技术总结
本发明提供了一种水循环装置及水循环系统，所述水循环装置包括依次相连通的进水管道、水箱、出水管道和过滤单元。当所述含气液体通过所述进水管道流入所述水箱，经所述水箱容置一段时间，所述含气液体即能够实现气液分离以得到去气液体，所述出水管道将所述去气液体输送给所述过滤单元，经过滤后得到洁净水从而接入冷却机中实现排水的循环利用。由此实现了稳定的水循环，减少了排水的浪费，避免了人工补液，从而节约时间成本，降低经济成本，提高作业效率。
技术研发人员：陈伟;朱亮;柳小敏
受保护的技术使用者：上海华力微电子有限公司
技术研发日：2019.10.25
技术公布日：2020.01.21