1送液管l10供给。

这样，第11实施方式的过滤装置不仅基于液量计114、214的测定值来调整贮存槽101、201内的贮存液s1、s2的液量，而且加水部140向贮存液s1加水。由此，第11实施方式的过滤装置能够使恒定流量过滤进一步稳定且长时间持续运转。

第11实施方式的其他结构可以与第3实施方式的对应的结构是同样的。因此，第11实施方式也能够得到第3实施方式的效果。另外，加水部140也可以附加于第1～第10实施方式中的任一方。由此，能够对第1～第10实施方式附加第11实施方式的效果。

(第12实施方式)

图23是示出第12实施方式的过滤装置的结构例的图。第12实施方式的第2膜过滤单元200在还具备加水部240这一点上与第3实施方式不同。作为第2加水部的加水部240向第2贮存槽201内的贮存液(第1非透过液)s2供给水。

第2分离膜部204(例如，nf膜或ro膜)将糖从其他成分分离，将糖作为第2非透过液向第2送液管l20返回。当糖在第2送液管l20中被浓缩时，第2分离膜部204以短时间发生堵塞。由此，难以长时间连续运转过滤装置。

与此相对，在第12实施方式中，加水部240向第2贮存槽201加水。由此，贮存液s2的流动性变高，贮存液s2容易通过第2分离膜部204。第2分离膜部204的堵塞被缓和，能够长时间连续地分离贮存液s2的糖。即，能够更长时间地连续运转过滤装置。

此外，当将加水部240所供给的水量设为g时，以使得c+g＝d+e的方式设定流量。由此，过滤装置能够稳定地持续进行恒定流量过滤。另外，水只要向贮存液s2或第1非透过液供给即可，加水部240可以连接于第2贮存槽201、第1透过液管l12、第2送液管l20、非透过液送回管l25和/或透过液送回管l26中的任一方。在图23的虚线中，水被向第1透过液管l12或第2供液管l20供给。

第12实施方式的其他结构可以与第3实施方式的对应的结构是同样的。因此，第12实施方式也能够得到第3实施方式的效果。另外，加水部240也可以附加于第1～第11实施方式中的任一方。由此，能够对第1～第11实施方式附加第12实施方式的效果。

对本发明的几个实施方式进行了说明，但这些实施方式是作为例子而出示的，并不意图限定发明的范围。这些实施方式能够以其他各种方式实施，在不脱离发明的要旨的范围内，能够进行各种省略、置换、变更。这些实施方式及其变形包含在发明的范围、要旨中，同样包含在权利要求书所记载的发明及其均等的范围内。

附图标记说明

100、200膜过滤单元，101、201贮存槽，103、203送液泵，104、204分离膜部，105、205流量计，107非透过液阀，108、208调整阀，111、221取出阀，112洗涤液槽，113洗涤泵，114、214量计，115、215控制部，l1被处理液管，l10、l20送液管，l11、l21非透过液管，l12、l22透过液管，l13、l24取出管，l115洗涤管，l25非透过液送回管，l26透过液送回管。